一种基于Lange耦合器反馈结构的注入锁定分频器的制造方法
【技术领域】
[0001]本发明涉及半导体技术中的毫米波/亚毫米波分频技术领域，具体涉及一种基于Iange親合器反馈结构的注入锁定分频器。
【背景技术】
[0002]毫米波具有频率高、宽频宽、大信息容量等优点，在军事雷达系统、射电天文学和太空以及短距离无线高速传输等领域有着巨大的应用价值和市场前景。并且随着现代硅基工艺的快速发展，使得在亚毫米波/太赫兹系统中能够使用CMOS和SiGe BiCMOS等工艺，其代替了受限于高成本和低集成度的II1-V半导体工艺。高频通信系统中，由锁相环提供的高稳定的频率源的性能影响着整个系统的性能，而分频器是实现锁相环的关键部分。
[0003]锁相环中的压控振荡器因为工艺、电压和温度浮动，模型和EM仿真的不精准等原因会产生频偏。因此，为了快速可靠的锁定压控振荡器的频率，要求分频器具有较宽的锁定范围。然而，宽锁定范围会导致较大的功率损耗;并且分频器的功耗占总功耗的大部分，对于高频更是如此。所以，选择具有低功耗、高频特性好的注入锁定分频器作为锁相环中的分频器是一种可行的选择。
[0004]分析现有的注入锁定分频器:在参考文献【1】中，如图1所示，此发明的特点在于通过由缓冲级阶段和可变电感调谐电路的电感元件来实现电感耦合反馈结构;然而，此发明最高工作频率只有24GHz ;并且需要外加的可变电容电路来实现宽的频率锁定范围，但是分频比只有2。在参考文献【2】中，如图2所示，此分频器利用一个有源电感单元来减少版图面积;但是电路产生的频率仅为输入频率的一半;并且上述结构依旧基于常规的LC-tank分频器。在参考文献【3】中，如图3所示，此发明基于一种含有LC-tank电路的考比滋压控振荡器的注入锁定分频器;通过调节电压来改变考比滋压控振荡器的谐振频率，以此改变锁定范围；可是此分频器的分频比也仅有2。在参考文献【4】中，如图4所示，此论文展示了一个有3，6，9多个分频比的CMOS注入锁定分频器;工作频率从2.2GHz到30.95GHz;然而，当分频比为9时，其锁定范围减少到260MHz，功率损耗12.5mW;而且锁定范围会随工作频率的增高而降低。
[0005]针对上述注入锁定分频器的技术难点即工作频率、分频比、功率损耗、频率锁定范围四个指标难以兼顾的问题，本发明利用Iange耦合器、相位补偿模块、共射-共基晶体管电路组成的反馈环路使得分频器具有较高的工作频率、宽的频率锁定范围、高的分频比和低的功耗。
【发明内容】
[0006]本发明所要解决的技术问题是在高工作频率时，分频器具有大分频比、宽锁定范围和低功耗。除此之外，所发明的频分电路还能运用于太赫兹频段的电路系统中，但需要更尚的分频比。
[0007]本发明的具体方案:包括了一个输入匹配网络、一对共射-共基的晶体管，一个Iange耦合器、相位延迟模块和阻抗匹配的缓冲放大器。所述输入匹配网络由并联的短路电感和串联的电容构成，并连接于晶体管的基极端以减少输入端高频信号的反射系数;所述共射-共基晶体管包括了一个共基极晶体管和一个共射极晶体管，此结构能减少反馈电容的影响、提供更高的环路增益和更宽的增益带宽，并且能补偿反馈回路和耦合器的损耗使得闭环回路保持正反馈，其中毫米波信号由共基晶体管的基极输入，反馈信号由共射晶体管的射极加入，并且能隔离输入信号和反馈信号;所述Iange耦合器在直通端口和耦合端口具有幅度平衡和高隔离度的优势，因此可以用来形成反馈振荡器和性能良好的耦合输出结构，并且，Iange耦合器也是频率选择网络;所述相位延迟模块由微带延迟线构成，用来补偿反馈信号的相位;所述阻抗匹配的缓冲放大器由晶体管组成，其可以提供高的负载阻抗和最大化输出功率电平，以此达到更宽的锁定范围。
[0008]进一步的是，所述晶体管是双极型晶体管。场效应晶体管也可以应用于此电路中。在一些不严格的要求应用中场效应晶体管包括了金属-氧化物-半导体场效应晶体管(MOSFET)和赝同晶高电子迀移率晶体管(pHEMT)。
[0009]进一步的是，所述Iange耦合器是一个如图7所示的无源微波器件，在Iange耦合器的两个输出端之间具有90°的相差和3dB的耦合比。此处，还可以使用4条或6条线互连的方式来实现更紧密的耦合结构。
[0010]本发明的有益效果:一、本发明利用Iange耦合器的宽带工作特性;二、如图8所示，利用其直通端口和耦合端口的高隔离度来分离140GHz信号和低频信号以得到更高的输出功率电平;三、用延迟线来补偿相位；四、使用共射-共基晶体管结构来同时提供高的环路增益和增大输入信号和反馈信号的隔离度。
【附图说明】
[0011 ]图1是参考文献【1】的分频电路原理图；
[0012]图2是参考文献【2】的分频电路原理图；
[0013]图3是参考文献【3】的分频电路原理图；
[0014]图4是参考文献【4】的分频电路原理图；
[0015]图5是本发明基于Lange耦合器反馈结构的注入锁定分频器的原理图；
[0016]图6是本发明的实物图；
[0017]图7(a)Langef禹合器，(b)Langef禹合器的截面图；
[0018]图8是Iange耦合器的测试结果图；
[0019]图9是频率综合的原理框图；
[0020]图10是本发明的测试框图；
[0021]图11是本发明的测试结果图；
[0022]图12是当输入信号频率为135GHz,Vcc = 1.6V时的输出频谱和相位噪声的测量结果图；
[0023]图13是当输入信号频率为150.2GHz ,Vcc=1.6V时的输出频谱和相位噪声的测量结果图。
[0024]图5中标记说明:输入匹配网络(701);共射-共基极晶体管(702);Iange耦合器(501)的输入端口 I，直通端口 2，耦合端口3，隔离端口4;微带延迟线(601);阻抗匹配的缓冲放大器(703);电感(102)，(103)，(104)，(105);电容(201)，(202)，(203);为轭流电感；电阻(301),(302)，(303)，(304)；晶体管(401) (402) (403)。
【具体实施方式】
[0025]下面结合附图对本发明的【具体实施方式】作进一步的说明