一种MEMS麦克风及收音装置的制作方法

文档序号:11065000阅读:来源:国知局

技术特征:

1.一种MEMS麦克风,其特征在于:包括

第一外壳,于所述第一外壳表面开设有第一声孔;

第二外壳,于所述第二外壳表面开设有第二声孔;

基板,所述基板与所述第一外壳包围形成一第一封装结构;所述基板与所述第二外壳包围形成一第二封装结构;

第一MEMS声电芯片;设置于所述第一封装结构内,且固定连接所述基板;

第二MEMS声电芯片,设置于所述第二封装结构内,且固定连接所述基板;

于所述基板上开设一通孔,以使所述第一MEMS声电芯片的声腔与所述第二MEMS声电芯片的声腔连通。

2.根据权利要求1所述的MEMS麦克风,其特征在于:所述第一外壳与所述第二外壳以所述基板为对称轴分别对称设置于所述基板的两侧。

3.根据权利要求1所述的MEMS麦克风,其特征在于:所述第一声孔与所述第二声孔设置于同一水平线上。

4.根据权利要求1所述的MEMS麦克风,其特征在于:所述第二MEMS声电芯片以所述基板为对称轴线与所述第一MEMS声电芯片对称设置于所述第二封装结构内。

5.一种收音装置,其特征在于,包括上述权利要求1~4任一项所述的MEMS麦克风。

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