1.一种双背极MEMS发声装置,其特征在于:包括衬底(3),在所述衬底(3)上通过沉积、刻蚀的方式依次设置有下背极(4)、振膜(5)、上背极(6),所述下背极(4)、振膜(5)、上背极(6)之间通过绝缘层进行支撑;所述衬底(3)上设置有与下背极(4)对应设置的背腔;所述上背极(6)、下背极(4)被配置为分别持续施加相反电压的直流电信号,所述振膜(5)被配置为施加交流电信号。
2.根据权利要求1所述的双背极MEMS发声装置,其特征在于:所述振膜(5)整体由导电材料构成。
3.根据权利要求1所述的双背极MEMS发声装置,其特征在于:所述振膜(5)包括非导电层以及导电层,所述导电层设置在非导电层的下方、上方或者内部。
4.根据权利要求3所述的双背极MEMS发声装置,其特征在于:所述导电层通过沉积、印刷、喷涂、电镀或者化学镀的方式与非导电层结合在一起。
5.根据权利要求1所述的双背极MEMS发声装置,其特征在于:还包括基板(1)以及与基板(1)构成封装结构的壳体(2),所述衬底(3)位于封装结构内并安装在基板(1)上,在所述壳体(2)上设置有音孔(20)。
6.根据权利要求5所述的双背极MEMS发声装置,其特征在于:所述基板(1)为电路板。
7.根据权利要求1所述的双背极MEMS发声装置,其特征在于:所述振膜(5)包括位于边缘用于连接的连接部(11),位于中心位置的振动部(12),以及位于连接部(11)与振动部(12)之间的折环部(10)。
8.根据权利要求1所述的双背极MEMS发声装置,其特征在于:在所述上背极(6)上设置有第一贯通孔(60);或/和在所述下背极(4)上设置有第二贯通孔(40)。
9.根据权利要求1所述的双背极MEMS发声装置,其特征在于:所述发声装置为扬声器或者受话器。
10.一种电子设备,其特征在于:包括如权利要求1至9任一项所述的双背极MEMS发声装置。