一种数字同轴全息显微控制系统的制作方法

文档序号:12497062阅读:来源:国知局

技术特征:

1.一种数字同轴全息显微控制系统,其特征在于,包括:PC与CCD(1)、电路控制箱(3)均采用USB通信,系统利用软件对CCD的视频、截图、曝光、存储控制;以及通过电路控制箱对三维工件台(2)和激光器(4)的控制;系统利用软件对图像进行光学反演推算得到测量物结构信息,CCD视频模式用于对光路中光学元器件和光强的调整,截图、曝光用于采集测量信息的图像,电路控制箱对激光器的通断控制、对三维工件台的三轴移动以及位置反馈控制,得到的图像进行逆向菲涅耳变换解析出其中所含的测量物信息。

2.如权利要求1所述的数字同轴全息显微控制系统,其特征在于:PC与CCD、控制箱均采用USB通信,软件自动识别并存储CCD通信口、控制箱通信口的路径。

3.如权利要求1所述的数字同轴全息显微控制系统,其特征在于:PC发送通信帧给控制箱,字符串至少包括一位起始“#”,一位命令“0-9”,一位设置“0-9”,一位符号“0-1”、可变长度的十进制数据“0-9”和一位结束“*”。

4.如权利要求1所述的数字同轴全息显微控制系统,其特征在于:控制箱发送通信帧给PC,字符串至少包括一位起始“*”,一位通道“X/Y/Z”,一位空,可变长度的十六进制数据“00-ff”和一位结束“#”。

5.如权利要求1所述的数字同轴全息显微控制系统,其特征在于:PC发送指令控制三维工件台复位、定向移动、快速移动以及刷新光栅位置。

6.如权利要求1所述的数字同轴全息显微控制系统,其特征在于:激光器的通断采用继电器的方式实现,PC端通过控制箱控制继电器两端的电压。

7.如权利要求1所述的数字同轴全息显微控制系统,其特征在于:CCD具有视频模式、截图模式、曝光模式,其中曝光模式可以对图像的通光量进一步的精确控制。

8.如权利要求1所述的数字同轴全息显微控制系统,其特征在于:拼图为9张模式拼成一张图,以此增大CCD的面积,提高显微系统的精度。

9.如权利要求1所述的数字同轴全息显微控制系统,其特征在于:对采集的图片,反向模拟整个光的传输过程,计算出被测物信息。

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