技术总结
本发明公开了一种数字同轴全息显微控制系统，包括：PC与CCD(1)、电路控制箱(3)均采用USB通信，系统利用软件对CCD的视频、截图、曝光、存储控制；以及通过电路控制箱对三维工件台(2)和激光器(4)的控制；系统利用软件对图像进行光学反演推算得到测量物结构信息。CCD视频模式用于对光路中光学元器件和光强的调整，截图、曝光用于采集测量信息的图像。电路控制箱对激光器的通断控制、对三维工件台的三轴移动以及位置反馈控制。得到的图像进行逆向菲涅耳变换解析出其中所含的测量物信息。
技术研发人员：田鹏;严伟;胡松;杨帆;李凡星
受保护的技术使用者：中国科学院光电技术研究所
文档号码：201611093392
技术研发日：2016.12.02
技术公布日：2017.05.31