技术总结
本发明公开了一种MEMS声换能器及其制造方法，在由所述第一可动梳齿与第一固定梳齿构成，以及由第二可动梳齿与第二固定梳齿构成的两组梳齿结构中，其中一组梳齿结构的可动梳齿高于固定梳齿，另一组梳齿结构中的可动梳齿低于固定梳齿；本发明的MEMS声换能器，振膜组件本身可以输出高频的音频讯号，梳齿结构可以作为换能器的低频结构，且二者的驱动接口可以独立规划，并整合于一单体中可同时输出高低频讯号，从而提供准确的声音讯号。另外，本发明的声换能器，振膜组件在接受音频信号输出声音的同时，还可以形成麦克风结构从而为声音源的修正提供外界的噪音信号参数，提高了声换能器的抗噪能力。
技术研发人员：詹竣凱;蔡孟錦
受保护的技术使用者：歌尔股份有限公司
文档号码：201710138893
技术研发日：2017.03.09
技术公布日：2017.06.30