技术特征：
技术总结
MEMS麦克风（100）包括基结构（116）以及具有第一端和第二端的压电谐振器本体（120）。第一端由基结构（116）固定支撑并且第二端是自由的，使得压电谐振器是从基结构悬臂式的。MEMS麦克风（100）还包括可操作地连接到压电谐振器本体的第一电极（152）和可操作地连接到压电谐振器本体（120）的第二电极（156）。控制器（220）包括至少一个电路，所述至少一个电路可操作地连接到第一和第二电极（152，156）并且被配置为以压电谐振器本体的剪切谐振频率驱动压电谐振器本体（120），并检测由声压导致的剪切谐振频率与基线谐振频率的差异。
技术研发人员：G.哈蒂波格卢
受保护的技术使用者：罗伯特·博世有限公司
技术研发日：2017.09.08
技术公布日：2019.04.19