方式7)
[0122]图24是表示本发明实施方式6的声响传感器111的概略剖面图。在该实施方式中，在基板32的上面设有板112。在板112的上面形成有上背板34a，在板112的下面形成有下背板34b，在上背板34a与下背板34b之间形成有空洞。在背板34与下背板34b之间经由气隙而设有隔膜33。在上背板34a的下面设有固定电极板40。另外，在上背板34a上开设有多个声孔41，短止动件43a从上背板34a的中央部向隔膜33突出，长止动件43b从上背板34a的外周部向隔膜33突出。在下背板34b上也开设有多个声孔41，短止动件43a从下背板34b的中央部向隔膜33突出，长止动件43b从下背板34b的外周部向隔膜33突出。
[0123]根据该声响传感器111，由于不仅能够限制隔膜33向上方的过大位移，而且也能够限制隔膜33向下方的过大位移，因此声响传感器111的耐破坏性进一步提高。
[0124](实施方式8)
[0125]图25(A)是表示本发明实施方式8的声响传感器121的概略剖面图。在该实施方式中，在基板32的上面设有平板状背板34。在背板34的上面形成有固定电极板40。在空洞35的上方，在背板34及固定电极板40上开设有多个声孔41。另外，在背板34的上方，以与固定电极板40相对的方式配设有隔膜33。隔膜33通过设于背板34的边缘的锚固件部38a支承。止动件43a、43b从隔膜33的下面向下方突出，在隔膜33的位移量大的区域(例如，隔膜33的外周部)设有短止动件43a，在隔膜33的位移量小的区域(例如，隔膜33的中央部)设有长止动件43b。另外，在与止动件43a、43b的端面相对的部位，在固定电极板40上设有开口，即使止动件43a、43b与背板34抵接，止动件43a、43b也不与固定电极板40接触。
[0126]如图25(C)所示，在将止动件43a、43b设于背板34的情况下，由于止动件43a、43b由绝缘性材料形成，故而止动件43a、43b易带电，有可能给声响传感器的灵敏度带来影响。与此相对，如图25(B)所示，如果将止动件43a、43b设于导电体材料即隔膜33，则止动件43a、43b不易带电，能够防止声响传感器121的灵敏度的变化。
[0127](向麦克风的应用)
[0128]图26是内设有本发明的声响传感器例如实施方式I的声响传感器31的底部端口型麦克风131的概略剖面图。该麦克风131在由电路基板132和罩133构成的封装内内设有声响传感器31和电路部即信号处理电路135 (ASIC)。声响传感器31和信号处理电路135安装在电路基板132的上面。在电路基板132上开设有用于向声响传感器31内导入声响振动的声音导入孔134。声响传感器31使空洞35的下面开口对准声音导入孔134，以覆盖声音导入孔134的方式安装在电路基板132的上面。因此，声响传感器31的空洞35成为前室，封装内的空间成为后室。
[0129]声响传感器31和信号处理电路135通过接合线136而连接。进而，信号处理电路135通过接合线137而与电路基板132连接。此外，信号处理电路135具有向声响传感器31供给电源的功能或将声响传感器31的容量变化信号向外部输出的功能。
[0130]在电路基板132的上面，以覆盖声响传感器31及信号处理电路135的方式安装有罩133。封装具有电磁屏蔽的功能，保护声响传感器31或信号处理电路135不受到来自外部的电性干扰或机械冲击的影响。
[0131]这样，从声音导入孔134进入空洞35内的声响振动通过声响传感器31而检测，在通过信号处理电路135进行了放大及信号处理之后输出。在该麦克风131中，由于以封装内的空间为后室，故而能够加大后室的谷积，能够使麦克风131尚灵敏度化。
[0132] 此外，在该麦克风131中，也可以在罩133的上面开设用于向封装内导入声响振动的声音导入孔134。在这种情况下，声响传感器31的空洞35成为后室，封装内的空间成为前室。
【主权项】
1.一种静电容量型转换器，其特征在于，至少具备: 背板，其具有固定电极； 作为可动电极的隔膜，其经由空隙与所述背板相对； 第一止动件，其从所述背板的所述空隙侧的面和所述隔膜的所述空隙侧的面中的至少一面突出，具有第一突出长度； 第二止动件，其从所述背板的所述空隙侧的面和所述隔膜的所述空隙侧的面中的至少一面突出，具有第二突出长度， 所述第一止动件设置在与所述隔膜上的第一位置对应的位置，所述第二止动件设置在与所述隔膜上的第二位置对应的位置，所述第一位置的隔膜的位移量比所述第二位置的隔膜的位移量大，所述第一止动件的突出长度比所述第二止动件的突出长度短。2.如权利要求1所述的静电容量型转换器，其特征在于， 所述固定电极的与所述隔膜相对的区域构成一个平面。3.如权利要求1所述的静电容量型转换器，其特征在于， 所述第一位置位于所述隔膜的外周部， 所述第二位置位于所述隔膜的中央部。4.如权利要求1所述的静电容量型转换器，其特征在于， 所述第一位置位于在所述隔膜上规定的圆的内侧，所述第二位置位于所述圆的外侧。5.如权利要求1或2所述的静电容量型转换器，其特征在于， 具备包括所述第一止动件及所述第二止动件在内的多个止动件， 在设从所述隔膜的中心到所述隔膜的固定部位的距离为R时，在与以所述隔膜的中心为中心的半径R/2的区域对应的第一区域的内部设有包括所述第一止动件在内的多个止动件，在与所述区域的外部对应的第二区域设有包括所述第二止动件在内的多个止动件，第一区域的最短止动件的突出长度比第二区域的最长止动件的突出长度小。6.如权利要求1或2所述的静电容量型转换器，其特征在于， 所述隔膜将其外周整体或外周的一部分固定， 所述第一止动件设置在所述隔膜的中央附近，所述第二止动件设置在所述隔膜的固定部分附近。7.如权利要求1所述的静电容量型转换器，其特征在于， 所述第一位置位于所述隔膜的位移大的区域， 所述第一止动件在与所述第一位置相对的位置从所述背板突出， 所述第二位置位于所述隔膜的位移小的区域， 所述第二止动件在与所述第二位置相对的位置从所述背板突出。8.如权利要求1所述的静电容量型转换器，其特征在于， 所述第一位置位于所述隔膜的位移大的区域， 所述第一止动件在所述第一位置从所述隔膜突出， 所述第二位置位于所述隔膜的位移小的区域， 所述第二止动件在所述第二位置从所述隔膜突出。9.如权利要求1或2所述的静电容量型转换器，其特征在于， 包括所述第一止动件及所述第二止动件在内的多个止动件从所述背板突出， 以所述多个止动件的前端沿着所述隔膜的某一变形状态的所述隔膜的形状排列的方式选择所述止动件的突出长度。10.如权利要求1或2所述的静电容量型转换器，其特征在于， 所述第二止动件比所述第一止动件粗。11.如权利要求1或2所述的静电容量型转换器，其特征在于， 具备包括所述第一止动件及所述第二止动件在内的多个止动件， 所述第二止动件附近的止动件的数量密度比所述第一止动件附近的止动件的数量密度大。12.—种声响传感器，其特征在于， 在权利要求1?11中任一项所述的静电容量型转换器中，在所述背板上开设有用于使声响振动通过的声孔。13.一种麦克风，其具备权利要求12所述的声响传感器和将来自所述声响传感器的信号放大并向外部输出的电路部。
【专利摘要】一种静电容量型转换器，可提高隔膜的耐粘附性和耐破损性。本发明的静电容量型转换器在具有空洞(35)的基板(32)上配设有隔膜(33)。从隔膜(33)的外周延伸的脚片(36)通过锚固件(38)固定在基板(32)上。隔膜(33)的上方通过保持固定电极板(40)的背板(34)覆盖。在背板(34)的下面，向隔膜(33)突出有多个止动件(43a、43b)。止动件由突出长度不同的两种止动件构成，在与隔膜(33)的固定部附近或隔膜(33)的外周部相对的区域设置的止动件(43b)的突出长度比设于其以外的区域的止动件(43a)长。
【IPC分类】H04R23/00
【公开号】CN104918195
【申请号】CN201510111785
【发明人】奥川晃宏
【申请人】欧姆龙株式会社
【公开日】2015年9月16日
【申请日】2015年3月13日
【公告号】US20150264462