图像的处理装置和取得装置、处理方法以及取得方法
【技术领域】
[0001] 本发明涉及一种处理图像的技术以及取得图像的技术。
【背景技术】
[0002] 近年来，在各种各样的电子设备中都设有FPD(FlatPanelDisplay，平板显示）。 在如这样的显示装置的制造中，在检查形成于透明的基材上的透明电极薄膜等透明的图案 的外观的情况下，例如，通过向基材照射光，再接收反射光，来取得图案的图像。在JP特开 2013-68460号公报（文献1)中披露了，一边维持从光照射部到基材上的拍摄区域的光轴与 基材的法线所成的照射角，等于从拍摄区域到线传感器的光轴与该法线所成的检测角，一 边取得图像的装置。该装置中，利用了图像的对比度较高的照射角以及检测角的设定角度。
[0003] 此外，在JP特开2008-205737号公报（文献2)中披露了得到保存边缘的平滑化 模型的方法。在该方法中，计算在关注区域中的关注像素与周围像素的像素值背离度以及 位置背离度，再使用像素值背离度和位置背离度来求出相关指标值。然后，根据该相关指标 值来求出周围像素的滤波系数，根据像素值背离度来求出关注像素的滤波系数，使用该滤 波系数来进行滤波运算。另外，作为既保存边缘又去除噪声的平滑化方法，已知还有双边滤 波、ε滤波。
[0004] 顺带一提，在透明的基材中含有微小的粒状物质（所谓的填充物）的情况下，或者 在基材的表面上存在微小的凹凸的情况等下，在拍摄的图像中会存在多个颗粒元素，无法 高精度地检查图案。虽然考虑到通过既保存边缘又去除噪声的上述图像处理来去除颗粒元 素，但是在颗粒元素比图案区域的边缘对比度高的情况下，颗粒元素也会与图案区域的边 缘一起保存下来。
【发明内容】
[0005] 本发明的目的在于，针对图像处理装置，在含有对比度比图案区域的边缘高的颗 粒元素的图像中，既保存图案区域的边缘，又去除对比度较高的颗粒元素。
[0006] 本发明的图像处理装置具有：代表值取得部，在示出图案区域并且包含有对比度 比所述图案区域的边缘更高的颗粒元素的图像中，以各像素作为关注像素，取得在以所述 关注像素为中心的规定尺寸的区域中所包含的多个对象像素的亮度值的代表值；基准值 设定部，在所述关注像素的亮度值处于以所述代表值为中心来设定的亮度值范围内的情况 下，将所述关注像素的亮度值设定为基准值，在所述关注像素的亮度值处于所述亮度值范 围以外的情况下，将所述代表值设定为基准值，或者，与所述关注像素的亮度值无关地将所 述代表值设定为基准值；滤波处理部，通过进行以下的滤波处理来求出所述关注像素的新 的亮度值，在该滤波处理中，使用所述多个对象像素的亮度值，并且各对象像素的亮度值与 所述基准值之差越小，则使得与所述各对象像素的亮度值对应的权重越大。
[0007] 根据本发明，在示出图案区域并且包含对比度比图案区域的边缘更高的颗粒元素 的图像中，既可以保存图案区域的边缘，又可以去除对比度较高的颗粒元素。
[0008] 在本发明的一个优选的实施方式中，所述代表值取得部，求出表示所述多个对象 像素的亮度值的散乱分布的值；所述基准值设定部，基于表示所述散乱分布的值来决定所 述亮度值范围的宽度，使用所述亮度值范围来设定所述基准值。
[0009] 在本发明的其他优选实施方式中，所述滤波处理部在所述滤波处理中，在所述多 个对象像素中排除亮度值处于以所述代表值为中心来设定的亮度值范围以外的对象像素 的所述亮度值。
[0010] 在本发明的更优选的其他实施方式中，在所述滤波处理中，所述各对象像素与所 述关注像素的距离越小，则使得与所述各对象像素的亮度值对应的权重越大。
[0011] 在本发明的一个实施方式中，所述图像是示出形成于透明基材上的透明电极膜的 图像。
[0012] 本发明也适用于取得形成于基材上的薄膜图案的图像的图像取得装置。本发明的 图像取得装置具有：拍摄单元，通过拍摄所述基材来取得拍摄图像；如上所述的图像处理 装置，对所述拍摄图像进行处理。
[0013] 本发明也适用于图像处理方法以及取得形成于基材上的薄膜图案的图像的图像 取得方法。
[0014] 通过参照添加的附图并在以下详细地说明本发明，来揭示上述的目的以及其他的 目的、特征、实施方式以及优点。
【附图说明】
[0015] 图1是示出图像取得装置的结构的图。
[0016] 图2是示出计算机的结构的图。
[0017] 图3是示出计算机实现的功能结构的框图。
[0018] 图4是示出检查基材上的图案的处理的流程的图。
[0019] 图5是示出基材的剖视图。
[0020] 图6是示出拍摄图像的图。
[0021] 图7是示出目标区域的亮度值概况的图。
[0022] 图8是示出目标区域的亮度值概况的图。
[0023] 图9是示出处理完成图像的图。
[0024] 图10是示出比较例的经过处理的处理完成图像的图。
[0025] 其中，附图标记说明如下：
[0026] 1图像取得装置
[0027] 8拍摄图像
[0028] 8a处理完成图像
[0029] 9 基材
[0030] 13拍摄单元
[0031] 41图像处理部
[0032] 71、72关注像素
[0033] 81图案区域
[0034] 91 图案
[0035] 411代表值取得部
[0036] 412基准值设定部
[0037] 413滤光处理部
[0038] 711、721 目标区域
[0039] 811边缘
[0040] 831~833颗粒元素
[0041] P1、P2(关注像素的）亮度值
[0042] PA代表值
[0043] R1、R2基准值判断范围
[0044] S11 ~S18 步骤
【具体实施方式】
[0045] 图1是示出本发明的一个实施方式的图像取得装置1的结构的图。图像取得装置 1取得形成于基材9上的薄膜图案的图像，并且基于该图像进行薄膜图案的外观检查。即， 图像取得装置1具有作为图案检查装置的功能。在本实施方式中，基材9是玻璃基板或者 透明薄膜。例如，薄膜图案是透明电极膜。在基材9上也可以设有防反射膜等其他的薄膜。 在以下的说明中，将薄膜图案仅称为"图案"。基材9用于例如制造静电电容型的触摸面板。
[0046] 图像取得装置1具有：移动基材9的移动机构11、拍摄单元13以及计算机3。移 动机构11具有：载物台21、X方向移动部22以及Y方向移动部23。该载物台21在上表面 上保持有基材9。该X方向移动部22沿着与基材9的主表面平行的图1中的X方向移动载 物台21。该Y方向移动部23沿着与基材9的主表面平行，且，垂直于X方向的Y方向移动 该X方向移动部22。移动机构11是相对于后述的拍摄区域90相对地移动基材9的机构。 此外，也可以在移动机构11中追加如下机构：沿着与X方向以及Y方向垂直的图1中的Z 方向移动载物台21的机构，以平行于Z方向的轴为中心来旋转载物台21的机构。在图像 取得装置1中，计算机3实现承担图像取得装置1的整体控制的整体控制部的作用。
[0047] 拍摄单元13具有：光照射部131、线传感器132以及角度变更机构133。该光照 射部131向基材9上的拍摄区域90出射光。该线传感器132接收来自拍摄区域90的反射 光。该角度变更机构133变更光照射部131的光的照射角以及线传感器132的检测角。此 处，照射角是指，从光照射部131到拍摄区域90的光轴J1与基材9的法线N所成的角θ1。 检测角是指，从拍摄区域90到线传感器132的光轴