专利名称：嵌入式波导印刷电路板结构的制作方法
技术领域：
本发明通常涉及一种itA^波导印刷电路板(PCB)结构。
技术背景随着摩尔定律推动着数据总线的带宽的日益增加，与传统的微带和带状线 传输线结构相关的基本障碍将沟,度限制到频率低于每秒15-20吉(十亿)比 特。信号传输限制本质上与由介质和铜导致的传输线损失和由微带和带状线结 构支持的传输模式相关。而且，使用具有标准传输线结构的高性能介质可以让 带宽增加很小，但是会显著增加成本。随着用于调制信号的信号频斜口载波频率升至IJ^1每秒15-20吉比特并且 朝着20-50GHz增加并M3！ 20-50GHz，作为传输结构的标准微带和带状线传 输线结构变得越发无效。因此，需要一种可替换的信号传播方法。为了确保最 小的损失和引导这种高频率的能量， 一种方案是使用波导结构。波导通常是控 制电磁波传播以便使波沿着由波导的物理结构所限定的路径的器件。标准的波 导不容易集成在基于当前印刷电路板(PCB)工艺技术的数字系统中。因此， 提出了对改善的PCB波导的需要。
发明内容
本发明的一些实施例涉及嵌入式波导印刷电路板(PCB)结构。 一些实施例涉及形成嵌入波导的工艺。一些实施例涉及压印波导PCB结构。 一些实施例涉及形成压印波导的工艺。一些实施例涉及准波导PCB结构。 一些实施例涉及形成准波导的工艺。 在一些实施例中，顿印刷电路板材料制造印刷电路板，以及形成包含在印刷电路板材料中的波导。在一些实施例中，印刷电路板包括印刷电路板材料，以及包含在印刷电路板材料中的波导。在一些实施例中，沟道形鹏印刷电路板材料中，该形成的沟道被镀覆以 形成嵌入式波波导的至少两个侧壁，并且将印刷电路板材料层压在该镀覆的沟道 上。在一些实施例中嵌入式波导包括形鹏印刷电路板材料中的沟道、该沟 道的至少两度覆的侧壁和层压到该沟的印刷电路板材料。在一些实施例中，沟道由两个压印子部件组合而成，每W部件由印刷电 路板材料制成并且层压该压印子部件以形臓导。在一些实施例中，波导包括两个各由印刷电路板材料制成的压印子部件和 位于压印子部件之间以形成波导的沟道。在一些实施例中，沟道形皿印刷电路板材料中，该形成的沟道被镀覆以 形成准波导的至少两个侧壁，并且4顿热固粘结齐i將印刷电路板材料层压在该 镀覆沟払在一些实施例中，准波导包括在印刷电路板材料中形成的沟道、两W度覆 的沟道侧壁、和层压在该沟肚的印刷电路板材料。一些实施例涉及一种充气的波导。充气的波导4顿于任何类型的波导的损 耗尽可能的低。在波导中會^量的大多数集中在介质中而不是在导体中。因此， 通过在波导中i顿空气而不是填充其他的材料，使沟道的损耗最小化。根据一些实施例，尽管从损耗的角度来说，充气的波导是最有益的，但是 波导可以填充除空气以外的材料(例如，用于制造和/或可靠性考虑)。尽管此 处讨论、描述和/或说明波导为填充空气，但是根据一些实施例，所有此处讨论 、描述和/或说明的波导可以填充除了空气以外的其它材料。
根据一些实施例，波导传播能量比在高频率的标准传输线结构效率更高，由此可以用来扩展标准的、低成本PCB沟道技术的宽带(例如，达到100-200GHz的频率)。根据一些实施例，{顿已有的PCB材料和工艺制造充气的波导。 根据一些实施例，空气介i^波导用在PCB中。根据一些实施例，标准的低成本FR4环氧树脂印刷电路材料可以用来形 成PCB中的波导。根据一些实施例，非常高速的总线可以在数字系统的PCB和/，频(RF) 集成PCB中实现(例如，用于电信器件中)。根据一些实施例，PCB波导用来4OT FR4材料和已有的PCB制iTH艺扩 展信号(例如，皿20-30GHz)。根据一些实施例，使用报4材料的波导互连结构有助于减少介质损耗和 串扰的变化。根据一些实施例，樹共一禾中PCB互连波导的结构、工艺、材料选择和制造。根据一些实施例，M31在介质或多层PCB组合内形成沟道(例如，■ 布线、穿通、使用激光器或t駭U)来建构波导。然后，镀覆沟道以形成该波导 的两侧壁。在一雖据该方法和所用的工艺的实施例中，还形成顶壁和/鹏壁。 沟道的其余壁可以用同样的方式带隨。根据一些实施例，fflil层压包括波导的顶部、底部和侧壁的PCB子部件 来制造波导。当^顿热固粘结齐诉口/或预浸料时，在层压前去除沟道区域的粘结 剂。在一些实施例中，粘结剂从沟道的iit彖去除(例如，20+MILS)以掛共对 在层压过程中中材料移动和粘结剂流动的缓冲。根据一些实施例，热塑盖层用来提供顶部和/或底部波导表面。热塑材料 作为粘结剂，并且限定波导表面的蚀刻金属做得比波导沟道稍微大一些以解决 层压过程中的材料移动。
根据下面给出的详细说明和本发明的一些实施例的附图，将更加充分地理 解本发明，然而，不能将本发明局限于说明的具体实施例，其仅用于解释和理 解。
图1说明了根据本发明的一些实施例形成^A^波导的工艺。图2说明了根据本发明的一些实施例的^A^:波导。图3说明了根据本发明的一些实施例形成^A^i波导的工艺。 图4说明了根据本发明的一些实施例的駄式波导。 图5说明了根据本发明的一些实施例形成压印波导的工艺。 图6说明了根据本发明的一些实施例形成压印波导的工艺。 图7说明了根据本发明的一些实施例压印用来形成波导的芯(和或子部 件)的工艺。图8说明了根据本发明的一些实施例形成准波导的工艺。 图9说明了根据本发明的一些实施例的准波导。
具体实施方式
图1说明了根据一些实施例形纖导的工艺脂。根据一些实施例，工艺 100在层压的过程中使用热塑特性的热塑盖材料去贴附该波导的顶部盖和/皿部盖。图1的工艺謂的顶部分在102示出了铜包的热塑介质芯或多层结构。 根据一些实施例，在102所示的铜包热塑介质芯或多层结构具有由热塑料构成 的底部介质。在104底部铜层被图像化。由104所示的底部铜层包括用于形成 空气介MM导的导体。与图1的工艺100的顶部分相类似，工艺100的底部分在106包括铜包 的热塑介质芯或顶部介质为热塑料的多层结构。
102的结构的顶部铜层在 步骤應被图像化。在108的图像的顶部铜层包括用于波导的底部导电区域(例 如，如果中央芯被镀覆贝,于沟道和/翻于沟槽，或者，如果中央芯被图像化， 则例如用于空腔)。图1的工艺100的中间部分说明了用来形成中央芯的两种可iix艺。铜包两侧的或多层的芯在112示出。在图1中示出两种可选方案。第一可选方案 包括114和116，并且第二可选方案包括118和120。鄉一可选方案中，沟 道、沟槽和/或空S统114形 112所示的铜包两侧的或多层的芯中。在步骤 114中舰激光和/或等离子体，鹏铜作为傲虫(ablation) /鹏停腿来形成 沟道、沟槽和/或空腔。在步骤116镀覆和蚀刻芯，使铜支撑在该沟敏沟槽/空 腔的一侧上(例如，图1中戶标的底侧)。在第二可选方案中，在步骤118穿 过该芯对沟激沟槽/空腔进行布线、穿通、t膝,/或激光照Jt。在步骤120镀 覆和蚀刻该芯，使沟激沟槽/空腔的顶部和底部开通。在步骤122结合了工艺100的顶部、中部和底部的组成。在步骤122热塑 介质层压到包含该沟激沟槽/空腔的镀覆芯。此外，如需要，夕卜层部件被钻孔 、镀覆、图像化和/或蚀刻等等。根据一些实施例，步骤122的最终结果是具 有根据一些实施例的MA^i波导的PCB。根据一些实施例，图l的工艺謂的关键是在层压的过程中，使用热塑特征的盖材料去粘贴波导的顶部和/或底部芏mt-。图2说明了根据一些实施例的駄式波导200。根据一些实施例，波导200 可以使用例如图1中戶;f^的工艺100形成。^A式波导200包括热塑盖介质202 和由镀覆芯206限定的空气沟道204。根据一些实施例，工艺100和波导200涉及充气的波导。充气的波导使波 导的损耗尽可能的低。在波导中能量的大多数集中在介质中而不是导体中。因此， :在波导中4顿空气而不是±真充其他的材料使沟道的损瓶小化。图3说明了根据一些实施例形微导的工艺300。根据一些实施例，工艺 300 fOT热固FR4材料。图3的工艺300的顶部分示出了铜箔302和预浸料层304,预浸料层304形 ) :撑常规导体的波导PCB的顶部分。类似地，图3的工艺300的底部分示 出了铜箔306和预浸料层308,预浸料层308形j^撑常规导体的波导PCB的 底部分。在步骤312樹共铜包芯和/或多层，并且在步骤314在铜包芯和/或多层的 一部分形成(例如，布线、穿通、蚀刻和/或激光照射，等等)沟道、沟槽和/ 或空腔。然后，在步骤316，该芯被镀覆和蚀刻使沟激沟槽/空腔的顶部和/或 底部开通以形成波导的顶部分。在步骤322 ^f共低流动性顿流粘结剂。在步骤324，该粘结剂被布线、 穿通、t赅U和/或激光MI搏等，以形成ffl^粘结齐啲沟道、沟槽和/或空腔。在步骤332衛共铜包芯和/或多层，并且在步骤334在铜包芯和/或多层的 一部分形成(例如，布线、穿通、蚀刻和/或激光照射，等等)沟道、沟槽和/ 或空腔。然后，在步骤336，该芯被镀覆和蚀刻使沟激沟槽/空腔的顶部和/或 底部开通以形成波导的顶部分。
在步骤342，将铜箔302、预浸料304、在步骤316的镀覆和蚀刻的芯、 在324的具有空腔的粘结抓在336的镀覆和蚀刻的芯、预浸料308和/或铜箔 306的结果结合。在步骤342， i顿该激光照射的/穿通的低流动性顿^f占结 剂在沟敏沟槽/空腔的上面层压导体。根据需要，夕卜层部件被钻孔、镀覆、图 像化等。根据一些实施例，工艺300的关键是在比由沟敏沟槽/空腔形成的波导稍 微大一些的预浸料/粘结剂层中产生开口 ，以防止在层压过程中粘结剂流入波导。图4说明了根据一些实施例的ftA式波导400。根据一些实施例，波导400 可以使用例如图3中所示的工艺300形成。^A^波导400包括热固盖介质402 (例如， 一种标准的热固盖介质)和例如由上文以及工艺300戶皿的由，深 度镀覆的空腔所限定的波导沟道404。根据一些实施例，波导400是一种充气的波导，并且工艺300是一种形成 具有上面所列优点(例如，劇氐的介质损耗)的充气波导的工艺。由于大多数 的能量在介质中而不是在导体中，因此具有低介质损耗是一种对于波导来说很 重要的优点。另一方面，当一些能量在铜导体中，而一些在介质中，会从低损 耗介质中得到较小的益处。根据一些实施例，PCB内的空气介质波导可以用来縮放(scale)标准低 成本FR4环氧树脂印刷电路板材料(例如到诸如频率100-200GHz或更大)。根据一些实施例，为了大量制造使用压印方法在印刷电路板(PCB)内制造 波导。根据一些实施例，信号可以在PCB上传播，将去除与多吉比特总线设计 关联的重大的障碍，而不会显著的增加成本。根据一些实施例，通过依靠包括镀覆的沟道、沟槽和/或空腔的接合子部 件在PCB中制造波导结构。根据一些实施例，压印允许在與虫的步骤中形成 波导的沟道、沟槽和/或空腔，从而去除了通过非压印方法所需的许多制造工 艺。根据一些实施例，提出了一种有效的低Jtt的制造方法，以^ffl标准FR4 材料来实现波导。fflil压印波导的顶部和/鹏部而成为具有i^莫(master die) 图案的介质，来使波导形成具有图像化或非图像化的铜包介质。然后，该顶部
和底部层压在一起以形微导。根据一些实施例，由常规传输线结构导致的信号傲俞障碍被去除而不会显 著增加板成本。根据一些实施例，JOT FR4材料和己有的PCB制itX艺提出了一种扩展 信号传输超过每秒15-10吉比特的一种低成本的方法。根据一些实施例，低成本的压印方法被用来(例如，类似于CD的制造) 制造高性能的PCB。图5说明了根据一些实施例形微导的工艺500。根据一些实施例，工艺 500 ^ffi压印热塑介质来制造波导。在图5中所示的顶部，工艺500包括使用铜箔502和预浸料504以形皿 撑常规导体的波导PCB的顶部分。类似地，在图5中所示的底部，工艺500 包括使用铜箔506和预浸料508 ，以形j^撑常规导体的波导PCB的底部分。在工艺500的步骤522，使铜箔502、预浸料508、铜箔506、预浸料508 、压印子部件510和/或压印子部件512结合。t艮据一些实施例，压印子部件510 和512是压印热塑介质。f顿工艺500而不需4顿粘结剂，舰层压形臓导 的两个压印的相邻子部件510和512，来制造波导。这种层虹艺允许子部件 510和512的相邻的金属表面相接触，由此^波导的长度而跑共良好的EM (电磁)接触。根据需要，结合器件的外层部件可以被钻孔、镀覆、图像化等 等。图6说明了根据一些实施例形成波导的工艺600。根据一些实施例，工艺 600 ^ffl热固FR4材料来制造波导。在图6中所示的顶部，工艺600包括使用铜箔602和预浸料604来形^t 撑常规导体的波导PCB的顶部分。类{班也，在图6中所示的底部，工艺600 包括使用铜箔606和预浸料60S来形j^撑常规导体的波导PCB的底部分。 压印子部件610和压印T^件612也被〗顿在工艺600中。在步骤616，低流动性或无流粘结剂614被剪切、激光照射和/或穿通等 等，以便在波导区域内部没有粘结剂存在。在步骤616被剪切、激光照射和/或 穿通等等的粘结齐啲产物，細^MS合两个压印子部件610和612来制造波 导。在工艺600的步骤622，使铜箔602、预浸料604、铜箔606、预浸料608
、图案化粘结剂结构616、压印子部件610和/或压印子部件612结合。在步骤 622使用来自616的图案化粘结剂结构来层压压印，件610和612。由金属 表面的厚度和粘结齐啲厚度而定，金属表面和相邻的部件可以开始接触或被小 的间隙分隔开。根据需要，结合器件的外层部件可以被钻 L镀覆、图像化等等。图7说明了根据一些实施例用于压印用来形，导的芯(和/或子部件) 的工艺700。根据一些实施例，由工艺700形成的压印芯(和/或子部件)被用 于形成波导的其他工艺。例如，由工艺700形成的压印芯(和/或子部件)可以 被用来Hf共图5中的TM牛510、图5中的子部件512、图6中的^P件610 和/或图6中的子部件612。根据一些实施例由图7戶g的工艺700包括^ffl铜包热塑材料(和/或芯) 702的第一示例工艺。铜包层702作为压印工艺的释放层，并且是该芯的;S^卜 面的金属。在步骤704，该芯702在两个图案化压粒间被热压。在步骤704 使用的压fe— (例如，在步骤704的图7中戶g的底压板)包括与^l艘形成 的波导的反图像。在步骤704，当材茅4I皮加热，其变软并且构成了该图像压板 的形状。根据一些实施例，依据使用的热塑材料和释放剂，在该芯702上面的 铜包层可以在步骤704的挤压前被图像化。根据一些实施例，在该芯702上面 的铜包层可以在步骤704的挤压后被图像化(例如，在图7中的706步骤)。 该压印芯在步骤706被l2l劍(和减图像化)以形成压印部件(或子部件)708。根据一些实施例，由图7所示的工艺700包括使用热固材料的第二示例工 艺。除了利用热固材料之外，如图7中所示的根据一些实施例的第二示例工艺 类似于图7中的第一示例工艺。根据图7中B^的第二实施例，使用铜箔712 、铜箔714和热固材料716 (例如，热固B阶材料)。根据一些实施例，铜箔 712和714 (铜包层)用作释方媳。在使用图案化压板的压印挤压步骤704的 过程中〗顿的热量和压力中，热固材料716变软，被模制鹏，然后被固化成 图像化压板的开娥。 一旦在步骤704形成，压印芯在步骤706被图像化和/或蚀 亥拼且被处理成为压印部件(或子部件)708。根据一些实施例由图7所示的工艺700包括使崩隨盖的热塑芯722的第 三示例工艺。这种方法的成功在于， 一旦压印了就在步骤724利用释放剂来释 放压板。在步骤724的图像化和/或726之后，该部件在步骤726被镀覆和/或
蚀亥似形戯电的铜，并且被处理以形鹏印部件(或子部件)728。
根据一些实施例，由工艺700中的一个或多个工艺形成的压印芯(和/或 子部件)708和/或728 IM于形成波导的其他工艺。例如，由工艺700形成的 压印芯(和/或子部件)708和/或728可以IW来樹共图5中的TM牛510、图 5中的子部件512、图6中的子部件610和/或图6中的T^件612。
目前，当i顿标准的波导时，其不容易集成到应用pcb技术的数字系统 中。根据一些实施例，准波导结构可使用展示出真正波导的大多数优点的类波 导结构，且可以结合到pcb中并需要很少的客砂卜的制紅艺步骤。
根据一些实施例，提供了用于在pcb内设计、^:和/或制造准波导的方法。准波导是一种非真正波导的结构，但是展示了许多为有效的低成本高频率 信号传播而提供的特性。
根据一些实施例，提供了一种结构、工艺、材料选择和/或制造流程以在 pcb中粒准波导互连。
根据一些实施例，使用现有的pcb材料和工艺制造一个或多个空充气准 波导。
根据一些实施例，在数字系统和/娜频(rf)集成pcb (例如，用于远 程通信应用)中实施非常高速的总线。根据一些实施例，可以在pcb内使用 空气介质准波导,和/或允许縮放标准低成本fr4环 脂印刷电路材料。
根据一些实施例，通过在介质或多层pcb复合物内形成(例如，通过布 线、穿通和/或蚀刻，等等)沟道来制造准波导。然后，镀覆该沟道以形成该准 波导的两个侧壁。准波导的顶侧和底侧由常规处敏的层所构造。
根据一些实施例，M层压包括准波导的顶部、底部和侧壁的pcb子部 辨例如4顿热固粘结齐诉口/或预浸料)来制造准波导。沟道区域的粘结剂在层压 之前去除。根据一些实施例，粘结剂从沟道的边缘往回去除(例如，20+mils 密耳)，以在层压的过程中为材料的移动和粘结剂流动掛共缓冲。
根据一些实施例，热塑盖层用来提供顶部和/或底部准波导表面。热塑材 料作为该粘结剂，并且限定准波导表面的蚀亥险属做的比该沟道稍微大一些以 解决在层压的过程中材料的移动。
根据一些实施例，通掛广展信号传输能力超过每秒15-20吉比特，4顿准 波导去除由常规传输线路导致的障碍。
根据一些实施例，4顿FR4材料和已有的PCB制紅艺来形成准波导。根据一些实施例，准波导提供了位于FR4材料内的可选互连结构，FR4 材茅将助于M^介质损耗和串扰的变化。图8说明了根据一些实施例形成准波导的工艺800。根据一些实施例，工 艺800 4OT热固FR4材料来形成该准波导。铜包芯或多层802在图8的工艺800的顶部分示出。在步骤804，内铜包 层802被图象化(如果需要的话)。类似也，图8的工艺800的底部分示出铜 包芯或多层806。在步骤808，内铜包层806被图象化(如果需要的话)。在步骤812，樹共低流动性或一醜动粘结剂。在步骤814，在粘结剂812 中，沟道、沟槽和/或空腔被布线、穿通、嫩U和/或激光照射，等等。對姐也， 在步骤816，掛共低流动性或辆荒动粘结剂。在步骤818，在粘结剂816中， 沟道、沟槽和/或空腔被布线、穿通、蚀刻和/或激光MI寸，等等。在步骤822， 樹共铜包芯和/或多层，并且在步骤824在铜包芯和/或多层的一部分中形成(例 如，布线、穿通、蚀刻和/或激光照射，等等)沟道、沟槽和/或空腔。然后， 在步骤826，该芯被镀覆并且被蚀刻使该沟激沟槽/空腔的顶部和/或底部开通。在步骤832，在从步骤826的镀覆的沟激沟槽/空腔和粘结齐盱部件814 和818上实mM压。在步骤832，步骤804和808的结果也与其他部件结合。 根据一些实施例，使用芯层压工艺构造波导。根据一些实施例，层的数量增加 2层将容许标准的箔层压工艺。如果必要，该结合体的外部部件可以被钻 L、 镀覆和/或图象化。此外，根据一些实施例，在该结构中形成通孔(例如，为了 电性确保该波导顶部、底部和侧壁电连接)。根据一些实施例，工艺800的关键是在比准波导稍微大一些的预浸料/粘 结剂层中产生开口，以防lhM压过程中粘结剂流向波导。图9示出了根据一些实施例的准波导900。根据一些实施例，准波导900 可以使用例如图8中所示的工艺800形成。MA^波导900包括热固盖介质902 (例如， 一种标准的热固盖介质)和由布线和减穿孑邀缝所限定的波导沟道 904。根据一些实施例，工艺800和波导900涉及一种充气波导。充气波导为任 何类型的波导掛共了尽可能最低的损耗。在波导中，大量的能量集中在介质中 而不是导体中。因此，通过在波导中使用空气而不是填充另夕卜的材料让沟道的
损歸小化。尽管已经参考特别的实现方案描述了一些实施例，但是根据一些实施例的 其他实现方案也是可能的。此外，在附图所示的和/或掛鹏述的电路元件或其 他部件的设置和/或排歹怀必按照示出和描述的特别方式设置。根据一些实施 例，许多其他的设置也可以。在附图中所示的每个系统中，元件在一些瞎况中各具有相同的附图标己或不同的附图fei己以表明代表的元件可以是不同的和/^^似的。然而，元件可以足够灵活以具有不同的实现方案并且在此处所示或描述的一些或所有系统上使 用。附图中所示的各种元件可以是相同的或不同的。哪个称为第一元件，明P个 称为第二元件是随意的。在说明书和权禾腰求书中，可以使用术语"耦合"和"连接"以及它们 的派生词。应当理解，这些术语并不意歸彼此作为同义词。更确切地说，在 特别的实施例中，"连接"可以用来表明两个或更多的元件彼此之间直接地物 理性或电接触。"耦合"可以意tt两个或更多的元件直接地物理性或电接触。 然而，"耦合"还可以意B賴两个或更多的元件彼lfet间不是直接地物理性或 电接触，但是彼lfct间仍然合作或相互作用。在此， 一种算法通常被认为是一种导致需要结果的动作或操作的独立(self-consistent)的序列。这些包括物理量的物理操作。通常来说，尽管不必 要，但是物理量表现为能够被存储、转移、组合、比较和其他操作的电或磁的 信号的形式。已经证明，主要是为了一般用途的缘故，参雜雖为位、数值、 元件、符号、特征、术语、数字等的信号有时慰艮方便的。然而，应当理解， 所有这些和类似的术语将与适当的物理量相联系，并且仅^用于这 理量 的方便硫。一些实施例可以实现在硬件、固件和软件的一种或其组合中。 一些实施例 还可以通过存储在机器可读介质上的指令实现，该指令可以被计算平台读取和 执行以执行此处描述的操作。机器可读介质可以包括用于存储或传输以一种机 器(例如，计算机)可读形式的信息的任何机制。例如， 一种机器可读介质可以包括只读存储器(ROM);随机存取存储器(RAM);磁盘存储媒介；光存储媒介；快闪存储器件；电、光、声或其他形式的传l新言号(例如，载波、 红外信号、数對言号、传送和/或接收信号的接口，等等)和其它介质。
一实施例是本发明的一个方案或一舊仔。说明书中涉及的"一实施例"、 "一个实施例"、"一些实施例"或"其它实施例"意味着结合实施例描述 的部件、结构或特点包括在至少一些实施例中，但不一定在本发明的所有实施 例中。各种形式的"一个实施例"、"一实施例"、"一些实施例"不需要都 涉及相同的实施例。并不敲匕处描述和示出的所有的组件、部件、结构、特性等等需包括在特 别的实施例中。例如，如果说明书说明可以或能包括一种组件、部件、结构或 特性，那么不要求必须包括那个特别的组件、特征、结构或特性。如果说明书 或权利要求涉及不定冠词"一"元件，另阱不意歸只有一个元件。如果说明 书或权利要求涉及"一额,"元件，那不排除有更多额》卜的元件。尽管此处可以使用流程图和/或状态图来描述实施例，但是本发明并不局 限于这些图或此处相应的说明。例如，流程不一定经 匕处示出和描述的每个 示出的框或状态或完全按和此处示出和描述相同的JI,进行。本发明不限于此处所列的特别细节。实际上，受到该公开的益处的本领域 的技术人员应当理解，在本发明范围内，上述的说明书和附图可以做出多种其 他的变化。因此，下面的权利要求书和它的招可修改限定了本发明的范围。
权利要求
1.一种方法，包括在印刷电路板材料中形成沟道；镀覆该形成的沟道以形成嵌入式波导的至少两个侧壁；并且将印刷电路板材料层压在该镀覆沟道上。
2. 如权利要求l所述的方法，其中该沟道形itt铜包芯中。
3. 如权利要求1所述的方法，其中该形成的沟道被镀覆和蚀刻，使铜支撑在该沟道的一侧上。
4. 如权利要求1所述的方法，其中该形成的沟道被镀覆和蚀刻，使该沟道的顶部和底部开通。
5. 如权利要求l所述的方法，其中热塑介质层压到该镀覆的沟道。
6. 如权利要求1所述的方法，其中在层压过程中热塑盖材料附着到该沟 道的顶部。
7. 如权利要求1所述的方法，其中在层压过程中热塑盖材料附着到该沟 道的顶部和该沟道的底部。
8. 如权利要求l戶腿的方法，其中^顿粘结齐鹏导体层压到该沟3U:方。
9. 如权利要求8所述的方法，其中在层压之前去除沟道区域中的该粘结剂。
10. 如权利要求1戶腿的方法，其中该沟道形i^两^fi包芯中。
11. 如权利要求10所述的方法，其中该两W同包芯每一个中的沟道被镀 覆和蚀刻。
12. 如权利要求l戶脱的方法，其中该駄式波导是充气波导。
13. 如权利要求i戶腿的方法，其中该mx^;波导是一种高虹连。
14. 如权利要求1戶脱的方法，其中该层压工艺层压包括两个侧壁的印刷 电路板材料并，压包^i亥波导的顶部和底部的印刷电路板材料。
15. 如权利要求1戶脱的方法，其中该印刷电路板材料包樹氐成本FR4 材料。
16. 如权利要求l戶诚的方法，其中该沟道形鹏介Mt才料中。
17. 如权利要求1所述的方法，其中该沟道形，多层印刷电路板组合物中。
18. —种I^A^波导，包括 形鹏印刷电路板材料中的沟道； 该沟道的至少两^f度覆侧壁；禾口层压到该沟道的印刷电路板材料。
19. 如权利要求is的MA^;波导，其中该沟道形鹏铜包芯中。
20. 如权利要求18的^A^波导，其中该形成的沟道被镀覆和蚀刻，使 铜支撑在该沟道的一侧上。
21. 如权利要求18的mX式波导，其中该形成的沟道被镀覆和蚀刻， 使沟道的顶部和底部开通。
22. 如权利要求18的I^A^波导，其中热塑介质层压到该镀覆的沟道。
23. 如权利要求18的^A^波导，其中热塑盖材料附着到该沟道的顶部。
24. 如权利要求18的MA式波导，其中热塑盖材料附着到该沟道的顶部 和该沟道的底部。
25. 如权利要求18的i^A式波导，其中使用粘结剂将导体叠到该沟i^i:方。
26. 如权利要求25的^A^波导，其中该粘结剂不包括在沟道区域中。
27. 如权利要求18的^A^波导，其中该沟道形成在两伟包芯中。
28. 如权利要求27的^A^波导，其中该两^N同包芯每一个中的沟道被 镀覆和嫩U。
29. 如权利要求18的^A^波导，其中该^A^i波导是充气波导。
30. 如权利要求18的i^A^波导，其中该^A^波导是一种高ffi:连。
31. 如权利要求18的^A^波导，其中该印刷电路板材料包括低成本FR4 材料。
32. 如权利要求18的mA^i波导，其中该沟道形J^E介J^才料中。
33. 如权利要求18的^A^波导，其中该沟道形成在多层印刷电路板组 合物中。
全文摘要
在一些实施例中，在印刷电路板材料中形成沟道，镀覆该形成的沟道以形成嵌入式波导的至少两个侧壁，并且将印刷电路板材料层压到该镀覆沟道上。描述和要求了其他的实施例。
文档编号H05K3/46GK101128088SQ20061006449
公开日2008年2月20日 申请日期2006年12月30日 优先权日2005年12月30日
发明者B·D·霍赖恩, G·A·布里斯特, S·哈尔 申请人:英特尔公司