专利名称：简易大气压悬浮电极冷等离子体射流发生器的制作方法
技术领域：
本发明属于等离子体放电反应器技术领域，涉及一种冷等离子体射流发生 装置，特别涉及到一种简易大气压悬浮电极冷等离子体射流发生器。
背景技术：
低温等离子体空间富集的离子、电子、激发态原子、分子及自由基都是极 活泼的反应性物种，这些活性粒子数量大、种类多、活性高，易于和所接触的 材料表面发生反应，因此近年来，低温等离子体在灭菌消毒、表面改性(改善 纸张、薄膜、纺织品以及纤维的可湿性、吸水性、印染性、粘着性和导电性等 方面的性质)、薄膜沉积、刻蚀加工、器件清洗等领域得到越来越广泛的应用。 目前，多数低温等离子体是在几百帕的低气压下通过气体放电产生的，但对于 大规模工业生产，低气压等离子体存在两个重要缺点(1)放电和反应室处于低气压状态，需采用真空系统，投资高且应用复杂；(2)分批处理效率低，需要 不断地打开真空室取出成品添加试品，然后重新抽真空充入工作气体，难于连 续生产。因此，更适合用于大规模低温生产应用的是大气压下形成的低温等离 子体。大气压冷等离子体射流是近年来兴起的一种新型大气压类辉光等离子体发 生技术，这种技术可以将微小空间内的放电加以扩大并引出，形成较为开阔的 大气压类辉光放电等离子体。应用多种工作气体及其混合气体都可以有效地产 生冷等离子体射流，具有击穿电压较低、离子和亚稳态原子浓度较高、电子温度高、中性粒子温度低、产生的等离子体中均匀部分较大、可控性好等特点， 是目前国际上等离子体应用领域的研究热点。传统大气压冷等离子体射流装置 多由石英管介质阻挡射频感性耦合或容性耦合放电产生，但是对于这种在介质 阻挡方式下由射频放电产生的等离子体射流，当射频功率输入超出某一范围时， 射频等离子体射流容易转化为均匀性差的高温电弧，降低了大气压冷等离子体 射流的稳定性。同时，传统射流源的结构相对复杂，射频电源的应用也增加了 操作、控制及维护的复杂性。发明内容本发明旨在提供一种简易大气压悬浮电极冷等离子体射流发生器，具有结 构简单、实用性强等特点。以氩气或氦气为工作气体，可在常压开放空气环境 中获得均匀稳定的冷等离子体射流，具有温度低、长度长、产生及维持电压低、 连续工作时间长等优势，可用于灭菌消毒、表面改性、器件清洗等应用领域。本发明的技术方案是该装置的主体部分是一根两端开放的毫米量级石英 管，规格为内径5.5mra，外径8mra，其一端作为反应器进气口，通过导管经流量 计与供气源相连，供气源所供工作气体为氩气或氦气，另一端作为等离子体射 流出口。距离射流出口上方10mm处有一对针电极嵌入石英管内，两针电极呈径 向对称，电极之间间距2. 5mm。与48kHz交流源相连的一侧针电极为功率电极， 交流源电压0-10kV可调；与功率电极相对的另一侧针电极直接悬浮于周围开放 空气环境中无须接地，作为悬浮电极。通过施加电压，电极之间发生放电产生 等离子体，在流动气体作用下，放电区等离子体被喷射出管外形成射流。当输 入工作气体流量保持一定时，持续增大外加电压，该简易大气压悬浮电极冷等 离子体射流发生器将经历击穿放电、稳态射流、非稳态射流、射流消失转为管 内放电四个阶段，各阶段对应阈值电压根据所使用工作气体不同有所差异。以上四个环节中，可应用于实际生产的为稳态射流阶段及非稳态射流阶段。除外 加电压外，气体流量也会影响放电强度及射流形貌。若输入气流过小，则无法 产生等离子体射流；若输入气流过大，则射流出口处会形成湍流，不宜射流稳 定运行。在上述规格及条件下，形成稳定氩气或氦气等离子体射流的合适气流范围为0.08 mVh- 0. 3mVh。总之，通过调节外加电压及工作气体流量，可获 得均匀、稳定的冷等离子体射流。本发明的效果和益处在于通过使用针针电极结构并引入悬浮电极，可有效改进、提高冷等离子体射流性质。由于针电极尖端曲率较大，且两针电极间 距较近，因此利用针针电极结构更易于产生较强电场，可明显降低等离子体射流产生及维持电压；悬浮电极的引入大大优化了射流特性，由于不需使用外接 器件，在简化电路构造的同时，更降低了能量在外回路的损耗，使能量更易集 中在射流产生通道，提高了能量利用率；此外，悬浮电极还可以控制电荷积累， 有效控制针针放电强度，增强射流稳定性，防止射流热化。使用该装置，可在 常压开放环境下获得均匀、稳定的冷等离子体射流，具有温度低、长度长、产 生及维持电压低、连续工作时间长、结构简单等特点。
附图1是本发明简易大气压悬浮电极冷等离子体射流发生器的结构示意图。 图中101. 流量计，用于控制输入反应器的工作气体流量。102. 进气口，用于输入工作气体。103. 石英管，反应器主体部分，用于固定电极位置，提供放电发生环境，规 格为内径5.5mm，外径8mm。104. 功率电极，作为能量输入端，位于距离石英管下游端口上方10mm处，与48kHz交流功率源相连。105. 悬浮电极，位于距离石英管下游端口上方10mm处，直接悬浮于周围空 气环境中无须接地；与功率电极呈径向对称，两电极之间间距2.5mm。106. 射流出口，即石英管下游端口，可将微小空间内放电产生的等离子体引 出，形成较为开阔的等离子体。107. 48kHz交流功率源，电压0-10kV可调，用于提供电压。108. 48kHz交流功率源接地。附图2是简易大气压悬浮电极冷等离子体射流发生器俯视图。
具体实施方式
以下结合技术方案和附图，详细叙述本发明的具体实施方式
。 工作气体(氦气或氩气)经流量计101后，由进气口 102进入石英管103。 射流出口 106上方10mm处有一对针电极嵌入石英管内，与48kHz交流源107 相连的一侧针电极为功率电极104，交流源电压0-10kV可调；与功率电极相对 的另一侧针电极直接悬浮于周围开放空气环境中无须接地，作为悬浮电极105; 两针电极呈径向对称，电极之间间距2.5mm。当通过功率电极施加交流高压达到气体击穿阈值时，两针电极之间产生放 电，形成强度较小的微弧；此时略提升电压，使得放电区电离增强，粒子密度 增多，在流动气体作用下，放电区等离子体被喷射出管外，在射流出口 106处 形成均匀稳定的类辉光射流，长度可达50mm-70mm。用示波器及光电倍增管做 在线分析发现，稳态射流的光电流与外加电压频率相同，且每半周期出现一次 脉冲峰，这一规律与大气压辉光放电电流状态相似；用光纤温度传感器监测发 现，当以氩气、氦气为工作气体时，稳态射流温度仅为2(TC左右，属典型低温等离子体；通过光谱检测发现，射流区富集0H、 0、及激发态原子等活性反应物 种。此外，稳态氩气或氦气等离子体射流一旦形成，便可连续、稳定运行数小 时。因此，该简易大气压悬浮电极冷等离子体射流发生器所产生的稳态射流可 用于灭菌消毒、表面改性、器件清洗等应用领域，特别适于对温度较为敏感的 材料表面进行处理。在稳态基础上进一步提高电压时，放电强度增强，射流区变亮，但射流仍 可保持稳态，且射流长度几乎不变；当电压增至一定程度时，射流区内出现少 量放电细丝，射流过渡到非稳态，长度略有减小。通过示波器及光电倍增管测 量发现，此时在光电流主脉冲上出现若干细小脉冲，具有一定的丝状放电特征; 光谱检测发现，射流区仍有大量的OH、 0、及激发态原子等活性反应物种。因此， 非稳态射流仍可应用于灭菌消毒、器件清洗等方面，但不宜用于布匹、纸张等 材料的表面改性，以防局部温度过高，造成烧蚀或穿孔。在非稳态基础上进一步加大电压至一定值，射流出口处的等离子体射流将 突然消失，转而在射流管内部出现大量无规则螺旋状放电细丝。这一过程避免 了射流的进一步热化，加强了装置的可控性，同时增加了对所处理材料的保护。 综上，该简易大气压悬浮电极冷等离子体射流发生器的可用阶段为稳态射流及 非稳态射流。除外加电压外，气体流量也会影响放电强度及射流形貌。若气流过小，则 无法产生等离子体射流；若输送气流过大，则射流出口处会形成湍流，不宜射 流稳定运行。在上述规格及条件下，形成稳态氩气或氦气射流的合适气流范围 为O. 08 m3/h- 0.3mVh。具体实施例采用纯度99.999%的高纯氩气为工作气体，能够产生稳态射流及非稳态射流的流量下限是O. 08m3/h。当流量为0.26 mVh时，各阶段阈值电压及射流特性如下1. 两针电极之间产生放电，形成低强度微弧的击穿阈值是2.7kV。2. 进一步增大电压，出现稳态射流的电压区间为3.6kV-4.4kV;稳态射流 的宏观温度范围是18.7"-22.3"C，电子激发温度为3329K-3715K;射流长度始终 保持在60mm左右。3. 继续增大电压，出现非稳态射流的电压区间是4.4kV-5.6kV;电子激发温 度为3329K-4405K;非稳态射流长度较稳态射流略短，约为40mm-60mm。4. 当外加电压大于5.6 kV时，射流消失，转而在射流管内部出现大量无规 则螺旋状放电细丝。
权利要求
1.一种简易大气压悬浮电极冷等离子体射流发生器，其特征在于装置主体为一根两端开放的毫米量级石英管，与供气源相连的一端为发生器进气口，另一端为射流出口；射流出口上方石英管内嵌入一对针电极，两电极呈径向对称，与交流源相连的一侧针电极为功率电极，另一侧针电极直接悬浮于空气中为悬浮电极；通过施加电压，两针电极之间放电产生等离子体，在流动气体作用下，放电区等离子体被喷射出管外形成射流。
2. 根据权利要求1所述的一种简易大气压悬浮电极冷等离子体射流发生 器，其特征在于射流出口上方10mm石英管内嵌有一对针电极，两电极呈径向 对称，电极之间间距2.5mm，与交流源相连的一侧针电极为功率电极，另一侧针 电极直接悬浮于空气中无须接地，作为悬浮电极。
3. 根据权利要求1所述的一种简易大气压悬浮电极冷等离子体射流发生 器，其特征在于所采用电源为48kHz交流功率源，电压0-10kV可调。
4. 根据权利要求1所述的一种简易大气压悬浮电极冷等离子体射流发生 器，其特征在于供气源所提供工作气体为氩气或氦气。
全文摘要
本发明属于等离子体放电反应器技术领域，涉及一种简易大气压悬浮电极冷等离子体射流发生器。特征在于装置主体为一根毫米量级石英管，与供气源相连一端为发生器进气口，另一端为射流出口；射流出口上方有一对针电极嵌入石英管内，两电极呈径向对称，与交流源相连的一侧针电极为功率电极，另一侧针电极悬浮于空气中为悬浮电极；通过施加电压，电极之间放电产生等离子体，经流动气体作用喷射出管外形成射流。本发明的效果和益处在于针电极结构可降低射流产生及维持电压；悬浮电极不但有利于提高能量利用率，还可有效控制放电强度，维持稳定放电；所获常压等离子体射流具有温度低、长度长、产生及维持电压低、连续工作时间长、结构简单等特点。
文档编号H05H1/26GK101252805SQ20081001090
公开日2008年8月27日 申请日期2008年3月31日 优先权日2008年3月31日
发明者任春生, 王德真, 聂秋月 申请人:大连理工大学