专利名称：低温探针台防热辐射铝箔屏及其制造方法
技术领域：
本发明涉及一种防止热辐射的装置，特别涉及一种低温探针台防热辐射铝箔屏及 其制造方法。
背景技术：
'迄今为止，硅基集成电路取得了巨大的成功并主导着市场，但在辉煌成功的背后， 必须要认识到硅M0S技术所面临的严峻问题，尤其是尺度縮小和集成度提高带来的功 耗和量子效应问题。因此，基于新材料(如纳米材料、有机分子材料等)和新原理(如 量子隧穿、自旋等)的器件研究方兴未艾，而对于这些新器件，其中的一个关键或难 点在于某些物理现象和物理机制的研究需要在低温下才能开展。由此可以看出，不仅 变温(低温-高温)条件下的物性测试与分析十分重要，而且极端条件下的学科交叉 研究也越来越引起人们的兴趣和重视。与此同时科研人员对新材料、新器件为主的多 功能变温物性分析测试也提出了越来越高的要求。从上所述可以看出，在研究层次， 低温的获得显得非常重要。
从技术发展的角度看，基于极低温下的设备微型化、多功能化是这方面科研仪器 发展的趋势，因此如果能在高真空、极低温的腔体中集成有射频、光电、电磁等功能 的低温物性测试系统已成为一个必然的选择。然而，多种功能的集成相对容易，但多 功能集成后极低温的获得与操持却有相当的难度。
但目前在高真空、极低温的基础上以探针测试的方式集成多种功能的商品化设备 国际上只有美国、日本、德国这几个国家的不超过五家公司在生产，国内没有一家厂 家可生产低温真空探针设备。但国外设备在低温获得与保持方面能力各不相同。目前 来说，美国Lakeshore公司的低温探针设备优势最为明显，他能获得1(TtoiT的高真 空，而且依据液氦致冷，其低温可达5K，是一个非常好的低温平台。但当温度到达5K 时，再降低温度变的困难，而且维持这么低的温度需要消耗掉大量昂贵的液氦。因此， 如何维持低温及减少液氦的消耗量，对于降低实验成本及获得更好测试结果方面显得 尤为重要。
发明内容
本发明提供了一种低温探针台防热辐射铝箔屏，用来防止外界的热辐射对低温环 境的扰动。
所述技术方案如下
本发明的低温探针台防热辐射铝箔屏，所述铝箔屏包括固定项圈以及至少2条铝 箔条；所述固定项圈的直径与所述低温探针台内真空腔室的内径相匹配；所述铝箔条 均匀固定在所述固定项圈上。
本发明的低温探针台防热辐射铝箔屏，所述铝箔条的形状为宽2至5毫米、长50 至100毫米的长方形。
本发明的的低温探针台防热辐射铝箔屏，所述铝箔条的厚度为80微米至120微米。
本发明的低温探针台防热辐射铝箔屏，所述铝箔条在与所述固定项圈固定处的角 度与垂直方向呈25度至35度夹角。
本发明的低温探针台防热辐射铝箔屏，所述与所述低温探针台内探针臂相对应的 位置不设置铝箔条。
此外，本发明还提供了一种低温探针台防热辐射铝箔屏的制备方法。
所述技术方案如下
本发明的低温探针台防热辐射铝箔屏的制造方法，所述方法包括下列步骤 步骤A、制作固定项圈； 步骤B、制作铝箔条；
步骤C、将铝箔条固定在固定项圈上。
步骤D、将低温探针台内探针臂位置相对应的铝箔条去除。
本发明的低温探针台防热辐射铝箔屏的制造方法，所述步骤B具体为选用厚度
为100微米的铝箔，将铝箔剪裁成宽2至5毫米、长50至100毫米的长方形的铝箔条。 本发明的低温探针台防热辐射铝箔屏的制造方法，其特征在于，所述步骤C中，
固定铝箔条的方法采用直接将铝箔条粘贴在固定项圈上，或利用铝箔的自身应力将铝 箔条固定在固定项圈上。
本发明提供的技术方案的有益效果是
本发明的低温探针台防热辐射铝箔屏可以有效防止外界的热辐射对低温环境的扰
动，使用本发明的低温探针台防热辐射铝箔屏可以有效地使温度由5K降至4. 5K。由于 较为有效地反射了热辐射，其消耗的液氮和液氦的量减少，节约了实验成本。
同时，本发明的低温探针台防热辐射铝箔屏的制造方法简单易行，易于加工制造。此外，使用本发明的低温探针台防热辐射铝箔屏的制造方法可对现有的类似的设备做 二次开发，因此具有普适性。
图l是本发明提供的低温探针台防热辐射铝箔屏的结构示意图； 图2是本发明提供的制备低温探针台防热辐射铝箔屏的方法的流程图。
具体实施例方式
为使本发明的目的、技术方案和优点更加清楚，下面将结合附图对本发明实施方 式作进一步地详细描述。 实施例1
参见图1。本发明的低温探针台防热辐射铝箔屏主要结构包括固定项圈以及在设 置在固定项圈边缘的铝箔条。
固定项圈1可以选用具有一定弹性的铁丝，按照低温探针台真空腔室的内径进行 加工，保证固定项圈1的直径与低温探针台真空腔室的内径相匹配。 一般情况下，固 定项圈1的直径在12CM左右。用来加工固定项圈1的铁丝要具有一定弹性，使其能够 凭借自身弹性顶住低温探针台真空腔室的内壁而不易滑落，起到固定、支撑铝箔条的 作用。
在固定项圈1的边缘固定有若干条铝箔条2。铝箔条2应选用具有一定厚度和硬 度的铝箔制成，如厚度为80微米至120微米厚的铝箔，这样可保证铝箔条2易于成型 且易于固定。每条铝箔条2基本形状为宽度为2至5毫米、长度为50至100毫米的长 方形。
一般的铝箔一面呈高度抛光，而另一面相对较粗糙。本发明的低温探针台防热辐 射铝箔屏固定在固定项圈1上的铝箔条2的抛光面向外，用以更好地放射外部的热辐 射进入。
为达到反射热辐射的最佳状态，本发明的低温探针台防热辐射铝箔屏的铝箔条2 与垂直方向呈一定角度，最佳角度为25度至35度左右。
因为在低温探针台的内部设置有若干探针，为防止铝箔条干扰探针壁的移动，在 探针活动范围3的铝箔条被去除。
实施例2参见图2。本发明还公开了一种制备低温探针台防热辐射铝箔屏的方法。主要包 括下列步骤
步骤101:制作固定项圈。
根据低温探针台防真空腔室内径的大小确定固定项圈的直径。将铁丝加工成确定 内径的圆形固定项圈。 一般低温探针台防真空腔室内径为IO厘米，本实施例中的固定 项圈的直径也加工为19厘米。
步骤102:制作铝箔条。
选用100微米厚度的铝箔，经铝箔裁剪成宽度为2至5毫米、长度为50至100 毫米的长方形铝箔片。
步骤103:将铝箔条固定在固定项圈上。
将裁剪好的铝箔条抛光面向外均匀地固定在固定项圈边缘上。固定方法可以采用 粘贴，也可以利用铝箔自身的应力特性进行固定。在固定的同时要调整铝箔条的固定
角度，保证在固定线圈与地面平行时，固定其上的铝箔条向外与竖直方向呈30度夹角。
歩骤104:将探针壁处的铝箔条去除。
为防止调节探针壁位置时，铝箔条的存在而干扰探针壁的移动，需要将将探针壁 处探针活动范围的铝箔条去除。
经过上述步骤可以加工完成制备本发明的低温探针台防热辐射铝箔屏。本发明的 低温探针台防热辐射铝箔屏的制造方法简单易行，易于加工制造。此外，使用本发明 的低温探针台防热辐射铝箔屏的制造方法可对现有的类似的设备做二次开发，因此具 有普适性。
以上所述仅为本发明的较佳实施例，并不用以限制本发明，凡在本发明的精神和 原则之内，所作的任何修改、等同替换、改进等，均应包含在本发明的保护范围之内。
权利要求
1、一种低温探针台防热辐射铝箔屏，其特征在于，所述铝箔屏包括固定项圈以及至少2条铝箔条；所述固定项圈的直径与所述低温探针台内真空腔室的内径相匹配；所述铝箔条均匀固定在所述固定项圈上。
2、 根据权利要求l所述的低温探针台防热辐射铝箔屏，其特征在于，所述铝箔条的形状为宽2毫米至5毫米、长50毫米至100毫米的长方形。
3、 根据权利要求1所述的低温探针台防热辐射铝箔屏，其特征在于，所述铝箔 条的厚度为80微米至120微米。
4、 根据权利要求1所述的低温探针台防热辐射铝箔屏，其特征在于，所述铝箔 条在与所述固定项圈固定处的角度与垂直方向呈20度至35度夹角。
5、 根据权利要求l所述的低温探针台防热辐射铝箔屏，其特征在于，在与所述 低温探针台内探针臂相对应的位置不设置铝箔条。
6、 一种低温探针台防热辐射铝箔屏的制造方法，其特征在于，所述方法包括下列 步骤歩骤A、制作固定项圈；步骤B、制作铝箔条；步骤C、将铝箔条固定在固定项圈上；步骤D、将低温探针台内探针臂相对应位置的铝箔条去除。
7、 根据权利要求6所述的低温探针台防热辐射铝箔屏的制造方法，其特征在于， 所述步骤B具体为选用厚度为100微米的铝箔，将铝箔剪裁成宽2毫米至5毫米、 长50毫米至100毫米的长方形的铝箔条。
8、 根据权利要求6所述的低温探针台防热辐射铝箔屏的制造方法，其特征在于， 所述步骤C中，固定铝箔条的方法采用直接将铝箔条粘贴在固定项圈上，或利用铝箔 的自身应力将铝箔条固定在固定项圈上。
全文摘要
本发明公开了一种低温探针台防热辐射铝箔屏，属于防止热辐射领域。本发明的低温探针台防热辐射铝箔屏包括固定项圈以及至少2条铝箔条；所示固定项圈的直径与所述低温探针台内真空腔室的内径相匹配；所述铝箔条均匀固定在所述固定项圈上。本发明可以有效防止外界的热辐射对低温环境的扰动。使用本发明的低温探针台防热辐射铝箔屏可以有效地使温度由5K降至4.5K。由于较为有效地反射了热辐射，其消耗的液氮和液氦的量减少，节约了实验成本。本发明还公开了一种制备低温探针台防热辐射铝箔屏的方法，其步骤包括制作固定项圈、制作铝箔条、将铝箔条固定在固定项圈上以及将低温探针台内探针臂位置的铝箔条去除。
文档编号G12B21/00GK101436438SQ20081023988
公开日2009年5月20日 申请日期2008年12月19日 优先权日2008年12月19日
发明者明 刘, 刘新宇, 朱晨昕, 李昊峰, 李维龙, 锐 贾, 晨 陈 申请人:中国科学院微电子研究所