一种真空下多探针摩擦磨损测试及原位形貌探测系统的制作方法
【技术领域】
[0001]本发明涉及真空下多探针摩擦学测试及原位形貌探测系统。
【背景技术】
[0002]摩擦是物质世界普遍存在的物理现象，与人类的生活和生产有极其密切的关系。摩擦、磨损和润滑是研究两个相互接触、相对运动表面间行为的科学与技术。所有装备运动部件都涉及摩擦、磨损和润滑。人们对摩擦磨损现象的研究由来已久，并且方兴未艾。随着科技的发展，摩擦学研究渗透到微观世界；而微观领域的摩擦磨损更有利于从分子与原子层次揭示摩擦的起源。这些研究大都依赖于相应的实验设备或仪器。
[0003]随着科学技术的发展，人们已经研制出很多种显微镜用来观察微观尺度下的摩擦表面的形貌变化，典型的显微镜包括扫描电子显微镜(SEM)、扫描探针显微镜(SPM)等。扫描探针显微镜包括扫描隧道显微镜(STM)、原子力显微镜(AFM)、摩擦力显微镜(FFM)等，其在微观摩擦学的研究中发挥了极大的作用。
[0004]然而，如今商业化的扫描探针显微镜主要为单一探针工作模式。单一探针功能相对单一，难以实现一些较为复杂的实验方式。特别是观测微观磨损实验中，若采用单一探针模式，在完成磨损实验后，需要更换曲率半径更小的针尖方可对表面磨损区域进行原位的高分辨形貌扫描与观测。在更换针尖过程中，难免让试样暴漏在空气中，而周围环境复杂带来的影响(包括氧化、电化学作用、表面污染等)不确定因素而使试验结果偏离真实，不利于对实验结果的科学分析。
[0005]因此，有必要研发真空下多探针原位检测系统，实现多个探针在同一个微小区域上的原位检测。
【发明内容】
[0006]本发明提供一种真空下多探针原位摩擦磨损测试及原位形貌探测系统，其能在高真空下实现对具有不同功能的SPM针尖切换，使微观摩擦测试和形貌扫描可在高真空环境下相继完成，且原位定位精度较高。由于更换针尖时无须打开腔体，确保了实验样品不受外界因素干扰，使实验所得结果更为真实可信；不仅如此，也节省了实验前期设备调整校准时间，提尚实验效率。
[0007]为解决上述问题本发明提供的技术方案是:一种真空下多探针原位摩擦磨损测试及原位形貌探测系统，包括主体和外部手动驱动装置；所述主体包括腔体上盖、安装在腔体上盖上面用于密封的光窗顶盖和安装腔体上盖内部的多探针组件以及连接在腔体上盖下方的过渡模块。
[0008]所述多探针组件包括多个探针、用于承载探针并携其原位切换定位的运动平板、连接在运动平板一侧的过渡板、用于保证针尖原位切换定位运动稳定性的导轨和用于驱动导轨的连接板；所述导轨分别与过渡板和连接板的一端连接；所述连接板的另一端与外部手动驱动装置内部的短轴连接；所述探针设置在运动平板上。
[0009]进一步的，所述腔体上盖的内部设有用于安装多探针组件的凹槽，为了使水平连接的零部件安置于其中以增大腔体内部空间，避免在针尖原位切换定位运动过程中部分零部件与SPM样品台及下方压电扫描器产生干涉；腔体上盖的外部设有用于安装光窗顶盖的凸起，以减小SPM激光器到针尖距离，使光路便于调节。
[0010]进一步的，所述过渡板的截面为“L”型，用于减小SPM激光器到针尖距离。
[0011 ] 进一步的，所述腔体上盖的另一面设有过渡模块。
[0012]进一步的，所述主体与外部手动驱动装置之间设有用于保证动连接密封的真空法.~~.0
[0013]进一步的，所述探针数量为2-3。
[0014]进一步的，所述的过渡模块为圆柱盖形结构，盖顶设有圆形通孔；过渡模块上端设有橡胶密封圈凹槽下端开有T型孔。
[0015]本发明的有益效果:
[0016]1、由于多探针组件包括多个探针，本发明能在高真空下实现SPM针尖原位切换，使微观摩擦测试和形貌扫描可在高真空环境下即相继完成，而无须打开腔体更换不同功能针尖，且原位定位精度较高；节省实验前期设备调整校准时间，提高实验效率且确保实验样品不受外界因素干扰，使实验所得结果更为真实的反映摩擦后的形貌状态；该系统加工安装容易，成本较低。
[0017]2、上述的腔体上盖部分内部采用凹槽设计，为了使水平连接的零部件安置于其中以增大腔体内部空间，避免在针尖原位切换定位运动过程中部分零部件与SPM样品台及下方压电扫描器产生干涉；外部中心安放光窗处采用凸起设计为了减小SPM激光器到针尖距离，使光路便于调节。
[0018]3、L型过渡板一端连接导轨，另一端连接承载针尖夹具并携其原位切换定位的运动平板，进一步减小激光器到针尖距离，方便光路调节。
[0019]4、过渡模块为圆柱盖形结构，盖顶设有圆形通孔，增大了腔体内部空间，缩减腔体上盖实体尺寸，减小了腔体上盖的重量，方便上盖的拆卸与探针的更换。
【附图说明】
[0020]图1为本发明实施例的一个视角的结构示意图；
[0021 ] 图2为本发明实施例的俯视图；
[0022]图3为本发明实施例的仰视图；
[0023]图4为E局部放大结构示意图；
[0024]图5为A-A剖视图；
[0025]图6为C局部放大结构示意图；
[0026]图7为B-B剖视图；
[0027]图8为D局部放大结构示意图。
[0028]其中，腔体上盖(1)，凹槽(1.1)，凸起(1.2)，光窗顶盖(2)，石英玻璃(3)，运动平板⑷，过渡板(5)，导轨(6)，连接板(7)，短轴⑶，外部手动驱动装置(9)，真空法兰(10)，过渡模块(11)，橡胶密封圈凹槽Π(11.1)，T型孔(11.2)，探针(12)。
【具体实施方式】
[0029]下面结合附图和具体的实施例对本发明作进一步的阐述。
[0030]如图1-8所示，本发明的一种【具体实施方式】为:
[0031]一种真空下多探针原位摩擦磨损测试及原位形貌探测系统，包括主体和外部手动驱动装置9 ;主体包括腔体上盖1、安装在腔体上盖I上面的光窗顶盖2和安装腔体上盖I内部的多探针组件；主体与外部手动驱动装置9之间设有用于保证动连接密封的真空法兰10。
[0