一种真空室门的制作方法

文档序号:8197655阅读:431来源:国知局
专利名称:一种真空室门的制作方法
技术领域
本发明涉及一种真空室门,尤其是一种在具有门,可在内部收纳物品结 构的真空室中,在上述真空室内部形成真空时,防止受弯曲荷载变形的真空 室门。
背景技术
现有技术中,除固体、液体及气体等物质状态之外,利用作为第四物 质状态的等离子的方法,广泛用于各个工业领域。
例如,包括日常生活中广泛使用的荧光灯、霓虹灯等,在半导体及平板 显示装置的制造工程中,制作晶片或电路板工艺的干法刻蚀、物理或化学气 相沉积、感光剂清洗及其他处理等单位工艺中,广泛采用利用等离子的方法。
另外,不能有细菌的医疗机构等,对物品进行消毒、灭菌时,也采用利 用等离子的方法。
本发明申请人曾公开等离子灭菌装置并获得多项专利,是利用过氧化氢 对医疗器械等被消毒物进行霉菌,并利用等离子将所使用过的过氧化氢分解
成非毒性物质。如图1所示,等离子灭菌装置10,包括可形成真空状态的真 空室20和形成于一侧,可向真空室20内部收纳医疗器械等被消毒物的门30。 上述真空室20呈只开放一侧的密闭性状,而在开放的一侧,设置有可 开闭的门30。
在上述真空室20开口,设置有中央开口的底板40,而在上述底板40 前面,设置有可开闭上述底板中央开口的门30,上述门30的一侧通过铰链 组件50结合于底板40 —侧,上述门30以铰链组件50为中心相对于底板40 旋转,从而实现开闭。因此,以铰链组件50为中心旋转上述门30,通过底板40开口及真空室 20—侧开口,将所要灭菌的医疗器械等被消毒物放入真空室,并再次以铰链 组件50为中心旋转上述门30,闭合底板40开口及真空室20开口之后,在 真空室20中产生等离子进行灭菌处理。
在此,为在真空室20产生等离子对被消毒物进行灭菌,需在上述真空 室20内部形成真空状态,当在真空室20形成真空状态之后,因外部大气压 的作用,门30将受到向真空室20内侧的力弯曲。
这样,每次在真空室20产生真空时,门30反复向真空室20内侧弯曲, 上述门30的铰链组件50受力变形,可能导致整个门30的扭曲。
艮口,因门30的铰链组件50只设置于门30的一侧,因此在真空室20形 成真空时,门30向真空室20内侧弯曲,应力集中在上述铰链组件50,铰链 组件50将受力变形,导致门30扭曲,影响真空室20和门30的密封,不能 保证真空室20内确实形成真空状态。
因此,需经常更换门30,导致维护费用上升。

发明内容
为解决上述问题,本发明提供一种真空室门,防止开闭真空室一侧开口 的门,受真空室形成真空时的弯曲荷载变形,保证真空室内部确实形成真空 的同时,节省门的维护费用。
为达到上述目的,本发明提供一种真空室门,其特征是,包括真空室, 其一侧形成开口;门,随旋转开闭上述真空室开口;导板,固定结合于上述 门外面并保持一定间距,其一端可旋转地结合于固定的铰链组件。
此时,较佳地,在上述门按一定间隔形成一定深度的结合槽,而在上述 导板形成与上述结合槽相对应的贯通孔,从而使结合部件的末端贯通上述贯 通孔结合于上述结合槽,完成上述门和导板的结合。
5另外,较佳地,在上述门上与导板相接触的面,按一定间隔形成凹槽, 而在上述导板形成与上述门的凹槽相对应的凹槽,从而在上述门和导板相接 触时,通过上述凹槽形成一定大小的空间。
此时,较佳地,上述门的凹槽,在结合槽周围按一定深度形成,而上述 导板的凹槽,在贯通孔周围按一定深度形成。
另外,较佳地,在上述空间部设置弹性部件,其一端固定于门的凹槽, 另一端固定于导板的凹槽,上述弹性部件采用螺旋弹簧。
另外,还可包括导引衬套,包括第一部件,形成可使上述结合部件贯 通的通孔,可贯通上述导板的贯通孔,在上述空间部滑动一定间隔;第二部 件,其直径大于上述导板的贯通孔直径,挂接于上述导板外面。
较佳地,上述导引衬套,在结合部件的末端完全结合于门结合槽的状态 下,使其第二部件相对于导板外面,保持一定的间隔G。
另外,较佳地,在上述导板上,还结合可增加导板刚性,具有导引上述 导引衬套的通孔的单元。
另外,较佳地,在上述真空室的开口前端,设置有在其中央形成开口的 底板,随上述门的旋转开闭上述底板开口及真空室开口。
此时,较佳地,上述铰链组件设置于底板一侧,而上述导板的一侧,可 旋转地结合于上述铰链组件。
如上所述,本发明真空室门,在其一侧安装有可通过铰链组件旋转的门 的真空室中,在上述门的上下两侧,结合有与门相隔一定间距的导板,而上 述导板的一端可旋转地结合于固定的铰链组件,而且,在上述导板和门之间 设置弹性部件,从而在上述真空室内部形成真空状态时,即使门向真空室内 部弯曲,但因导板维持固定状态,应力不集中于铰链组件,防止发生变形。
艮P,上述门的铰链组件不会因应力过于集中而发生变形,门可始终密闭 真空室开口,确保确实的真空状态,顺利完成等离子处理,而且,无需对门进行持续维护,节省维护费用


图1为现有等离子灭菌装置中真空室和门的结合关系示意图:
图2为本发明真空室和门结合关系示意图; 图3为图2的A-A不结合剖面图; 图4为图3的分离剖面图。 <附图标记〉 10
20 32 40 70 74 84
凹槽 底板 导板 贯通孔 导引衬套
84b:第一部件 90:弹性部件
30:门
34:结合槽 60:铰链组件 72:凹槽 82:结合部件
84a:通孑L 84c:第二部件 92:空间部
具体实施例方式
下面,结合附图对本发明较佳实施例进行详细说明。
图2为本发明真空室和门结合关系示意图;图3为图2的A-A不结合 剖面图;图4为图3的分离剖面图。
如图所示,包括真空室20,为产生等离子而形成真空状态;门30, 设置于真空室20 —侧,用于向真空室20内部收纳医疗器械等被消毒物。
除一侧开口之外,上述真空室20呈密闭性状,而且设置有可开闭上述开口的门30。
艮P,在上述真空室20的开口,设置中央开口的底板40,而在上述底板 40的前面,设置开闭底板40的中央开口的门30。
上述底板40为支撑真空室20的框架的一部分,保持固定的状态,在上 述底板40的一侧,可旋转地结合在与上述门30相结合的导板70。
艮P,在上述底板40的一侧面,设置铰链组件60,而上述铰链组件60
上可旋转地结合导板70 —侧端,上述导板70通过多个结合构件90与门结合。
另外,在上述门30的外面与导板70相接触的部分,按一定间隔形成一 定深度的凹槽32,而在上述凹槽32的中央,形成比上述凹槽32更深的结合 槽34。
另夕卜,在上述导板70上与上述门30的外面相接触的内面,按一定深度 形成与上述门30的凹槽32相对应的凹槽72。
因此,在将上述导板70和门30相接触的状态下,各凹槽32、 72叠加 形成一定大小的空间部92。
另外,在上述导板70的凹槽72中央,形成可使将要后述的导引衬套84 和结合部件82贯通其中的贯通孔74。
上述导引衬套84,包括第一部件84b,大致呈T字形,即贯通上述导 板70的贯通孔74,其一部分可在上述空间部92滑动一定间隔;第二部件 84c,其直径大于上述导板70的贯通孔74直径,挂接于上述导板70外面。
此时,在上述导引衬套84上,形成可使结合部件82贯通其中的通孔84a, 将上述结合部件82通过导引衬套84的通孔84a插入后,将其末端结合于门 30的结合槽34即可。此时,在结合部件82的末端完全结合于门30结合槽 34的状态下,使导引衬套84的第二部件84c相对于导板70外面,保持一定 的间隔G,其原因将要后述。
8另外,通过上述门30和导板70的凹槽32、 72所形成的空间部92中, 以围绕导引衬套84第一部件84b外面的形式设置弹性部件90,上述弹性部 件90的一端固定于门30的凹槽32内面,另一端固定于导板70的凹槽72 内面。
上述弹性部件90,可采用具备一定弹性的现有技术的任何形式,较佳地, 采用螺旋弹簧。
另外,围绕上述导引衬套80来导引其滑动,且增加导板70刚性的单元, 通过螺栓设置于导板70。
上述结构的真空室门的工作原理说明如下
打开门30将被消毒物放入真空室20,并关门30密闭真空室20之后, 在真空室20内部形成真空状态并产生等离子。
此时,上述门30可随通过结合构件80结合的导板70,相对于固定设置 于底板40—侧的铰链组件60的旋转,完成开闭动作。
在上述真空室20形成真空状态之后,受大气压的影响,门30将向真空 室20内侧弯曲。
此时,在上述门30上下两侧边缘结合槽34,结合有结合部件82末端, 当上述门30弯曲之后,结合部件82也将随之向内侧移动。此时,设置于由 上述门30的凹槽32和导板70的凹槽72所形成的空间部92的弹性部件90, 因门30的弯曲被拉伸,与此同时,结合部件82所贯通的导引衬套84也随
之向内侧弯曲一定间距。
此时,上述导引衬套84所弯曲的最大间距为,如前所述的导板70和导 引衬套84的第二部件84c之间所形成的间隔G。
艮口,当门30因真空室20内所形成的真空状态,受大气压作用向真空室 20内侧弯曲时,结合部件82随之向内侧移动,拉伸弹性部件90,而上述结 合部件82所贯通的导引衬套84也向内侧移动,但导板70将保持固定位置。因此,固定设置于上述导板70和底板40的铰链组件60,将承受较大的 荷载。
另外,当解除上述真空室20内部真空状态,重新恢复到大气压状态时, 门30受弹性部件90的恢复力向外侧移动并与导板70相接触,与此同时, 结合部件82也随导引衬套84 —起向外移动,从而使上述导引衬套84的第 二部件84c,重新与导板70保持一定间距。
可供参考的是,本发明一实施例说明了用作等离子灭菌装置的真空室, 但本发明适用于在其一侧设置可开闭的门的任何结构的真空室。
10
权利要求
1.一种真空室门,包括真空室,其一侧形成开口;门,随旋转开闭上述真空室开口;导板,固定结合于上述门外面并保持一定间距,其一端可旋转地结合于固定的铰链组件。
2. 根据权利要求1所述的真空室门,其特征在于在上述门按一定间隔形成一定深度的结合槽,而在上述导板形成与上述结合槽相对应的贯通 孔,从而使连接部件的末端贯通上述贯通孔结合于上述结合槽,完成上述门 和导板的结合。
3. 根据权利要求1所述的真空室门,其特征在于在上述门上与导板相接触的面,按一定间隔形成凹槽,而在上述导板形成与上述门的凹槽相对 应的凹槽,从而在上述门和导板相接触时,通过上述凹槽形成一定大小的空 间。
4. 根据权利要求2或3所述的真空室门,其特征在于上述门的凹槽,在结合槽周围按一定深度形成,而上述导板的凹槽,在贯通孔周围按一定深 度形成。
5. 根据权利要求3所述的真空室门,其特征在于在上述空间部设置弹性部件,其一端固定于门的凹槽,另一端固定于导板的凹槽。
6. 根据权利要求5所述的真空室门,其特征在于上述弹性部件为螺旋弹簧。
7. 根据权利要求2所述的真空室门,其特征在于还包括导引衬套, 包括第一部件,形成可使上述结合部件贯通的通孔,可贯通上述导板的贯 通孔,在上述空间部滑动一定间隔;第二部件,其直径大于上述导板的贯通 孔直径,挂接于上述导板外面。
8. 根据权利要求7所述的真空室门,其特征在于上述导引衬套,在 结合部件的末端完全结合于门结合槽的状态下,使其第二部件相对于导板外 面,保持一定的间隔。
9. 根据权利要求7所述的真空室门,其特征在于在上述导板上,还 结合可增加导板刚性,具有导引上述导引衬套的通孔的单元。
10. 根据权利要求l所述的真空室门,其特征在于在上述真空室的开 口前端,设置有在其中央形成开口的底板,随上述门的旋转开闭上述底板开 口及真空室开口。
11. 根据权利要求IO所述的真空室门,其特征在于上述铰链组件设 置于底板一侧,而上述导板的一侧,可旋转地结合于上述铰链组件。
全文摘要
本发明涉及一种真空室门。其目的在于,提供一种真空室门,防止开闭真空室一侧开口的门,受真空室形成真空时的弯曲荷载变形,保证真空室内部确实形成真空的同时,节省门的维护费用。为达到上述目的,本发明提供一种真空室门,其特征是,包括真空室,其一侧形成开口;门,随旋转开闭上述真空室开口;导板,固定结合于上述门外面并保持一定间距,其一端可旋转地结合于固定的铰链组件。
文档编号H05H1/34GK101642002SQ200880004762
公开日2010年2月3日 申请日期2008年2月12日 优先权日2007年2月12日
发明者高重硕 申请人:互曼迈迪泰克公司
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