专利名称：一种新型籽晶位置实时可调机构的制作方法
技术领域：
本实用新型涉及晶体生长设备，属于晶体生长设备提拉机构制造技术领域，具体
是一种新型籽晶位置实时可调机构。
背景技术：
在晶体生长过程中，籽晶与温场中心的相对位置非常的关键，有时候会成为晶体生长过程的关键点。在实际晶体生长过程中，要在下种温度合适的时候才能发现温场的中心和籽晶的中心是否合适。 传统晶体生长设备的提拉机构是不能对籽晶和温场相对位置进行实时调节，要调节中心必须停机才能进行，极大了影响工作效率和浪费成本，同时还会损坏温场减低温场使用寿命。所以有必要实用新型一种装置可以方便的在晶体炉开机高温熔融状态下调节籽晶与温场中心的相对位置；根据工艺需要可以把位置重合的调节成不重合或把不重合的调节成重合；同时适用于硬轴和软轴的结构；同时适用于高真空非真空炉体结构。
实用新型内容本实用新型所解决的技术问题在于提供一种可以方便的在晶体炉开机高温熔融
状态下调节籽晶与温场中心的相对位置的籽晶位置实时可调机构。 本实用新型所解决的技术问题采用以下技术方案来实现 —种新型籽晶位置实时可调机构，包括提拉升降机构，顶端安装升降驱动机构，通过升降驱动装置提供提拉升降机构的驱动动力，还包括旋转机构，和提拉升降机构之间通
过连接杆相接，在旋转机构下连接软轴或硬轴晶杆的一端，还包括密封的波纹管机构，其中
波纹管机构和软轴或硬轴晶杆另一端相接，其特征在于所述提拉升降机构的下端连接可
旋转连接杆，所述可旋转连接杆和滑块装置相连，在所述可旋转连接杆驱动滑块装置进行
360°旋转，滑块装置在水平面上做前后和左右滑动。 所述密封的波纹管机构中晶杆的密封方式为真空密封。 本实用新型的进一步技术方案是一种新型籽晶位置实时可调机构可以安装连接杆、旋转机构和滑块装置中的至少一种。 本实用新型的有益效果是连接杆、旋转机构和滑块装置的配合使用，可以实现晶杆带动籽晶做三维运动，方便的实现了籽晶在水平面上的自由移动。
图1是本实用新型籽晶位置实时可调机构的结构原理图。
具体实施方式为了使本实用新型实现的技术手段、创作特征、达成目的与功效易于明白了解，下
面结合具体图示，进一步阐述本实用新型。[0012] 如图1所示，一种新型籽晶位置实时可调机构，包括提拉升降机构l，顶端安装升降驱动机构2，通过升降驱动装置2提供提拉升降机构1的驱动动力，还包括旋转机构3，和提拉升降机构1之间通过连接杆4相接，在旋转机构3下连接软轴或硬轴晶杆5的一端，还包括密封的波纹管机构6，其中波纹管机构6和软轴或硬轴晶杆5另一端相接，在提拉升降机构1的下端连接可旋转连接杆7，可旋转连接杆7和滑块装置8相连，可旋转连接杆7可以驱动滑块装置8进行360°旋转，滑块装置8在水平面上做前后和左右滑动，使得晶杆带动籽晶做三维运动。 以上显示和描述了本实用新型的基本原理和主要特征和本实用新型的优点。本行业的技术人员应该了解，本实用新型不受上述实施例的限制，上述实施例和说明书中描述的只是说明本实用新型的原理，在不脱离本实用新型精神和范围的前提下，本实用新型还会有各种变化和改进，这些变化和改进都落入要求保护的本实用新型范围内。本实用新型要求保护范围由所附的权利要求书及其等效物界定。
权利要求一种新型籽晶位置实时可调机构，包括提拉升降机构，顶端安装升降驱动机构，通过升降驱动装置提供提拉升降机构的驱动动力，还包括旋转机构，和提拉升降机构之间通过连接杆相接，在旋转机构下连接软轴或硬轴晶杆的一端，还包括密封的波纹管机构，其中波纹管机构和软轴或硬轴晶杆另一端相接，其特征在于所述提拉升降机构的下端连接可旋转连接杆，所述可旋转连接杆和滑块装置相连，在所述可旋转连接杆驱动滑块装置进行360°旋转，滑块装置在水平面上做前后和左右滑动。
专利摘要一种新型籽晶位置实时可调机构，涉及晶体生长设备，包括提拉升降机构，顶端安装升降驱动机构，通过升降驱动装置提供提拉升降机构的驱动动力，还包括旋转机构，和提拉升降机构之间通过连接杆相接，在旋转机构下连接软轴或硬轴晶杆的一端，还包括密封的波纹管机构，其中波纹管机构和软轴或硬轴晶杆另一端相接，其特征在于所述提拉升降机构的下端连接可旋转连接杆，所述可旋转连接杆和滑块装置相连，在所述可旋转连接杆驱动滑块装置进行360°旋转，滑块装置在水平面上做前后和左右滑动。有益效果是连接杆、旋转机构和滑块装置的配合使用，可以实现晶杆带动籽晶做三维运动，方便的实现了籽晶在水平面上的自由移动。
文档编号C30B15/30GK201506850SQ20092021023
公开日2010年6月16日 申请日期2009年9月27日 优先权日2009年9月27日
发明者黄小卫 申请人:上海元亮光电科技有限公司