专利名称：同时拉制五根硅芯的高频感应加热器的制作方法
技术领域：
本实用新型属于多晶硅制备技术领域，涉及一种同时拉制五根硅芯的高频感应加热器。
背景技术：
随着太阳能行业的蓬勃发展，多晶硅市场得以迅猛发展，发展规模越来越大，硅芯炉是多晶硅生产链条上的一个重要环节，需求也越来越大，随着多晶硅生产规模的扩大，硅芯炉数量增长很快，需要投入大量的人力、物力及能源消耗，占用面积越来越大，而能源消耗也已成为多晶硅生产厂家的考量指标之一，因此，从提高设备效率，节能降耗，节约成本方面考虑，很有必要研发产能更优的硅芯制备设备，实现一次拉制更多根硅芯。
发明内容本实用新型的目的是提供一种同时拉制五根硅芯的高频感应加热器，实现了一次同时拉制五根硅芯。本实用新型所采用的技术方案是，一种同时拉制五根硅芯的高频感应加热器，包括聚流板，聚流板的圆周缠绕有铜管，铜管的进出口端分别与连接座连接；聚流板的轴心开有化料孔，聚流板上沿化料孔圆周外侧均勻设置有五个拉制孔，每个拉制孔内圆壁靠近化料孔的一边开有凹槽形的小切孔，相邻拉制孔之间设置有一分流槽，每个分流槽背向化料孔的外端头各设置有一个扩孔，聚流板的上端面上、与连接座相对应的一个分流槽的端头与聚流板的边缘间设置有V形槽，该分流槽通过V形槽与聚流板的边缘接通。本实用新型的有益效果是，一次可同时拉制五根硅芯，节省人力、物力及能源，显著提高设备效率，大大降低多晶硅生产过程的成本。
图1是本实用新型高频感应加热器的结构示意图图2是图1的俯视图；图3是本实用新型高频感应加热器工作中的瞬间电流分布以及磁力线分布示意图。图中，1.连接座，2.铜管，3.聚流板，4.接地板，5.化料孔，6.拉制孔，7.小切孔， 8.分流槽，9.扩孔，10. V形槽，11.大锥面，12.台阶面。
具体实施方式
以下结合附图和具体实施方式
对本实用新型进行详细说明。如图1、图2，本实用新型装置的结构是，包括聚流板3，聚流板3上表面沿轴心设置为凹形的大锥面11，聚流板3下表面沿轴心设置有两级台阶面12 ；聚流板3上还设置有接地板4 ；聚流板3的圆周密合缠绕有铜管2，铜管2的进出口端分别与两块连接座1连接，连接座1由两块独立的半圆板组成，每个半圆板上各设置有一个铜管2接口(进口或出口)和两个安装孔；聚流板3的轴心开有化料孔5，化料孔5的上端口设置为倒角，聚流板3上沿化料孔5圆周外侧均勻设置有五个拉制孔6，每个拉制孔6上端口设置为大倒角，每个拉制孔6内圆壁靠近化料孔5的一边开有凹槽形的小切孔7，相邻拉制孔6之间设置有一分流槽8，共有五个分流槽8，每个分流槽8背向化料孔5的外端头各设置有一个扩孔9，聚流板 3上端面正对连接座1的一个分流槽8通过V形槽10与聚流板3的圆周边缘接通，相当于从化料孔5中间贯通到聚流板3的圆周边缘两极间。聚流板3是加热多晶硅原料棒用，连接座1、铜管2、聚流板3以及接地板4通过银焊或铜焊焊接成一体。铜管2的作用是通入循环的冷却水，对聚流板3进行冷却；孔接地板 4为高频感应加热器接地用。如图3所示，本实用新型装置的工作原理是当交变的高频电流通过高频感应加热器的两极即连接座1之一进入铜管2，通过铜管2导通聚流板3，于是在聚流板3上形成如图3所示的瞬间电流分布，交变电流产生交变磁场，交变磁场产生热并形成热场，从而使得感应加热器下方的多晶硅原料棒被加热熔化，控制孔及槽间参数匹配合适，使得拉制孔6 下产生的五个独立的熔区是一致的，从而保证拉制出的五根硅芯直径的一致性。五芯高频感应加热器，中间一个孔为化料用孔，周围五个孔为拉制硅芯用孔，多晶硅原料棒熔化后在周围五孔下形成各自小熔区，五个独立小熔区就可以同时拉制五根硅芯。本实用新型装置实现了一次同时拉制五根硅芯，同等时间内硅芯炉的产能大幅提高；同等规模的多晶硅生产产能大幅提升，硅芯炉数量大大减少，提高了生产效率，节省人力、物力及能源，降低了多晶硅生产成本。
权利要求1.一种同时拉制五根硅芯的高频感应加热器，其特征在于包括聚流板(3)，聚流板 (3)的圆周缠绕有铜管(2)，铜管(2)的进出口端分别与连接座(1)连接；聚流板(3)的轴心开有化料孔(5 )，聚流板(3 )上沿化料孔(5 )圆周外侧均勻设置有五个拉制孔(6 )，每个拉制孔(6)内圆壁靠近化料孔(5)的一边开有凹槽形的小切孔(7)，相邻拉制孔(6)之间设置有一分流槽(8)，每个分流槽(8)背向化料孔(5)的外端头各设置有一个扩孔(9)，聚流板(3) 的上端面上、与连接座(1)相对应的一个分流槽(8)的端头与聚流板(3)的边缘间设置有V 形槽(10 )，该分流槽(8 )通过V形槽(10 )与聚流板(3 )的边缘接通。
2.根据权利要求1所述的同时拉制五根硅芯的高频感应加热器，其特征在于所述的聚流板(3)上表面沿轴心设置为凹形的大锥面(11)，聚流板(3)下表面沿轴心设置有两级台阶面(12)。
3.根据权利要求1所述的同时拉制五根硅芯的高频感应加热器，其特征在于所述的聚流板(3 )上还设置有接地板(4 )。
4.根据权利要求1所述的同时拉制五根硅芯的高频感应加热器，其特征在于所述的连接座(1)由两块独立的半圆板组成，每个半圆板上各设置有一个铜管(2)进口或出口的接口及安装孔。
5.根据权利要求1所述的同时拉制五根硅芯的高频感应加热器，其特征在于所述的化料孔(5)的上端口设置为倒角。
6.根据权利要求1所述的同时拉制五根硅芯的高频感应加热器，其特征在于所述的每个拉制孔(6)上端口设置为大倒角。
专利摘要本实用新型公开了一种同时拉制五根硅芯的高频感应加热器，包括聚流板，聚流板的圆周缠绕有铜管，铜管的进出口端分别与连接座连接；聚流板的轴心开有化料孔，聚流板上沿化料孔圆周外侧均匀设置有五个拉制孔，每个拉制孔内圆壁靠近化料孔的一边开有凹槽形的小切孔，相邻拉制孔之间设置有一分流槽，每个分流槽背向化料孔的外端头各设置有一个扩孔，聚流板的上端面上、与连接座相对应的一个分流槽的端头与聚流板的边缘间设置有V形槽，该分流槽通过V形槽与聚流板的边缘接通。本实用新型的高频感应加热器，实现了一次可同时拉制五根硅芯，提高了效率，明显节省人力、物力及能源。
文档编号C30B15/00GK201952521SQ20102066123
公开日2011年8月31日 申请日期2010年12月15日 优先权日2010年12月15日
发明者原洛渭, 吴斌, 宋艳玲, 王一强, 王建春, 程涛, 董淑梅 申请人:西安理工晶体科技有限公司