防氧化拉丝管的制作方法

文档序号:8063098阅读:261来源:国知局
专利名称:防氧化拉丝管的制作方法
技术领域
本实用新型涉及半导体制造技术领域,涉及一种装置半导体器件的用具,具体地说是涉及拉丝管。
背景技术
拉丝管是将半导体原料的分子整齐排列的用具,使用时原料装在拉丝管中进行高温加热,使里面的分子整齐排列,在现有技术中,所使用的拉丝管只有一个腔室,里面盛放的只有原料粉,这样在拉丝的过程中,就会有水蒸气、氧气等杂质,这些杂质会危害晶棒,影响晶棒的质量。
发明内容本实用新型的目的就是针对上述缺点,提供一种生产出的晶棒质量更高的拉丝管——防氧化拉丝管。本实用新型的技术方案是这样实现的防氧化拉丝管,包括拉丝管本体和管盖,所述的管盖具有盖着拉丝管本体的结构,其特征是,所述的管盖内部具有一个收缩槽,收缩槽内具有一个钢丝网,钢丝网内放置有吸附剂。本实用新型的有益效果是这样结构的拉丝管具有生产出的晶棒质量更高的优点ο

图1是本实用新型的结构示意图。其中1、管盖 2、收缩槽 3、钢丝网 4、吸附剂。
具体实施方式
以下结合附图对本实用新型作进一步的描述。如图1所示,防氧化拉丝管,包括拉丝管本体和管盖1,所述的管盖1具有盖着拉丝管本体的结构,其特征是,所述的管盖1内部具有一个收缩槽2,收缩槽2内具有一个钢丝网 3,钢丝网3内放置有吸附剂4。
权利要求1.防氧化拉丝管,包括拉丝管本体和管盖,所述的管盖具有盖着拉丝管本体的结构,其特征是,所述的管盖内部具有一个收缩槽,收缩槽内具有一个钢丝网,钢丝网内放置有吸附剂。
专利摘要本实用新型涉及半导体制造技术领域,涉及一种装置半导体器件的用具,具体地说是涉及拉丝管,防氧化拉丝管,包括拉丝管本体和管盖,所述的管盖具有盖着拉丝管本体的结构,所述的管盖内部具有一个收缩槽,收缩槽内具有一个钢丝网,钢丝网内放置有吸附剂,这样结构的拉丝管具有生产出的晶棒质量更高的优点。
文档编号C30B13/00GK202246978SQ20112028602
公开日2012年5月30日 申请日期2011年8月9日 优先权日2011年8月9日
发明者刘宝成 申请人:河南恒昌电子有限公司
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