专利名称：一种用于蓝宝石生长的可调节密封装置的制作方法
技术领域：
本实用新型属于晶体制造技术领域，涉及ー种可调节密封装置，尤其涉及ー种用于蓝宝石生长的可调节密封装置。
背景技术：
蓝宝石是ー种氧化铝(Ci-Al2O3)的单晶，俗称刚玉，是由三个氧原子和两个铝原子以共价键形式结合，属于六方晶系。其熔点为2050°C，沸点为2980°C，最高工作温度可达1900°C，是ー种较早开发应用的人工晶体材料。蓝宝石晶体材料的化学性质非常稳定，一般不溶于水，不受酸、碱腐蚀；蓝宝石晶体硬度与耐磨性能高，为莫氏硬度9级，仅次于最硬的金刚石，可作为精密机械的轴承材料；它具有很好的力学和光学性能，是ー种理想的光学窗ロ材料。另外，蓝宝石晶体材料是使用最广泛的氧化物衬底材料之一，在微电子-光电子技木、通信、医学等领域有着广阔的应用前景。·蓝宝石晶体材料的生长目前已有很多种方法,主要有泡生法(Kyropolous法，简称 Ky 法)、导模法(即 Edge Defined Film-fed Growth techniques 法，简称 EFG 法)、热交换法(即Heat Exchange Method法,简称HEM法),提拉法(Czochralski法，简称Cz法)，布里奇曼法(Bridgman法,相·祸下降法)等。现今最常用的方法为泡生法，使用的密封装置多为波纹管，但其成本高、強度低，无法耐高温，而且其位置无法移动。本实用新型就是为克服以上缺点而设计的。
实用新型内容本实用新型所要解决的技术问题是提供ー种用于蓝宝石生长的可调节密封装置，可解决波纹管成本高、強度低，无法耐高温且其位置无法移动的问题。为解决上述技术问题，本实用新型采用如下技术方案ー种用于蓝宝石生长的可调节密封装置，所述密封装置包括上拉杆、上压盖、上密封端盖、压カ调节活塞杆、内螺纹活塞缸、油仓外壳、下密封端盖、下压盖、上密封圈、下密封圈；所述上压盖与上密封端盖固定连接，上密封圈置于上压盖与上密封端盖之间；所述下压盖与下密封端盖固定连接，下密封圈置于下压盖与下密封端盖之间；所述压カ调节活塞杆与活塞缸连接，活塞缸的一端伸入油仓外壳内形成的密封腔，另一端设置于油仓外壳的外部；压力调节活塞杆与活塞缸配合调节密封腔内的压力。作为本实用新型的一种优选方案，所述上压盖和上密封端盖使用螺栓和螺母固定。作为本实用新型的一种优选方案，所述上压盖、上密封端盖为中间开孔、靠近边缘处带有定位螺栓和螺纹孔的圆柱体，用于压紧和固定上密封圈；作为本实用新型的一种优选方案，所述下压盖与下密封端盖也使用螺栓螺母固定。[0014]作为本实用新型的一种优选方案，所述下密封端盖、下压盖为中间开孔、靠近边缘处带有定位螺栓和螺纹孔的圆柱体，用来压紧并固定下密封圏。作为本实用新型的一种优选方案，所述活塞缸内部设有内螺纹，压カ调节活塞杆设有外螺纹，压カ调节活塞杆与活塞缸通过内外螺纹连接。作为本实用新型的一种优选方案，所述上拉杆为圆柱体状光滑拉杆，是需要密封的可移动部件。作为本实用新型的一种优选方案，所述上拉杆为籽晶拉杆或称重装置。作为本实用新型的一种优选方案，所述油仓外壳呈圆柱状，其高度为5 30cm。本实用新型的有益效果在于本实用新型提出的用于蓝宝石生长的可调节密封装置，能够达到自由调节的密封效果；同时，本实用新型密封装置结构紧凑，且可以上下移动； 与传统使用的波纹管相比，该装置具有上下双层密封环，密封效果更好；且不受行程的限制；还能适应高温的环境，成本低、加工方便且更为耐用，适合晶体生长条件。
图I为本实用新型可调节密封装置的装配示意图。
具体实施方式
以下结合附图详细说明本实用新型的优选实施例。实施例一请參阅图1，本实用新型掲示了ー种用于蓝宝石生长的可调节密封装置，所述密封装置包括上拉杆I、上压盖2、上密封端盖3、压カ调节活塞杆4、内螺纹活塞缸5、油仓外壳
6、下密封端盖7、下压盖8、上密封圈9、下密封圈10。上拉杆I为圆柱体状光滑拉杆，是需要密封的可移动部件，如籽晶拉杆，称重装置。上压盖2和上密封端盖3使用螺栓和螺母固定，上密封圈9放置在两者中间。具体地，本实施例中，如图I所示，上压盖2和上密封端盖3为中间开孔、靠近边缘处带有定位螺栓和螺纹孔的圆柱体，用于压紧和固定上密封圈9。压カ调节活塞杆4和内螺纹活塞缸5使用内外螺纹连接；压カ调节活塞杆4和内螺纹活塞缸5分别为带有外螺纹的活塞杆和带有内螺纹的活塞缸，两者配合用来调节密封腔内的压力。油仓外壳6呈圆柱状，其高度可以为5 30cm。本实施例中，油仓外壳6的高度为20cmo下密封端盖7和下压盖8也使用螺栓螺母固定，下密封圈10置于两者中间。本实施例中，如图I所示，下密封端盖7和下压盖8为中间开孔、靠近边缘处带有定位螺栓和螺纹孔的圆柱体，用来压紧并固定下密封圈10。上拉杆I、上压盖2、上密封端盖3、压カ调节活塞杆4、内螺纹活塞缸5、油仓外壳
6、下密封端盖7、下压盖8所选用的材料可以为金属材料，如不锈钢、钥或者钨；也可以为非金属材料，如陶瓷。上密封圈9、下密封圈10所选用材料可以为聚四氟こ烯。综上所述，本实用新型提出的用于蓝宝石生长的可调节密封装置，能够达到自由调节的密封效果；同时，本实用新型密封装置结构紧凑，且可以上下移动；与传统使用的波纹管相比，该装置具有上下双层密封环，密封效果更好；且不受行程的限制；还能适应高温的环境，成本低、加工方便且更为耐用，适合晶体生长条件。 这里本实用新型的描述和应用是说明性的，并非想将本实用新型的范围限制在上述实施例中。这里所披露的实施例的变形和改变是可能的，对于那些本领域的普通技术人员来说实施例的替换和等效的各种部件是公知的。本领域技术人员应该清楚的是，在不脱离本实用新型的精神或本质特征的情况下，本实用新型可以以其它形式、结构、布置、比例，以及用其它组件、材料和部件来实现。在不脱离本实用新型范围和精神的情况下，可以对这里所披露的实施例进行其它变形和改变。·
权利要求1.ー种用于蓝宝石生长的可调节密封装置，其特征在于，所述密封装置包括 上拉杆、上压盖、上密封端盖、压カ调节活塞杆、内螺纹活塞缸、油仓外壳、下密封端盖、下压盖、上密封圈、下密封圈； 所述上压盖与上密封端盖固定连接，上密封圈置于上压盖与上密封端盖之间； 所述下压盖与下密封端盖固定连接，下密封圈置于下压盖与下密封端盖之间； 所述压カ调节活塞杆与活塞缸连接，活塞缸的一端伸入油仓外壳内形成的密封腔，另一端设置于油仓外壳的外部；压力调节活塞杆与活塞缸配合调节密封腔内的压力。
2.根据权利要求I所述的用于蓝宝石生长的可调节密封装置，其特征在于 所述上压盖和上密封端盖使用螺栓和螺母固定。
3.根据权利要求2所述的用于蓝宝石生长的可调节密封装置，其特征在于 所述上压盖、上密封端盖为中间开孔、靠近边缘处带有定位螺栓和螺纹孔的圆柱体，用于压紧和固定上密封圈；
4.根据权利要求I所述的用于蓝宝石生长的可调节密封装置，其特征在于 所述下压盖与下密封端盖也使用螺栓螺母固定。
5.根据权利要求4所述的用于蓝宝石生长的可调节密封装置，其特征在于 所述下密封端盖、下压盖为中间开孔、靠近边缘处带有定位螺栓和螺纹孔的圆柱体，用来压紧并固定下密封圏。
6.根据权利要求I所述的用于蓝宝石生长的可调节密封装置，其特征在于 所述活塞缸内部设有内螺纹，压カ调节活塞杆设有外螺纹，压カ调节活塞杆与活塞缸通过内外螺纹连接。
7.根据权利要求I所述的用于蓝宝石生长的可调节密封装置，其特征在于 所述上拉杆为圆柱体状光滑拉杆，是需要密封的可移动部件。
8.根据权利要求7所述的用于蓝宝石生长的可调节密封装置，其特征在于 所述上拉杆为籽晶拉杆或称重装置。
9.根据权利要求I所述的用于蓝宝石生长的可调节密封装置，其特征在于 所述油仓外壳呈圆柱状，其高度为5 30cm。
专利摘要本实用新型揭示了一种用于蓝宝石生长的可调节密封装置，包括上拉杆、上压盖、上密封端盖、压力调节活塞杆、内螺纹活塞缸、油仓外壳、下密封端盖、下压盖、上密封圈、下密封圈；上压盖与上密封端盖固定连接，上密封圈置于上压盖与上密封端盖之间；下压盖与下密封端盖固定连接，下密封圈置于下压盖与下密封端盖之间；压力调节活塞杆与活塞缸连接，活塞缸的一端伸入油仓外壳内形成的密封腔，另一端设置于油仓外壳的外部；压力调节活塞杆与活塞缸配合调节密封腔内的压力。本实用新型能够达到自由调节的密封效果；同时，密封装置结构紧凑，且可以上下移动；与传统使用的波纹管相比，该装置具有上下双层密封环，密封效果更好，且不受行程的限制。
文档编号C30B17/00GK202610383SQ20122024775
公开日2012年12月19日 申请日期2012年5月29日 优先权日2012年5月29日
发明者刘琛, 陈文渊, 刘一凡, 孙大伟 申请人:上海中电振华晶体技术有限公司