显示器用支承基板、使用其的滤色片及其制造方法、有机EL元件及其制造方法以及柔性有机EL显示器与流程
本发明涉及显示器用支承基板、使用其的滤色片(colorfilter)及其制造方法、有机el元件及其制造方法以及柔性有机el显示器。
背景技术：
与玻璃相比，有机膜具有富有弯曲性、不易破裂、轻质这样的优势。最近，正在活跃地进行下述研究：利用有机膜来形成平板显示器的基板，从而将显示器柔性化。
通常，作为有机膜中使用的树脂，可举出聚酯、聚酰胺、聚酰亚胺、聚碳酸酯、聚醚砜、丙烯酸树脂、环氧树脂等。特别是聚酰亚胺，不仅具有比其他树脂高的耐热性，而且还兼具高机械强度、耐磨耗性、尺寸稳定性、耐化学药品性等优异的机械特性、及绝缘性等优异的电特性，因此，正在开发使用了聚酰亚胺膜的柔性基板。
作为柔性基板的例子，可举出柔性tft(thinfilmtransistor、薄膜晶体管)基板、柔性有机el元件基板、柔性滤色片基板等显示器用基板。滤色片是为了使以白色光作为光源的有机场致发光显示装置、液晶显示装置进行彩色显示所必需的构件。通常为将红色的着色像素、绿色的着色像素及蓝色的着色像素这3种颜色的着色像素微细地进行图案化而成的3色滤色片。3色滤色片中，白色是利用红、绿、蓝这3种颜色的着色像素的加色混合而得到的。
对于上述例举的平板显示器基板以及滤色片基板而言，要求在可见光区域光线透过率高。此外，为了防止由形成tft、滤色片等显示元件·受光元件时的加热导致的对位精度的恶化，要求线性热膨胀系数(cte)低、在基板上不产生翘曲。此外，为了防止从倾斜方向观察时的色偏差或者抑制使用圆偏光膜时的环境光(ambientlight)反射，要求低双折射率。
作为在可见光区域显示高光线透过率的透明聚酰亚胺，公开了由含氟及/或脂环式酸二酐与含氟及/或脂环式二胺形成的聚酰亚胺(例如，参见专利文献1～4)。
此外，作为制作即使cte之差大翘曲也少的有机el装置的方法，公开了下述方法：在与层叠于低cte层的高cte层相反的一侧层叠形状保持层，抵消在低cte层的两侧产生的应力，抑制基板的翘曲(例如，参见专利文献5)。此外，作为同时实现低cte、低双折射率的柔性基板，公开了以特定的方法使用特定的酸二酐和二胺而制作的聚酰亚胺(例如，参见专利文献6)。
现有技术文献
专利文献
专利文献1：日本特开2005-338394号公报
专利文献2：日本特开2012-146905号公报
专利文献3：日本特开2008-045054号公报
专利文献4：日本特开2010-100674号公报
专利文献5：日本特开2013-157228号公报
专利文献6：日本特开2011-111596号公报
技术实现要素：
发明要解决的课题
使用专利文献1～4中记载的那样的聚酰亚胺树脂来形成透明基板时，cte显示出50ppm/℃以上的较大值。若使用这样的聚酰亚胺树脂来制作tft或滤色片，则有在基板上产生翘曲、对位精度差，难以制作高精细的显示器这样的问题。
此外，使用这样的聚酰亚胺树脂制作有机el元件时，通常在聚酰亚胺上形成硅的氧化物或氮化物作为气体阻隔膜。一般而言，硅氧化物、氮化物的cte低至3.5ppm/℃左右。因此，在这样的情况下，除了上述的问题以外，还存在下述问题：聚酰亚胺树脂与气体阻隔膜的cte之差会导致在之后的加热工序中气体阻隔膜易于产生裂纹或褶皱、有机el元件易于发生劣化。
进而，在专利文献5中记载的那样的方法中存在下述问题：为了抑制基板的翘曲，在低cte层上介由粘接层贴附形状保持层的操作是必须的，制造工序变得复杂。
此外，虽然专利文献6中公开了以特定的方法使用特定的酸酐、二胺而得到同时实现了低cte和低双折射率的聚酰亚胺膜的方法，但存在下述问题：因为单体被限制，所以聚合物设计的自由度稍低。此外，还有下述担忧：虽然将低分子化合物(酰亚胺化剂、脱水催化剂)用于化学酰亚胺化，但这些化合物在制造组件(module)时的加热工艺中会成为脱气的原因，从而产生缺陷。
鉴于上述问题，本发明的目的在于提供下述的显示器用支承基板：无需进行复杂的操作即可适用于滤色片、有机el元件等，可制作高精细的显示器，且cte小、双折射率小、并且具有挠性。
用于解决课题的手段
即，本发明为在包含聚酰亚胺树脂的膜a的至少一面上具有包含聚硅氧烷树脂的膜b的显示器用支承基板，其特征在于：在所述膜b中包含无机氧化物粒子。
发明的效果
根据本发明，可提供下述显示器用支承基板：无需进行复杂的操作即可适用于滤色片、有机el元件等，可制作高精细的显示器，且cte小、双折射率小、并且具有挠性。
附图说明
图1是进行滤色片的耐弯曲性评价时的立体示意图
图2是进行滤色片的耐弯曲性评价时的立体示意图
图3是示出滤色片的一个例子的剖视图
图4是示出由有机el元件形成的阵列(array)的一个例子的剖视图
图5是示出柔性有机el显示器的一个例子的剖视图
具体实施方式
以下，对用于实施本发明的方式进行详细说明。需要说明的是，本发明不限于以下的实施方式，可在其主旨的范围内进行各种变形而实施。
本发明为在包含聚酰亚胺树脂的膜a的至少一面上具有包含聚硅氧烷树脂的膜b的显示器用支承基板，其特征在于：在所述膜b中包含无机氧化物粒子。
以下，将用于本发明的显示器用支承基板的、在包含聚酰亚胺树脂的膜a的至少一面上具有包含聚硅氧烷树脂的膜b的结构体称为“树脂层叠体”。
此处所谓的显示器用支承基板不仅包含对显示器本身进行支承的基板，还包含用于构成显示器的构件的所有支承基板。例如，可举出：具有黑色矩阵、着色像素的滤色片用支承基板；具有tft、电极、有机层等的有机el元件用支承基板；具有电极、油墨层等的电子纸用支承基板；具有电极、荧光体等的等离子体显示器用支承基板；在有机el元件上直接形成有滤色片的片上(on-chip)型的支承基板；在树脂层叠体上具有气体阻隔膜的封装树脂用支承基板；在树脂层叠体的至少一面上具有透明导电层的触摸屏用支承基板；在树脂层叠体的至少一面上具有透明导电层的触摸装置用支承基板；在树脂层叠体上形成有某些电路的电路用支承基板；在树脂层叠体的至少一面上具有液晶层的液晶显示器用支承基板；在树脂层叠体的至少一面上具有led元件的led显示器用支承基板；能透视画面的相反侧的透视显示器(see-throughdisplay)用支承基板等。
本发明的显示器用支承基板中，在包含聚酰亚胺树脂的膜(膜a)的至少一面上具有包含聚硅氧烷树脂的膜(膜b)，并且，包含聚硅氧烷树脂的膜含有无机氧化物粒子，因此，即使聚酰亚胺的cte大，也能降低作为层叠体的cte。所述显示器用支承基板的线膨胀系数优选为40ppm/℃以下，在该情况下，如后文所述那样，在显示器用支承基板的与支承基板接触一侧的相反的一侧上形成滤色片、或者形成气体阻隔层(其用于形成有机el元件)时，能够无加工精度的恶化或不在气体阻隔层上产生裂纹地制作高精细的滤色片、元件的劣化被抑制的有机el元件等。
此外，将膜a的双折射率记为δna、将膜b的双折射率记为δnb时，优选(δna-δnb)≤0.065。该情况下，例如想要使用圆偏光膜来防止环境光反射时，能够有利地抑制反射，提高显示器的视认性(visibility)。
本发明中的树脂层叠体的厚度没有特别限定，膜a和膜b的膜厚比率优选为膜a/膜b＝25/1～1.5/1。其中，进一步优选为膜a/膜b＝10/1～5/3。通过使各层的膜厚比率在上述范围内，能够维持显示器用支承基板的挠性，并进一步降低cte。
对于各层的膜厚而言，从透明性、低cte性的观点考虑，膜a的膜厚优选为5.0μm以上且20μm以下、膜b的膜厚优选为0.2μm以上且3.0μm以下。从透明性的观点考虑，层叠体整体的膜厚优选为5.0μm以上且20μm以下。
膜a的膜厚更优选为5.0μm以上且15μm以下、进一步优选为5μm以上且10μm以下。通过在上述范围内，显示器用支承基板的透过色调变得更好。对于膜b的膜厚而言，作为下限进一步优选为0.4μm以上、作为上限进一步优选为2.0μm以下。通过在上述膜厚范围内，能够制作cte更低、无基板的翘曲、同时透明性、耐裂纹性特别优异的树脂膜层叠体。
关于膜厚，可通过利用扫描电子显微镜(sem)对截面进行观察来测定。本发明中，沿层叠体的截面方向以1mm的间隔设定5点作为测定点，对各层的厚度进行测定，将其平均值作为各层的膜厚。
此外，对本发明中的树脂层叠体的透明性没有特别限制，但在如滤色片、透视显示器那样对基板要求透明性的情况下，优选树脂层叠体是透明的。此处所谓的透明是指，所述树脂层叠体中，波长400nm处的可见光线透过率为65％以上。因为在可见光区域具有透明性，所以可有效地用于要求高透明性的柔性显示器基板等。进一步优选波长400nm处的可见光线透过率为75％以上。需要说明的是，可见光线透过率可通过在玻璃基板上形成本发明的树脂膜层叠体、然后利用紫外可见分光光度计来进行测定。
<聚酰亚胺树脂>
本发明中，膜a中包含的聚酰亚胺树脂没有特别限制，一般而言，可使用下述通式(11)表示的聚酰亚胺树脂。其可通过例如使下述通式(12)表示的聚酰亚胺前体树脂进行酰亚胺闭环(酰亚胺化反应)而得到。作为酰亚胺化反应的方法，没有特别限定，可举出热酰亚胺化、化学酰亚胺化。其中，从聚酰亚胺树脂膜的耐热性、在可见光区域的透明性的观点考虑，优选为热酰亚胺化。
[化学式1]
通式(11)及(12)中，r2表示四价有机基团、r3表示二价有机基团。x1、x2各自独立地表示氢原子、碳原子数为1～10的一价有机基团或碳原子数为1～10的一价烷基甲硅烷基。
聚酰胺酸、聚酰胺酸酯、聚酰胺酸甲硅烷基酯等聚酰亚胺前体树脂可利用二胺化合物与酸二酐或其衍生物的反应而合成。作为衍生物，可举出该酸二酐的四羧酸、该四羧酸的单酯、二酯、三酯或四酯、酰氯化物等，具体而言，可举出利用甲基、乙基、正丙基、异丙基、正丁基、仲丁基、叔丁基等进行酯化而得的结构。对于聚合反应的反应方法而言，只要可制造目标聚酰亚胺前体树脂即可，没有特别限制，可使用已知的反应方法。
作为具体的反应方法，可举出下述方法：将规定量的全部二胺成分及溶剂装入反应器中并使其溶解，然后放入规定量的酸二酐成分，于室温～80℃搅拌0.5～30小时；等等。
聚酰亚胺前体树脂的合成中使用的酸二酐和二胺可使用已知的物质。
作为酸二酐没有特别限定，可举出芳香族酸二酐、脂环式酸二酐或脂肪族酸二酐。
作为芳香族酸二酐，可举出4，4’-氧双邻苯二甲酸酐、均苯四甲酸二酐、3，3’，4，4’-联苯四甲酸二酐、2，2-双(4-(3，4-二羧基苯氧基)苯基)丙烷二酐、2，3，3’，4’-联苯四甲酸二酐、2，2’，3，3’-联苯四甲酸二酐、3，3’，4，4’-三联苯四甲酸二酐、3，3’，4，4’-氧代邻苯二甲酸二酐、2，3，3’，4’-氧代邻苯二甲酸二酐、2，3，2’，3’-氧代邻苯二甲酸二酐、二苯基砜-3，3’，4，4’-四甲酸二酐、二苯甲酮-3，3’，4，4’-四甲酸二酐、2，2-双(3，4-二羧基苯基)丙烷二酐、2，2-双(2，3-二羧基苯基)丙烷二酐、1，1-双(3，4-二羧基苯基)乙二酐、1，1-双(2，3-二羧基苯基)乙二酐、双(3，4-二羧基苯基)甲二酐、双(2，3-二羧基苯基)甲二酐、1，4-(3，4-二羧基苯氧基)苯二酐、双(1，3-二氧代-1，3-二氢异苯并呋喃-5-羧酸)1，4-亚苯基-2，2-双(4-(4-氨基苯氧基)苯基)丙烷(bis(1，3-dioxo-1，3-dihydroisobenzfuran-5-carboxylicacid)1，4-phenylene-2，2-bis(4-(4-aminophenoxy)phenyl)propane)、1，2，5，6-萘四甲酸二酐、2，3，6，7-萘四甲酸二酐、9，9-双(3，4-二羧基苯基)芴二酐、2，3，5，6-吡啶四甲酸二酐、3，4，9，10-苝四甲酸二酐、2，2-双(3，4-二羧基苯基)六氟丙烷二酐、2，2-双(4-(3，4-二羧基苯甲酰氧基)苯基)六氟丙烷二酐、1，6-二氟均苯四甲酸二酐、1-三氟甲基均苯四甲酸二酐、1，6-双三氟甲基均苯四甲酸二酐、2，2’-双(三氟甲基)-4，4’-双(3，4-二羧基苯氧基)联苯二酐、2，2’-双[(二羧基苯氧基)苯基]丙烷二酐、2，2’-双[(二羧基苯氧基)苯基]六氟丙烷二酐、9，9’-双(3，4-二羧基苯基)芴酸二酐或者用烷基、烷氧基、卤素原子等在它们的芳香族环上进行取代而得的酸二酐化合物，但并不限定于此。
作为脂环式酸二酐，可举出1，2，3，4-环丁烷四甲酸二酐、1，2，4，5-环己烷四甲酸二酐、1，2，3，4-环戊烷四甲酸二酐、1，2，3，4-四甲基-1，2，3，4-环丁烷四甲酸二酐、1，2-二甲基-1，2，3，4-环丁烷四甲酸二酐、1，3-二甲基-1，2，3，4-环丁烷四甲酸二酐、1，2，3，4-环庚烷四甲酸二酐、2，3，4，5-四氢呋喃四甲酸二酐、3，4-二羧基-1-环己基琥珀酸二酐、2，3，5-三羧基环戊基乙酸二酐、3，4-二羧基-1，2，3，4-四氢-1-萘琥珀酸二酐、双环[3，3，0]辛烷-2，4，6，8-四甲酸二酐、双环[4，3，0]壬烷-2，4，7，9-四甲酸二酐、双环[4，4，0]癸烷-2，4，7，9-四甲酸二酐、双环[4，4，0]癸烷-2，4，8，10-四甲酸二酐、三环[6，3，0，0<2，6>]十一烷-3，5，9，11-四甲酸二酐、双环[2，2，2]辛烷-2，3，5，6-四甲酸二酐、双环[2，2，2]辛-7-烯-2，3，5，6-四甲酸二酐、双环[2，2，1]庚烷四甲酸二酐、双环[2，2，1]庚烷-5-羧基甲基-2，3，6-三甲酸二酐、7-氧杂双环[2，2，1]庚烷-2，4，6，8-四甲酸二酐、八氢萘-1，2，6，7-四甲酸二酐、十四氢蒽-1，2，8，9-四甲酸二酐、3，3’，4，4’-二环己烷四甲酸二酐、3，3’，4，4’-氧代二环己烷四甲酸二酐、5-(2，5-二氧代四氢-3-呋喃基)-3-甲基-3-环己烯-1，2-二甲酸酐、及“rikacid”(注册商标)bt-100(以上为商品名，新日本理化(株)制)及它们的衍生物、或者用烷基、烷氧基、卤素原子等在它们的脂环上进行取代而得的酸二酐化合物，但并不限定于此。
作为脂肪族酸二酐，可举出1，2，3，4-丁烷四甲酸二酐、1，2，3，4-戊烷四甲酸二酐及它们的衍生物等，但并不限定于此。
这些芳香族酸二酐、脂环式酸二酐或脂肪族酸二酐可单独使用或组合2种以上使用。
其中，从市售且容易获得的观点、反应性的观点考虑，优选使用均苯四甲酸二酐、3，3’，4，4’-联苯四甲酸二酐、3，3’，4，4’-氧代邻苯二甲酸二酐、2，2-双(3，4-二羧基苯基)六氟丙烷二酐、2，2’-双[(二羧基苯氧基)苯基]丙烷二酐、2，3，6，7-萘四甲酸二酐、1，2，4，5-环己烷四甲酸二酐、3，3’，4，4’-二环己烷四甲酸二酐、1，2，3，4-环丁烷四甲酸二酐、4，4’-氧双邻苯二甲酸酐、2，2-双(4-(3，4-二羧基苯氧基)苯基)丙烷二酐。
作为二胺，没有特别限定，可举出芳香族二胺化合物、脂环式二胺化合物或脂肪族二胺化合物。
作为芳香族二胺化合物，可举出3，4’-二氨基二苯基醚、4，4’-二氨基二苯基醚、3，4’-二氨基二苯基甲烷、4，4’-二氨基二苯基甲烷、3，3’-二氨基二苯砜、3，4’-二氨基二苯砜、4，4’-二氨基二苯砜、3，4’-二氨基二苯基硫醚、4，4’-二氨基二苯基硫醚、1，4-双(4-氨基苯氧基)苯、联苯胺、2，2’-双(三氟甲基)联苯胺、3，3’-双(三氟甲基)联苯胺、2，2’-二甲基联苯胺、3，3’-二甲基联苯胺、2，2’，3，3’-四甲基联苯胺、2，2’-二氯联苯胺、3，3’-二氯联苯胺、2，2’3，3’-四氯联苯胺、间苯二胺、对苯二胺、1，5-萘二胺、2，6-萘二胺、双(4-氨基苯氧基苯基)砜、双(3-氨基苯氧基苯基)砜、双[4-(3-氨基苯氧基)苯基]砜、双(4-氨基苯氧基)联苯、双{4-(4-氨基苯氧基)苯基}醚、1，4-双(4-氨基苯氧基)苯、9，9-双(4-氨基苯基)芴、2，2’-双[3-(3-氨基苯甲酰胺)-4-羟基苯基]六氟丙烷、2，2-双(3-氨基-4-羟基苯基)六氟丙烷、4-氨基苯基-4-氨基苯磺酸酯、3-氨基苯基-4-氨基苯磺酸酯、1，4-亚苯基-双(4-氨基苯磺酸酯)或者用烷基、烷氧基、卤素原子等在它们的芳香族环上取代而得的二胺化合物，但并不限定于此。
作为脂环式二胺化合物，可举出环丁烷二胺、异佛尔酮二胺、双环[2，2，1]庚烷二甲胺、三环[3，3，1，13，7]癸烷-1，3-二胺、1，2-环己二胺、1，3-环己二胺、1，4-环己二胺、反式-1，4-二氨基环己烷、4，4’-二氨基二环己基甲烷、3，3’-二甲基-4，4’-二氨基二环己基甲烷、3，3’-二乙基-4，4’-二氨基二环己基甲烷、3，3’，5，5’-四甲基-4，4’-二氨基二环己基甲烷、3，3’，5，5’-四乙基-4，4’-二氨基二环己基甲烷、3，5-二乙基-3’，5’-二甲基-4，4’-二氨基二环己基甲烷、4，4’-二氨基二环己基醚、3，3’-二甲基-4，4’-二氨基二环己基醚、3，3’-二乙基-4，4’-二氨基二环己基醚、3，3’，5，5’-四甲基-4，4’-二氨基二环己基醚、3，3’，5，5’-四乙基-4，4’-二氨基二环己基醚、3，5-二乙基-3’，5’-二甲基-4，4’-二氨基二环己基醚、2，2-双(4-氨基环己基)丙烷、2，2-双(3-甲基-4-氨基环己基)丙烷、2，2-双(3-乙基-4-氨基环己基)丙烷、2，2-双(3，5-二甲基-4-氨基环己基)丙烷、2，2-双(3，5-二乙基-4-氨基环己基)丙烷、2，2-(3，5-二乙基-3’，5’-二甲基-4，4’-二氨基二环己基)丙烷、或者用烷基、烷氧基、卤素原子等在它们的脂环上取代而得的二胺化合物，但并不限定于此。
作为脂肪族二胺化合物，可举出乙二胺、1，3-二氨基丙烷、1，4-二氨基丁烷、1，5-二氨基戊烷、1，6-二氨基己烷、1，7-二氨基庚烷、1，8-二氨基辛烷、1，9-二氨基壬烷、1，10-二氨基癸烷等亚烷基二胺类、双(氨基甲基)醚、双(2-氨基乙基)醚、双(3-氨基丙基)醚等乙二醇二胺类、及1，3-双(3-氨基丙基)四甲基二硅氧烷、1，3-双(4-氨基丁基)四甲基二硅氧烷、α，ω-双(3-氨基丙基)聚二甲基硅氧烷等硅氧烷二胺类，但并不限定于此。
这些芳香族二胺、脂环式二胺或脂肪族二胺可单独使用或组合2种以上使用。
对于用于滤色片或触摸屏等中的显示器用支承基板的聚酰亚胺树脂而言，要求耐热性、低吸水性及在可见光区域的高透明性，因此，为了赋予透明性，优选在酸二酐或二胺成分中具有作为体积大的氟取代基的三氟甲基、脂环式单体成分。即，聚酰亚胺树脂优选具有选自三氟甲基及脂环式烃基中的至少1种基团。此外，为了赋予低吸水性，优选在酸二酐或二胺成分中具有三氟甲基。含有三氟甲基的单体、脂环式单体成分可用于酸二酐和二胺成分这两者、也可用于一者，从单体的获得容易性的观点考虑，优选用于二胺成分。此外，为了呈现出充分的透明性、低吸水性，相对于聚酰亚胺树脂中所含的二胺残基的总量，优选含有50摩尔％以上的具有选自三氟甲基或脂环式烃基中的至少1种基团的二胺残基。
作为该情况下的酸二酐，优选包含4，4’-氧双邻苯二甲酸酐(odpa)、3，3’，4，4’-联苯四甲酸二酐(bpda)、4，4’-(六氟异亚丙基)双邻苯二甲酸酐(6fda)、2，2-双(4-(3，4-二羧基苯氧基)苯基)丙烷二酐(bsaa)、1，2，3，4-环丁烷四甲酸二酐(cbda)、1，2，4，5-环己烷四甲酸二酐(pmda-h)。作为二胺，优选包含2，2-双[3-(3-氨基苯甲酰胺)-4-羟基苯基]六氟丙烷(hfha)、反式-1，4-二氨基环己烷(t-dach)、2，2’-双(三氟甲基)联苯胺(tfmb)。
另一方面，对于用于有机el元件中的显示器用支承基板的聚酰亚胺树脂而言，要求耐热性、低吸水性。作为该情况下的酸二酐，优选包含3，3’，4，4’-联苯四甲酸二酐(bpda)、4，4’-氧双邻苯二甲酸酐(odpa)、1，2，4，5-环己烷四甲酸二酐(pmda-h)、2，2-双(4-(3，4-二羧基苯氧基)苯基)丙烷二酐(bsaa)、4，4’-(六氟异亚丙基)双邻苯二甲酸酐(6fda)、1，2，3，4-环丁烷四甲酸二酐(cbda)，作为二胺，优选包含4，4’-二氨基二苯基醚、对苯二胺、3，3’-二甲基联苯胺、2，2-双[3-(3-氨基苯甲酰胺)-4-羟基苯基]六氟丙烷(hfha)、反式-1，4-二氨基环己烷、2，2’-双(三氟甲基)联苯胺(tfmb)。此外，在从显示器用支承基板侧取出光时要求聚酰亚胺树脂是透明的，因此，从显示器用支承基板侧取出光时，向酸二酐或二胺成分中导入三氟甲基或脂环式单体成分是有效的。作为该情况下的酸二酐，优选包含4，4’-氧双邻苯二甲酸酐(odpa)、3，3’，4，4’-联苯四甲酸二酐(bpda)、2，2-双(4-(3，4-二羧基苯氧基)苯基)丙烷二酐(bsaa)、4，4’-氧双邻苯二甲酸酐(odpa)、4，4’-(六氟异亚丙基)双邻苯二甲酸酐(6fda)、1，2，3，4-环丁烷四甲酸二酐(cbda)。作为二胺，优选包含2，2-双[3-(3-氨基苯甲酰胺)-4-羟基苯基]六氟丙烷(hfha)、反式-1，4-二氨基环己烷、2，2’-双(三氟甲基)联苯胺(tfmb)。
作为特别优选的聚酰亚胺树脂，可举出以通式(1)～(3)表示的重复结构单元中的至少1种为主成分的聚酰亚胺。
[化学式2]
通式(1)～(3)中，r1为(4)～(9)表示的至少一种以上的基团。
[化学式3]
此处，主成分是指，以聚合物的全部结构单元的50摩尔％以上的量具有通式(1)～(3)表示的结构单元。通过在聚酰亚胺的二胺部位具有通式(1)～(3)表示的结构，能够提高聚酰亚胺树脂的低吸水性、透明性、耐热性。此外，通过在酸酐部位具有通式(4)～(9)表示的芳香族、脂环式酸酐，可得到耐热性高、挠性良好的聚酰亚胺树脂。
此外，作为特别优选的聚酰亚胺树脂，可举出以通式(10)表示的重复结构单元为主成分的聚酰亚胺。
[化学式4]
通式(10)中，r1为(4)～(9)表示的至少一种以上的基团。
[化学式5]
此处，主成分是指以聚合物的全部结构单元的50摩尔％以上的量具有通式(10)表示的结构单元。
通过在聚酰亚胺的二胺部位具有通式(10)表示的结构，能够提高聚酰亚胺树脂的透明性、耐热性。此外，通过在酸酐部位具有通式(4)～(9)表示的芳香族、脂环式酸酐，可得到耐热性高、挠性良好的聚酰亚胺树脂。
对于所述聚酰亚胺及聚酰亚胺前体树脂而言，为了将分子量调节至优选的范围内，可利用封端剂对两末端进行封端。作为与酸二酐反应的封端剂，可举出单胺、一元醇等。此外，作为与二胺化合物反应的封端剂，可举出酸酐、单羧酸、单酰氯化合物、单活性酯化合物、二碳酸酯类、乙烯基醚类等。此外，通过与封端剂反应，可导入各种有机基团作为末端基团。
作为用于酸酐基末端的封端剂的单胺，可举出5-氨基-8-羟基喹啉、4-氨基-8-羟基喹啉、1-羟基-8-氨基萘、1-羟基-7-氨基萘、1-羟基-6-氨基萘、1-羟基-5-氨基萘、1-羟基-4-氨基萘、1-羟基-3-氨基萘、1-羟基-2-氨基萘、1-氨基-7-羟基萘、2-羟基-7-氨基萘、2-羟基-6-氨基萘、2-羟基-5-氨基萘、2-羟基-4-氨基萘、2-羟基-3-氨基萘、1-氨基-2-羟基萘、1-羧基-8-氨基萘、1-羧基-7-氨基萘、1-羧基-6-氨基萘、1-羧基-5-氨基萘、1-羧基-4-氨基萘、1-羧基-3-氨基萘、1-羧基-2-氨基萘、1-氨基-7-羧基萘、2-羧基-7-氨基萘、2-羧基-6-氨基萘、2-羧基-5-氨基萘、2-羧基-4-氨基萘、2-羧基-3-氨基萘、1-氨基-2-羧基萘、2-氨基烟酸、4-氨基烟酸、5-氨基烟酸、6-氨基烟酸、4-氨基水杨酸、5-氨基水杨酸、6-氨基水杨酸、氰尿酰胺、2-氨基苯甲酸、3-氨基苯甲酸、4-氨基苯甲酸、2-氨基苯磺酸、3-氨基苯磺酸、4-氨基苯磺酸、3-氨基-4，6-二羟基嘧啶、2-氨基苯酚、3-氨基苯酚、4-氨基苯酚、5-氨基-8-巯基喹啉、4-氨基-8-巯基喹啉、1-巯基-8-氨基萘、1-巯基-7-氨基萘、1-巯基-6-氨基萘、1-巯基-5-氨基萘、1-巯基-4-氨基萘、1-巯基-3-氨基萘、1-巯基-2-氨基萘、1-氨基-7-巯基萘、2-巯基-7-氨基萘、2-巯基-6-氨基萘、2-巯基-5-氨基萘、2-巯基-4-氨基萘、2-巯基-3-氨基萘、1-氨基-2-巯基萘、3-氨基-4，6-二巯基嘧啶、2-氨基苯硫酚、3-氨基苯硫酚、4-氨基苯硫酚、2-乙炔基苯胺、3-乙炔基苯胺、4-乙炔基苯胺、2，4-二乙炔基苯胺、2，5-二乙炔基苯胺、2，6-二乙炔基苯胺、3，4-二乙炔基苯胺、3，5-二乙炔基苯胺、1-乙炔基-2-氨基萘、1-乙炔基-3-氨基萘、1-乙炔基-4-氨基萘、1-乙炔基-5-氨基萘、1-乙炔基-6-氨基萘、1-乙炔基-7-氨基萘、1-乙炔基-8-氨基萘、2-乙炔基-1-氨基萘、2-乙炔基-3-氨基萘、2-乙炔基-4-氨基萘、2-乙炔基-5-氨基萘、2-乙炔基-6-氨基萘、2-乙炔基-7-氨基萘、2-乙炔基-8-氨基萘、3，5-二乙炔基-1-氨基萘、3，5-二乙炔基-2-氨基萘、3，6-二乙炔基-1-氨基萘、3，6-二乙炔基-2-氨基萘、3，7-二乙炔基-1-氨基萘、3，7-二乙炔基-2-氨基萘、4，8-二乙炔基-1-氨基萘、4，8-二乙炔基-2-氨基萘等，但并不限定于此。
作为用作酸酐基末端的封端剂的一元醇，可举出甲醇、乙醇、1-丙醇、2-丙醇、1-丁醇、2-丁醇、1-戊醇、2-戊醇、3-戊醇、1-己醇、2-己醇、3-己醇、1-庚醇、2-庚醇、3-庚醇、1-辛醇、2-辛醇、3-辛醇、1-壬醇、2-壬醇、1-癸醇、2-癸醇、1-十一烷醇、2-十一烷醇、1-十二烷醇、2-十二烷醇、1-十三烷醇、2-十三烷醇、1-十四烷醇、2-十四烷醇、1-十五烷醇、2-十五烷醇、1-十六烷醇、2-十六烷醇、1-十七烷醇、2-十七烷醇、1-十八烷醇、2-十八烷醇、1-十九烷醇、2-十九烷醇、1-二十烷醇、2-甲基-1-丙醇、2-甲基-2-丙醇、2-甲基-1-丁醇、3-甲基-1-丁醇、2-甲基-2-丁醇、3-甲基-2-丁醇、2-丙基-1-戊醇、2-乙基-1-己醇、4-甲基-3-庚醇、6-甲基-2-庚醇、2，4，4-三甲基-1-己醇、2，6-二甲基-4-庚醇、异壬醇、3，7-二甲基-3-辛醇、2，4-二甲基-1-庚醇、2-庚基十一醇、乙二醇单乙基醚、乙二醇单甲醚、乙二醇单丁基醚、丙二醇-1-甲基醚、二乙二醇单乙基醚、二乙二醇单甲醚、二乙二醇单丁基醚、环戊醇、环己醇、环戊烷单甲醇、二环戊烷单甲醇、三环癸烷单甲醇、降冰片、松油醇等，但并不限定于此。
作为用作氨基末端的封端剂的酸酐、单羧酸、单酰氯化合物及单活性酯化合物，可举出邻苯二甲酸酐、马来酸酐、纳迪克酸酐、环己烷二甲酸酐、3-羟基邻苯二甲酸酐等酸酐；2-羧基苯酚、间羟基苯甲酸、对羟基苯甲酸、2-巯基苯甲酸、3-巯基苯甲酸、4-巯基苯甲酸、1-羟基-8-萘甲酸、1-羟基-7-萘甲酸、1-羟基-6-萘甲酸、1-羟基-5-萘甲酸、1-羟基-4-萘甲酸、1-羟基-3-萘甲酸、1-羟基-2-萘甲酸、1-巯基-8-萘甲酸、1-巯基-7-萘甲酸、1-巯基-6-萘甲酸、1-巯基-5-萘甲酸、1-巯基-4-萘甲酸、1-巯基-3-萘甲酸、1-巯基-2-萘甲酸、2-羧基苯磺酸、3-羧基苯磺酸、4-羧基苯磺酸、2-乙炔基苯甲酸、3-乙炔基苯甲酸、4-乙炔基苯甲酸、2，4-二乙炔基苯甲酸、2，5-二乙炔基苯甲酸、2，6-二乙炔基苯甲酸、3，4-二乙炔基苯甲酸、3，5-二乙炔基苯甲酸、2-乙炔基-1-萘甲酸、3-乙炔基-1-萘甲酸、4-乙炔基-1-萘甲酸、5-乙炔基-1-萘甲酸、6-乙炔基-1-萘甲酸、7-乙炔基-1-萘甲酸、8-乙炔基-1-萘甲酸、2-乙炔基-2-萘甲酸、3-乙炔基-2-萘甲酸、4-乙炔基-2-萘甲酸、5-乙炔基-2-萘甲酸、6-乙炔基-2-萘甲酸、7-乙炔基-2-萘甲酸、8-乙炔基-2-萘甲酸等单羧酸类及它们的羧基经酰氯化而成的单酰氯化合物；及对苯二甲酸、邻苯二甲酸、马来酸、环己烷二甲酸、3-羟基邻苯二甲酸、5-降冰片烯-2，3-二甲酸、1，2-萘二甲酸、1，3-萘二甲酸、1，4-萘二甲酸、1，5-萘二甲酸、1，6-萘二甲酸、1，7-萘二甲酸、1，8-萘二甲酸、2，3-萘二甲酸、2，6-萘二甲酸、2，7-萘二甲酸等二甲酸类的仅单个羧基经酰氯化而成的单酰氯化合物、单酰氯化合物与n-羟基苯并三唑或n-羟基-5-降冰片烯-2，3-二羧基酰亚胺反应而得到的活性酯化合物。
作为用作氨基末端的封端剂的二碳酸酯化合物，可举出二碳酸二叔丁酯、二碳酸二苄酯、二碳酸二甲酯、二碳酸二乙酯。
作为用作氨基末端的封端剂的乙烯基醚化合物，可举出氯甲酸叔丁酯、氯甲酸正丁酯、氯甲酸异丁酯、氯甲酸苄酯、氯甲酸烯丙酯、氯甲酸乙酯、氯甲酸异丙酯等氯甲酸酯类；异氰酸丁酯、1-萘异氰酸酯、十八烷基异氰酸酯、异氰酸苯酯等异氰酸酯化合物类；丁基乙烯基醚、环己基乙烯基醚、乙基乙烯基醚、2-乙基己基乙烯基醚、异丁基乙烯基醚、异丙基乙烯基醚、正丙基乙烯基醚、叔丁基乙烯基醚、苄基乙烯基醚等。
作为用作氨基末端的封端剂的其他化合物，可举出氯甲酸苄酯、苯甲酰氯、氯甲酸芴基甲酯、氯甲酸-2，2，2-三氯乙酯、氯甲酸烯丙酯、甲磺酰氯、对甲苯磺酰氯、异氰酸苯酯等。
相对于酸二酐成分而言，酸酐基末端的封端剂的导入比例优选为0.1～60摩尔％的范围、特别优选为0.5～50摩尔％。此外，相对于二胺成分而言，氨基末端的封端剂的导入比例优选为0.1～100摩尔％的范围、特别优选为0.5～70摩尔％。也可与多个封端剂反应，由此导入多个不同的末端基团。
导入至聚酰亚胺前体树脂、聚酰亚胺树脂中的封端剂可利用以下的方法容易地检测。例如，将导入有封端剂的聚合物溶解于酸性溶液中，分解成作为聚合物的构成单元的胺成分和酸酐成分，再对其进行气相色谱法(gc)、nmr测定，由此可容易地检测出封端剂。除此以外，对导入有封端剂的聚合物直接进行热解气相色谱(pgc)、红外光谱、1hnmr光谱测定及13cnmr光谱测定，也可容易地检测出封端剂。
<热交联剂>
膜a可以含有热交联剂。作为热交联剂，优选为环氧化合物、具有至少2个烷氧基甲基或羟甲基的化合物。通过具有至少2个这样的基团，从而可与树脂及同种分子进行缩合反应而形成交联结构体，提高加热处理后的固化膜的机械强度、耐化学药品性。
作为环氧化合物的优选例子，例如，可举出双酚a型环氧树脂、双酚f型环氧树脂、丙二醇二缩水甘油醚、聚丙二醇二缩水甘油醚、聚甲基(环氧丙氧基丙基)(polymethyl(glycidyloxypropyl))、硅氧烷等含有环氧基的有机硅等，但本发明不受这些化合物的任何限制。具体而言，可举出epiclon850-s，epiclonhp-4032、epiclonhp-7200、epiclonhp-820、epiclonhp-4700、epiclonexa-4710、epiclonhp-4770、epiclonexa-859crp、epiclonexa-1514，epiclonexa-4880，epiclonexa-4850-150、epiclonexa-4850-1000、epiclonexa-4816、epiclonexa-4822(以上为商品名，大日本油墨化学工业(株)制)、rikaresinbeo-60e、rikaresinbpo-20e、rikaresinhbe-100、rikaresindme-100(以上为商品名，新日本理化(株)制)、ep-4003s、ep-4000s(以上为商品名，(株)adeka制)、pg-100、cg-500、eg-200(以上为商品名，osakagaschemicalsco.，ltd.(株)制)、nc-3000、nc-6000(以上为商品名，日本化药(株)制)、epox-mkr508、epox-mkr540、epox-mkr710、epox-mkr1710、vg3101l、vg3101m80(以上为商品名，(株)printec制)、celloxide2021p、celloxide2081、celloxide2083、celloxide2085(以上为商品名，daicel化学工业(株)制)等。
作为具有至少2个烷氧基甲基或羟甲基的化合物，例如，可举出dml-pc、dml-pep、dml-oc、dml-oep、dml-34x、dml-ptbp、dml-pchp、dml-ochp、dml-pfp、dml-psbp、dml-pop、dml-mboc、dml-mbpc、dml-mtrispc、dml-bisoc-z、dml-bisochp-z、dml-bpc、dml-bisoc-p、dmom-pc、dmom-ptbp、dmom-mbpc、triml-p、triml-35xl、tml-hq、tml-bp、tml-pp-bpf、tml-bpe、tml-bpa、tml-bpaf、tml-bpap、tmom-bp、tmom-bpe、tmom-bpa、tmom-bpaf、tmom-bpap、hml-tpphba、hml-tphap、hmom-tpphba、hmom-tphap(以上为商品名，本州化学工业(株)制)、nikalac(注册商标)mx-290、nikalacmx-280、nikalacmx-270、nikalacmx-279、nikalacmw-100lm、nikalacmx-750lm(以上为商品名，(株)三和化学制)。也可含有2种以上的这些化合物。
相对于100重量份的树脂，优选含有0.01～50重量份的热交联剂。
<偶联剂>
为了提高膜a与基材的粘接性，可添加硅烷偶联剂、钛偶联剂等偶联剂。相对于100重量份的树脂，优选含有0.1～10重量份的偶联剂。
<无机填料>
膜a可含有无机填料。作为无机填料，可举出二氧化硅微粒、氧化铝微粒、二氧化钛微粒、氧化锆微粒等。无机填料的形状没有特别限定，可举出球状、椭圆形状、扁平状、棒状、纤维状等。为了防止光的散射，所含有的无机填料的粒径小是优选的。平均粒径为0.5～100nm、优选为0.5～30nm的范围，相对于100重量份的树脂，优选含有1～100重量份的无机填料。通过以相对于100重量份的树脂为1～100重量份的量添加上述粒径范围的无机填料，从而可不损害挠性地降低聚酰亚胺树脂的cte、双折射率。
<聚硅氧烷树脂>
本发明中，作为膜b中包含的聚硅氧烷树脂，没有特别限制。用于形成膜b的聚硅氧烷树脂组合物为非感光性或正型感光性时，从涂布液的保存稳定性的观点考虑，优选为具有苯基或萘基的聚硅氧烷树脂，从耐化学药品性的观点考虑，优选为具有环氧基或氨基的聚硅氧烷树脂。此外，用于形成膜b的聚硅氧烷树脂组合物为负型感光性时，从涂布液的保存稳定性的观点考虑，优选为具有苯基或萘基的聚硅氧烷树脂，从固化性的观点考虑，优选为具有(甲基)丙烯酰基或乙烯基的聚硅氧烷树脂，从图案加工性的观点考虑，优选为具有羧基或酚羟基的聚硅氧烷树脂。
作为聚硅氧烷树脂的合成方法，通常为对有机硅烷化合物进行水解缩合的方法。作为聚硅氧烷的合成中使用的有机硅烷化合物，例如，可举出甲基三甲氧基硅烷、甲基三乙氧基硅烷、乙基三甲氧基硅烷、乙基三乙氧基硅烷、己基三甲氧基硅烷、十八烷基三甲氧基硅烷、十八烷基三乙氧基硅烷、苯基三甲氧基硅烷、苯基三乙氧基硅烷、二苯基二甲氧基硅烷、二苯基二乙氧基硅烷、1-萘基三甲氧基硅烷、2-萘基三甲氧基硅烷、1-萘基三乙氧基硅烷、2-萘基三乙氧基硅烷、4-羟基苯基三甲氧基硅烷、4-羟基苯基三乙氧基硅烷、4-羟基苄基三甲氧基硅烷、4-羟基苄基三乙氧基硅烷、2-(4-羟基苯基)乙基三甲氧基硅烷、2-(4-羟基苯基)乙基三乙氧基硅烷、3-氨基丙基三乙氧基硅烷、n-(2-氨基乙基)-3-氨基丙基三甲氧基硅烷、3-氯丙基三甲氧基硅烷、3-(n，n-二缩水甘油基)氨基丙基三甲氧基硅烷、3-环氧丙氧基丙基三甲氧基硅烷、γ-氨基丙基三甲氧基硅烷、γ-氨基丙基三乙氧基硅烷、n-β-(氨基乙基)-γ-氨基丙基三甲氧基硅烷、β-氰基乙基三乙氧基硅烷、环氧丙氧基甲基三甲氧基硅烷、环氧丙氧基甲基三乙氧基硅烷、α-环氧丙氧基乙基三甲氧基硅烷、α-环氧丙氧基乙基三乙氧基硅烷、β-环氧丙氧基乙基三甲氧基硅烷、β-环氧丙氧基乙基三乙氧基硅烷、α-环氧丙氧基丙基三甲氧基硅烷、α-环氧丙氧基丙基三乙氧基硅烷、β-环氧丙氧基丙基三甲氧基硅烷、β-环氧丙氧基丙基三乙氧基硅烷、γ-环氧丙氧基丙基三甲氧基硅烷、γ-环氧丙氧基丙基三乙氧基硅烷、α-环氧丙氧基丁基三甲氧基硅烷、α-环氧丙氧基丁基三乙氧基硅烷、β-环氧丙氧基丁基三甲氧基硅烷、β-环氧丙氧基丁基三乙氧基硅烷、γ-环氧丙氧基丁基三甲氧基硅烷、γ-环氧丙氧基丁基三乙氧基硅烷、δ-环氧丙氧基丁基三甲氧基硅烷、δ-环氧丙氧基丁基三乙氧基硅烷、(3，4-环氧环己基)甲基三甲氧基硅烷、(3，4-环氧环己基)甲基三乙氧基硅烷、2-(3，4-环氧环己基)乙基三丙氧基硅烷、2-(3，4-环氧环己基)乙基三丁氧基硅烷、2-(3，4-环氧环己基)乙基三甲氧基硅烷、2-(3，4-环氧环己基)乙基三乙氧基硅烷、2-(3，4-环氧环己基)乙基三苯氧基硅烷、3-(3，4-环氧环己基)丙基三甲氧基硅烷、3-(3，4-环氧环己基)丙基三乙氧基硅烷、4-(3，4-环氧环己基)丁基三甲氧基硅烷、4-(3，4-环氧环己基)丁基三乙氧基硅烷、二甲基二甲氧基硅烷、二甲基二乙氧基硅烷、γ-环氧丙氧基丙基甲基二甲氧基硅烷、γ-氨基丙基甲基二甲氧基硅烷、γ-氨基丙基甲基二乙氧基硅烷、n-(2-氨基乙基)-3-氨基丙基甲基二甲氧基硅烷、环氧丙氧基甲基二甲氧基硅烷、环氧丙氧基甲基甲基二乙氧基硅烷、α-环氧丙氧基乙基甲基二甲氧基硅烷、α-环氧丙氧基乙基甲基二乙氧基硅烷、β-环氧丙氧基乙基甲基二甲氧基硅烷、β-环氧丙氧基乙基甲基二乙氧基硅烷、α-环氧丙氧基丙基甲基二甲氧基硅烷、α-环氧丙氧基丙基甲基二乙氧基硅烷、β-环氧丙氧基丙基甲基二甲氧基硅烷、β-环氧丙氧基丙基甲基二乙氧基硅烷、γ-环氧丙氧基丙基甲基二甲氧基硅烷、γ-环氧丙氧基丙基甲基二乙氧基硅烷、γ-环氧丙氧基丙基乙基二甲氧基硅烷、γ-环氧丙氧基丙基乙基二乙氧基硅烷、3-氯丙基甲基二甲氧基硅烷、3-氯丙基甲基二乙氧基硅烷、环己基甲基二甲氧基硅烷、十八烷基甲基二甲氧基硅烷、四甲氧基硅烷、四乙氧基硅烷、硅酸甲酯、三氟甲基三甲氧基硅烷、三氟甲基三乙氧基硅烷、三氟丙基三甲氧基硅烷、三氟丙基三乙氧基硅烷、3-三甲氧基甲硅烷基丙酸、3-三乙氧基甲硅烷基丙酸、3-二甲基甲氧基甲硅烷基丙酸、3-二甲基乙氧基甲硅烷基丙酸、4-三甲氧基甲硅烷基丁酸、4-三乙氧基甲硅烷基丁酸、4-二甲基甲氧基甲硅烷基丁酸、4-二甲基乙氧基甲硅烷基丁酸、5-三甲氧基甲硅烷基戊酸、5-三乙氧基甲硅烷基戊酸、5-二甲基甲氧基甲硅烷基戊酸、5-二甲基乙氧基甲硅烷基戊酸、3-三甲氧基甲硅烷基丙基琥珀酸酐、3-三乙氧基甲硅烷基丙基琥珀酸酐、3-二甲基甲氧基甲硅烷基丙基琥珀酸酐、3-二甲基乙氧基甲硅烷基丙基琥珀酸酐、3-三甲氧基甲硅烷基丙基环己基二甲酸酐、3-三乙氧基甲硅烷基丙基环己基二甲酸酐、3-二甲基甲氧基甲硅烷基丙基环己基二甲酸酐、3-二甲基乙氧基甲硅烷基丙基环己基二甲酸酐、3-三甲氧基甲硅烷基丙基邻苯二甲酸酐、3-三乙氧基甲硅烷基丙基邻苯二甲酸酐、3-二甲基甲氧基甲硅烷基丙基邻苯二甲酸酐、3-二甲基乙氧基甲硅烷基丙基邻苯二甲酸酐、乙烯基三甲氧基硅烷、乙烯基三乙氧基硅烷、乙烯基甲基二甲氧基硅烷、乙烯基甲基二乙氧基硅烷、烯丙基三甲氧基硅烷、烯丙基三乙氧基硅烷、烯丙基甲基二甲氧基硅烷、烯丙基甲基二乙氧基硅烷、苯乙烯基三甲氧基硅烷、苯乙烯基三乙氧基硅烷、苯乙烯基甲基二甲氧基硅烷、苯乙烯基甲基二乙氧基硅烷、γ-丙烯酰基丙基三甲氧基硅烷、γ-丙烯酰基丙基三乙氧基硅烷、γ-甲基丙烯酰基丙基三甲氧基硅烷、γ-甲基丙烯酰基丙基三乙氧基硅烷、γ-甲基丙烯酰基丙基甲基二甲氧基硅烷、γ-甲基丙烯酰基丙基甲基二乙氧基硅烷、γ-丙烯酰基丙基甲基二甲氧基硅烷或γ-丙烯酰基丙基甲基二乙氧基硅烷。
有机硅烷化合物的水解反应条件适宜设定即可，优选的是，例如在溶剂中，经1～180分钟向有机硅烷化合物中添加酸催化剂及水，然后于室温～110℃反应1～180分钟。通过以这样的条件进行水解反应，可抑制剧烈的反应。反应温度优选为30～105℃。此外，水解反应优选在酸催化剂的存在下进行。作为酸催化剂，优选为包含甲酸、乙酸或磷酸的酸性水溶液。相对于水解反应时使用的全部有机硅烷化合物100重量份，这些酸催化剂的含量优选为0.1～5重量份。通过使酸催化剂的含量为上述范围，可容易地控制水解反应以使其必要且充分地进行。作为缩合反应的条件，优选的是，利用有机硅烷化合物的水解反应得到硅烷醇化合物，然后将反应液直接于50℃以上、溶剂的沸点以下加热1～100小时。此外，为了提高聚硅氧烷的聚合度，可进行再加热或添加碱催化剂。此外，根据需要，可在水解反应后利用加热及/或减压将适量的生成的醇等蒸馏、除去，之后添加任意溶剂。
以利用gpc测定的聚苯乙烯换算计，膜b中包含的聚硅氧烷树脂的重均分子量(mw)优选为1000～100000。通过使mw为上述范围，从而涂布特性及形成图案时的在显影液中的溶解性变得良好。
<无机氧化物粒子>
包含聚硅氧烷树脂的膜b含有无机氧化物粒子。通过含有无机氧化物粒子，可降低膜b的cte，通过将膜b形成于膜a的至少一面上，可降低树脂层叠体的cte。
无机氧化物粒子的数均粒径优选为1～200nm，为了得到透过率高的固化膜，更优选为1～70nm。此处，无机氧化物粒子的数均粒径可以按以下的方式算出。使用sem(扫描型电子显微镜)以一万倍的倍率对膜b表面进行观察，将粒子的图像传送至图像分析仪(例如，cambridgeinstrument制qtm900)。改变观察位置来获取数据，当总粒子数达到5000个以上时进行下述的数值处理，将由此求得的数均直径d作为平均粒径(直径)。
d＝∑di/n
此处，di为粒子的等效圆直径(具有与粒子截面积相同的面积的圆的直径)、n为个数。
作为无机氧化物的种类，可以例举各种无机氧化物，没有特别限制，但优选使用氧化硅(二氧化硅)、中空二氧化硅、氧化铝(aluminiumoxide)(氧化铝(alumina))、氧化钛、氧化锑、氧化锌、氧化锡、氧化锆等。其中，从分散于聚硅氧烷树脂中时的透明性、cte降低、价格、获得容易性的观点考虑，优选为二氧化硅。
这些无机氧化物可适宜选择使用1种或2种以上。添加的无机氧化物的形态没有特别限定，优选为粉末、溶胶等形态。
对于无机氧化物粒子而言，可以准备适宜的纳米粒子粉末，使用珠磨机等分散机将其粉碎或分散。作为市售品的纳米粒子粉末，例如，可举出rea200，ra200sh，ra200h(二氧化硅；日本aerosil公司制)、t-bto-020rf(钛酸钡；户田工业株式会社制)、uep-100(氧化锆；第一稀元素化学工业株式会社制)或str-100n(氧化钛；堺化学工业株式会社制)。此外，也可以以分散体的形式准备。作为二氧化硅粒子，可举出数均粒径12nm的ipa-st、mibk-st、数均粒径45nm的ipa-st-l、数均粒径100nm的ipa-st-zl、数均粒径15nm的pgm-st(以上为商品名，日产化学工业(株)制)、数均粒径12nm的“oscal(注册商标)”101、数均粒径60nm的“oscal”105、数均粒径120nm的“oscal”106、数均粒径5～80nm的“cataloid(注册商标)”-s(以上为商品名，触媒化成工业(株)制)、数均粒径16nm的“quartron(注册商标)”pl-2l-pgme、数均粒径17nm的“quartron”pl-2l-bl、“quartron”pl-2l-daa、数均粒径18～20nm的“quartron”pl-2l、gp-2l(以上为商品名，扶桑化学工业(株)制)、数均粒径100nm的二氧化硅(sio2)sg-so100(商品名，kcmcorporation(株)制)、数均粒径5～50nm的“reolosil(注册商标)”(商品名，(株)tokuyamacorporation制)等。此外，可举出数均粒径为60nm的作为中空二氧化硅粒子的“thrulya”4110。作为氧化硅-氧化钛粒子，例如，可举出“optolake”(注册商标)tr-502、“optolake”tr-503、“optolake”tr-504、“optolake”tr-513、“optolake”tr-520、“optolake”tr-527、“optolake”tr-528、“optolake”tr-529、“optolake”tr-544或“optolake”tr-550(均为日挥触媒化成工业(株)制)。作为氧化锆，例如，可举出biralzr-c20(平均粒径＝20nm；多木化学(株)制)、zsl-10a(平均粒径＝60-100nm；第一稀元素株式会社制)、nanouseoz-30m(平均粒径＝7nm；日产化学工业(株)制)、szr-m或szr-k(均为堺化学(株)制)或hxu-120jc(住友大阪cement(株)制)。
无机氧化物粒子的含量没有特别限定，优选在膜b中为20～80重量％的范围。此外，从耐裂纹性的观点考虑，更优选为20～65重量％。若含量为该范围，则可进一步抑制膜b的裂纹产生、进一步降低层叠体的cte。
<用于形成膜b的聚硅氧烷树脂组合物>
从易于控制膜厚的方面考虑，用于形成膜b的聚硅氧烷树脂组合物的固态成分浓度优选为5～35wt％。
聚硅氧烷树脂组合物可含有感光剂。通过使聚硅氧烷树脂组合物感光，可利用一次曝光及显影对包含膜a及b的树脂层叠体一并进行图案加工而得到。更具体而言，通过在膜a’(包含聚酰亚胺前体树脂的膜)上涂布用于形成膜b’的感光性聚硅氧烷树脂组合物，并进行曝光、显影及固化，从而可得到进行了图案加工的膜a及膜b。感光性树脂组合物为正型时，作为赋予感光性的成分，优选为二叠氮基醌化合物。二叠氮基醌化合物与碱溶性树脂的混合物可利用曝光及碱显影而形成正型。作为二叠氮基醌化合物，优选为二叠氮基萘醌磺酸与具有酚羟基的化合物通过酯键键合而成的化合物，可使用在该化合物的酚式羟基的邻位及对位各自独立地具有氢或下述通式(13)表示的取代基的化合物。
[化学式6]
r4～r6各自可相同或不同，表示碳原子数为1～10的烷基、羧基、苯基或取代苯基中的任一者，或者，可由r4与r5、r4与r6、或r5与r6形成环。
通式(13)表示的取代基中，r4～r6各自可相同或不同，表示碳原子数为1～10的取代或未取代烷基、羧基、苯基或取代苯基中的任一者。作为烷基，例如，可举出甲基、乙基、正丙基、异丙基、正丁基、异丁基、叔丁基、正己基、环己基、正庚基、正辛基、三氟甲基或2-羧基乙基。作为对苯基的氢进行取代的取代基，可举出羟基。此外，作为由r4与r5、r4与r6、或r5与r6形成的环，例如，可举出环戊烷环、环己烷环、金刚烷环或芴环。
酚式羟基的邻位及对位为除了氢或通式(13)表示的取代基以外的基团时，因热固化而发生氧化分解，形成以醌式结构为代表的共轭系化合物，固化膜着色，从而无色透明性降低。需要说明的是，二叠氮基醌化合物可利用具有酚式羟基的化合物与二叠氮基萘醌磺酰氯的已知的酯化反应而合成。
作为具有酚式羟基的化合物，例如，可举出以下的化合物(本州化学工业(株)制)。
[化学式7]
[化学式8]
作为二叠氮基萘醌磺酸，例如，可举出二叠氮基萘醌-4-磺酸或二叠氮基萘醌-5-磺酸。二叠氮基萘醌-4-磺酸酯化合物在i线(波长365nm)区域具有吸收，因此适用于i线曝光。此外，二叠氮基萘醌-5-磺酸酯化合物在宽范围的波长区域存在吸收，因此适用于宽范围的波长的曝光。优选根据曝光的波长适当选择二叠氮基萘醌-4-磺酸酯化合物或二叠氮基萘醌-5-磺酸酯化合物。也可混合使用二叠氮基萘醌-4-磺酸酯化合物与二叠氮基萘醌-5-磺酸酯化合物。
二叠氮基萘醌化合物的分子量优选为300～1500、更优选为350～1200。若二叠氮基萘醌化合物的分子量大于1500，则以4～10重量％的添加量可能无法形成图案。另一方面，若二叠氮基萘醌化合物的分子量小于300，则无色透明性可能降低。
感光性聚硅氧烷组合物为负型时，作为赋予感光性的成分，优选为光聚合引发剂及多官能单体。
对于作为赋予感光性的成分的光聚合引发剂而言，优选为利用光(包含紫外线及电子束)进行分解及/或反应并产生自由基的光聚合引发剂。作为利用光进行分解及/或反应并产生自由基的光聚合引发剂，例如，可举出2-甲基-[4-(甲硫基)苯基]-2-吗啉基-1-丙酮、2-二甲基氨基-2-(4-甲基苄基)-1-(4-吗啉-4-基-苯基)-1-丁酮、2-苄基-2-二甲基氨基-1-(4-吗啉基苯基)-丁酮-1、2，4，6-三甲基苯甲酰基苯基氧化膦、双(2，4，6-三甲基苯甲酰基)-苯基氧化膦、双(2，6-二甲氧基苯甲酰基)-(2，4，4-三甲基戊基)-氧化膦、1-苯基-1，2-丙二酮-2-(o-乙氧基羰基)肟、1，2-辛二酮，1-[4-(苯基硫)-2-(o-苯甲酰肟)]、1-苯基-1，2-丁二酮-2-(o-甲氧基羰基)肟、1，3-二苯基丙三酮-2-(o-乙氧基羰基)肟、1-[9-乙基-6-(2-甲基苯甲酰基)-9h-咔唑-3-基]乙酮-1-(o-乙酰肟)、4，4-双(二甲基氨基)二苯甲酮、4，4-双(二乙基氨基)二苯甲酮、对二甲基氨基苯甲酸乙酯、2-乙基己基-对二甲基氨基苯甲酸酯、对二乙基氨基苯甲酸乙酯、二乙氧基苯乙酮、2-羟基-2-甲基-1-苯基-1-丙酮、苄基二甲基缩酮、1-(4-异丙基苯基)-2-羟基-2-甲基-1-丙酮、4-(2-羟基乙氧基)苯基-(2-羟基-2-丙基)酮、1-羟基环己基-苯基酮、苯偶姻、苯偶姻甲基醚、苯偶姻乙基醚、苯偶姻异丙基醚、苯偶姻异丁基醚、二苯甲酮、邻苯甲酰基苯甲酸甲酯、4-苯基二苯甲酮、4，4-二氯二苯甲酮、羟基二苯甲酮、4-苯甲酰基-4’-甲基-二苯基硫醚、烷基化二苯甲酮、3，3’，4，4’-四(叔丁基过氧化羰基)二苯甲酮、4-苯甲酰基-n，n-二甲基-n-[2-(1-氧代-2-丙烯氧基)乙基]苯甲基溴化铵、(4-苯甲酰基苄基)三甲基氯化铵、2-羟基-3-(4-苯甲酰基苯氧基)-n，n，n-三甲基-1-丙烯氯化铵一水合物、2-异丙基噻吨酮、2，4-二甲基噻吨酮、2，4-二乙基噻吨酮、2，4-二氯噻吨酮、2-羟基-3-(3，4-二甲基-9-氧代-9h-噻吨-2-基氧基)-n，n，n-三甲基-1-丙基氯化铵、2，2’-双(邻氯苯基)-4，5，4’，5’-四苯基-1，2-双咪唑、10-丁基-2-氯吖啶酮、2-乙基蒽醌、联苯甲酰(benzil)、9，10-菲醌、莰醌、甲基苯基乙醛酸酯、η5-环戊二烯基-η6-枯烯基-铁(1+)-六氟磷酸盐(1-)、二苯基硫醚衍生物、双(η5-2，4-环戊二烯-1-基)-双(2，6-二氟-3-(1h-吡咯-1-基)-苯基)钛、噻吨酮、2-甲基噻吨酮、2-氯噻吨酮、4-苯甲酰基-4-甲基苯基酮、二苄基酮、芴酮、2，3-二乙氧基苯乙酮、2，2-二甲氧基-2-苯基-2-苯基苯乙酮、2-羟基-2-甲基苯丙酮、对叔丁基二氯苯乙酮、苄基甲氧基乙基缩醛、蒽醌、2-叔丁基蒽醌、2-氨基蒽醌、β-氯蒽醌、蒽酮、苯并蒽酮、二苯并环庚酮、亚甲基蒽酮、4-叠氮基亚苄基苯乙酮、2，6-双(4-叠氮基亚苄基)环己烷、2，6-二[(4-叠氮基亚苄基]-4-甲基-环己酮、萘磺酰氯、喹啉磺酰氯、n-苯基硫代吖啶酮、苯并噻唑二硫醚、三苯基膦、四溴化碳、三溴苯砜、过氧化苯甲酰、或者曙红或亚甲基蓝等光还原性色素与抗坏血酸或三乙醇胺等还原剂的组合。此外，可含有2种以上的这些光聚合引发剂。为了进一步提高固化膜的固化性，优选为α-氨基烷基苯酮化合物、酰基氧化膦化合物、肟酯化合物、具有氨基的二苯甲酮化合物或具有氨基的苯甲酸酯化合物。
作为α-氨基烷基苯酮化合物，例如，可举出2-甲基-[4-(甲硫基)苯基]-2-吗啉基-1-丙酮、2-二甲基氨基-2-(4-甲基苄基)-1-(4-吗啉-4-基-苯基)-1-丁酮或2-苄基-2-二甲基氨基-1-(4-吗啉基苯基)-1-丁酮。作为酰基氧化膦化合物，例如，可举出2，4，6-三甲基苯甲酰基苯基氧化膦、双(2，4，6-三甲基苯甲酰基)-苯基氧化膦或双(2，6-二甲氧基苯甲酰基)-(2，4，4-三甲基戊基)-氧化膦。作为肟酯化合物，例如，可举出1-苯基-1，2-丙二酮-2-(o-乙氧基羰基)肟、1，2-辛二酮，1-[4-(苯基硫)-2-(o-苯甲酰肟)]、1-苯基-1，2-丁二酮-2-(o-甲氧基羰基)肟、1，3-二苯基丙三酮-2-(o-乙氧基羰基)肟或1-[9-乙基-6-(2-甲基苯甲酰基)-9h-咔唑-3-基]乙酮-1-(o-乙酰肟)。作为具有氨基的二苯甲酮化合物，例如，可举出4，4-双(二甲基氨基)二苯甲酮或4，4-双(二乙基氨基)二苯甲酮等。作为具有氨基的苯甲酸酯化合物，例如，可举出对二甲基氨基苯甲酸乙酯、2-乙基己基-4-二甲基氨基苯甲酸酯或对二乙基氨基苯甲酸乙酯。
关于作为赋予感光性的成分的多官能单体，例如，可举出二乙二醇二丙烯酸酯、三乙二醇二丙烯酸酯、四乙二醇二丙烯酸酯、二乙二醇二甲基丙烯酸酯、三乙二醇二甲基丙烯酸酯、四乙二醇二甲基丙烯酸酯、三羟甲基丙烷二丙烯酸酯、三羟甲基丙烷三丙烯酸酯、三羟甲基丙烷二甲基丙烯酸酯、三羟甲基丙烷三甲基丙烯酸酯、1，3-丁二醇二丙烯酸酯、1，3-丁二醇二甲基丙烯酸酯、新戊二醇二丙烯酸酯、1，4-丁二醇二丙烯酸酯、1，4-丁二醇二甲基丙烯酸酯、1，6-己二醇二丙烯酸酯、1，9-壬二醇二甲基丙烯酸酯、1，10-癸二醇二甲基丙烯酸酯、三环癸烷二甲醇二丙烯酸酯、季戊四醇三丙烯酸酯、季戊四醇四丙烯酸酯、季戊四醇三甲基丙烯酸酯、季戊四醇四甲基丙烯酸酯、二季戊四醇五丙烯酸酯、二季戊四醇六丙烯酸酯、三季戊四醇七丙烯酸酯、三季戊四醇八丙烯酸酯、四季戊四醇九丙烯酸酯、四季戊四醇十丙烯酸酯、五季戊四醇十一丙烯酸酯、五季戊四醇十二丙烯酸酯、三季戊四醇七甲基丙烯酸酯、三季戊四醇八甲基丙烯酸酯、四季戊四醇九甲基丙烯酸酯、四季戊四醇十甲基丙烯酸酯、五季戊四醇十一甲基丙烯酸酯、五季戊四醇十二甲基丙烯酸酯、三环癸烷二甲醇二丙烯酸酯、乙氧基化双酚a二丙烯酸酯、9，9-双[4-(2-丙烯酰基氧基乙氧基)苯基]芴、9，9-双[4-(2-甲基丙烯酰基氧基乙氧基)苯基]芴、9，9-双[4-(2-甲基丙烯酰基氧基乙氧基)-3-甲基苯基]芴、(2-丙烯酰基氧基丙氧基)-3-甲基苯基]芴、9，9-双[4-(2-丙烯酰基氧基乙氧基)-3、5-二甲基苯基]芴或9，9-双[4-(2-甲基丙烯酰基氧基乙氧基)-3、5-二甲基苯基]芴，但从提高敏感度的观点考虑，优选为季戊四醇四丙烯酸酯、二季戊四醇五丙烯酸酯、二季戊四醇六丙烯酸酯、三季戊四醇七丙烯酸酯或三季戊四醇八丙烯酸酯，从提高疏水性的观点考虑，优选为三环癸烷二甲醇二丙烯酸酯、三环癸烷二甲醇二甲基丙烯酸酯、乙氧基化双酚a二丙烯酸酯或9，9-双[4-(2-丙烯酰基氧基乙氧基)苯基]芴。
作为其他多官能单体，例如，可举出将多官能环氧化合物与(甲基)丙烯酸反应而得到的环氧(甲基)丙烯酸酯。作为多官能环氧化合物，例如，可举出以下的化合物。
[化学式9]
[化学式10]
本发明中使用的膜b的3％重量减少温度(td3)优选为300℃以上。由此，脱气被抑制，例如在本发明的树脂层叠体上形成气体阻隔膜时，由脱气导致的气体阻隔膜上的裂纹的产生被抑制，显示器的显示性能提高。此处，所谓的3％重量减少温度(td3)是指，在第1阶段，以3.5℃/min的升温速率升温至150℃，除去试样的吸附水，在第2阶段，以10℃/min的降温速率冷却至40℃，测定冷却至40度时的重量，相对于该重量，在第3阶段以10℃/min的升温速率实施本测定时重量减少了3％时的温度。
<膜b的透过色度坐标>
膜b的树脂层的透过色度坐标优选在0.300≤x≤0.325及0.305≤y≤0.325的范围内。由此，可使透过树脂层叠体而被视认的透过光成为近似于白色的色调。该透过色度坐标更优选在0.300≤x≤0.310及0.305≤y≤0.315的范围内。此处，“透过色度坐标”是指，在c光源、2度视野下测得的cie1931表色系统中的透过色度的坐标。
<着色剂>
对于膜b的树脂层而言，为了使其透过色度坐标成为上述范围，优选含有着色剂。作为着色剂，例如，可举出有机颜料、无机颜料或染料，为了调节透过光的色调，优选为蓝色颜料、蓝色染料、紫色颜料或紫色染料。
作为蓝色颜料，例如，可举出c.i.颜料蓝1、1：2、9、14、15、15：1、15：2、15：3、15：4、15：6、16、17、19、25、27、28、29、33、35、36、56、56：1、60、61、61：1、62、63、66、67、68、71、72、73、74、75、76、78或79，优选为c.i.颜料蓝15、15：1、15：2、15：3、15：4、15：6或60，更优选为c.i.颜料蓝15：6。
作为紫色颜料，例如，可举出c.i.颜料紫1、1：1、2、2：2、3、3：1、3：3、5、5：1、14、15、16、19、23、25、27、29、31、32、37、39、42、44、47、49或50，优选为c.i.颜料紫19或23，更优选为c.i.颜料紫23。
根据需要，可对这些颜料进行松香处理、酸性基团处理或碱性处理等表面处理，也可添加颜料衍生物作为分散剂。
作为染料的形态，可举出具有油溶性染料、酸性染料、直接染料、碱性染料、媒染染料、或酸性媒染染料等各种染料的任意形态的染料。此外，也可为将所述染料色淀化而使用的情况、染料与含氮化合物的成盐化合物等形态。
作为染料，只要为通常被称作染料的物质则没有特别限制，其中，可优选使用三苯基甲烷系染料、二苯基甲烷系染料、喹啉系染料、噻嗪系染料、噻唑系染料、呫吨系染料、黄素系染料、金胺(auramine)系染料、藏红系染料、荧光桃红系染料、亚甲基蓝系染料、若丹明系染料等。具体而言，可举出c.i.溶剂蓝2、3、4、5、7、18、25、26、35、36、37、38、43、44、45、48、51、58、59、59：1、63、64、67、68、69、70、78、79、83、94、97、98、100、101、102、104、105、111、112、122、124、128、129、132、136、137、138、139、143；c.i.酸性蓝22、25、40、78、92、113、129、167、230；c.i.碱性蓝3、7、9、17、41、66；c.i.溶剂紫2、8、9、11、13、14、21、21：1、26、31、36、37、38、45、46、47、48、49、50、51、55、56、57、58、59、60、61；c.i.酸性红52、87、91、92、94、289等。
在为碱性染料的形态的情况下，优选为使用有机酸或高氯酸进行成盐而得到的成盐化合物。作为有机酸，优选为有机磺酸、有机羧酸。其中，从耐性(tolerance)方面考虑，优选为吐氏酸等萘磺酸、高氯酸。
此外，在为酸性染料、直接染料的形态的情况下，从耐性方面考虑，使用季铵盐化合物、叔胺化合物、仲胺化合物、伯胺化合物等、及具有这些官能团的树脂成分进行成盐而得到的成盐化合物、或者进行磺酰胺化而形成磺酰胺化合物的成盐化合物是优选的。
这些着色剂可单独使用，但为了容易地使透过光接近白色，优选组合2种以上来使用。作为着色剂的组合，例如，选自由c.i.颜料蓝15：6、c.i.颜料紫23、c.i酸性红289组成的组中的着色剂的组合是优选的。
对于膜b而言，为了更精确地调节透过色调，除了这些蓝色颜料、蓝色染料、紫色颜料或紫色染料以外，还可含有其他颜料或染料。作为其他颜料，例如，可举出红色颜料、绿色颜料、黄色颜料或橙色颜料。
从容易调节色调方面考虑，相对于固态成分，着色剂在膜b中所占的比例优选为0.0001～10重量％，更优选为0.001～1重量％。
在膜b中，优选包含颜料衍生物或高分子分散剂作为分散剂。
<树脂层叠体的制作>
本发明的树脂层叠体的制作方法没有特别限定，优选包括以下的工序。
工序(1)，将包含聚酰亚胺前体树脂的树脂溶液涂布于支承基板上，从而得到膜a’。
工序(2)，将聚硅氧烷树脂组合物涂布于所述膜a’上，从而得到膜b’。
工序(3)，分别对所述膜a’和所述膜b’进行加热，从而得到树脂层叠体。
对各工序进行说明。首先，工序(1)中，作为支承基板，没有特别限制，可使用无碱玻璃、硅晶片、陶瓷类、砷化镓、钠钙玻璃等。
对于涂布方法而言，例如，有狭缝式涂布法、旋涂法、喷涂法、辊涂法、棒涂法等方法，也可组合这些方法来涂布。
接着，通过干燥将所述树脂清漆中的溶剂除去。干燥使用加热板、干燥箱、红外线、真空室等。在使用加热板的情况下，可在板上直接加热，或者在设置于板上的固定销等夹具上保持被加热体并进行加热。作为固定销的材质，有铝或不锈钢等金属材料、或者聚酰亚胺树脂或“teflon(注册商标)”等合成树脂，可以使用任意材质的固定销。固定销的高度根据基板的尺寸、作为被加热体的树脂层的种类、加热的目的等而各异，例如，对涂布于300mm×350mm×0.7mm的玻璃基板上的树脂层进行加热时，固定销的高度优选为2～12mm左右。
其中，优选的是，使用真空室进行真空干燥，进一步优选的是，在真空干燥后进一步进行用于干燥的加热、或者在真空干燥的同时进行用于干燥的加热。由此，可缩短干燥处理时间，进而能够得到均匀的涂布膜。用于干燥的加热温度根据被加热体的种类、目的而各异，优选于室温至170℃的范围进行1分钟至数小时。所谓室温，通常为20～30℃，优选为25℃。进而，干燥工序可于同一条件、或不同的条件进行多次。按照上述方式形成膜a’。
接着，在工序(2)中，利用与上述膜a’同样的方法，将聚硅氧烷树脂组合物涂布于膜a’上，并进行干燥工序，由此可在膜a’上形成膜b’。
接下来，在工序(3)中，于180℃以上且500℃以下的范围对所述树脂涂膜进行加热，得到包含膜a及膜b的树脂层叠体。需要说明的是，可在上述干燥工序之后经过某些工序，然后再进行加热工序。
加热工序的气氛没有特别限定，可以为空气，也可以为氮气或氩等非活性气体。但是，若在氧浓度高的气氛中进行加热，则由氧化劣化而导致膜a及膜b变脆等，机械特性下降。为了抑制这样的机械特性的下降，优选在氧浓度为5％以下的气氛中加热而进行热固化。另一方面，通常在制造场所难以将氧浓度控制在ppm级。本发明的树脂膜只要加热时的氧浓度为5％以下即能保持更高的机械特性，故优选。
需要说明的是，在用于形成膜b’的树脂组合物为感光性树脂组合物、并在形成涂布膜b’后实施图案化的情况下，可在得到膜b’的工序后追加对膜b’进行曝光及显影的工序。使用步进机、镜像投影掩模对准器(mpa)、平行光掩模对准器(pla)等曝光机，隔着或不隔着期望的掩模照射10mj/m2以上且1000mj/m2以下(换算为波长365nm处的曝光量)的光。对光源没有限制，可使用i线、g线、h线等紫外线、krf(波长248nm)激光、arf(波长193nm)激光等。
接下来，利用显影将未曝光部、或曝光部溶解，由此可形成图案。作为显影方法，优选利用喷淋、浸渍、浆法搅拌(paddle)等方法在显影液中浸渍5秒以上且10分钟以内。
作为显影液，可使用已知的碱性显影液。作为具体例，可举出含有碱金属的氢氧化物、碳酸盐、磷酸盐、硅酸盐、硼酸盐等无机碱、2-二甲基氨基乙醇、单乙醇胺、二乙醇胺等胺类、四甲基氢氧化铵、胆碱等季铵盐中的1种或2种以上的水溶液等。显影之后，优选用水进行漂洗，接着，可于50℃以上且150℃以下的范围进行烘干。
上述的包含含有聚酰亚胺树脂的膜a及含有聚硅氧烷树脂的膜b的层叠体可经过以下所述的2阶段的制膜工艺而制作。首先，将包含聚酰亚胺前体树脂的树脂溶液涂布于支承基板上(工序(1))，然后进行加热(工序(3))，形成膜a。之后，将聚硅氧烷树脂组合物涂布于膜a上(工序(2))，与第1层同样地进行加热(工序(3))。
上述的树脂层叠体被用作可适用于滤色片、有机el元件、片上型的基板、封装树脂、触摸屏、电路基板、液晶面板、pdp、电子纸、透视显示器等的显示器用支承基板。
本发明的树脂层叠体的线性热膨胀系数(cte)优选为40ppm/℃以下。由此，不仅能够降低制作滤色片时的bm位置偏移量，而且在本树脂层叠体上形成气体阻隔层时，能够抑制在气体阻隔层中产生裂纹，能够提高显示器的显示性能。线膨胀系数(cte)更优选为35ppm/℃以下。
此处所谓的线膨胀系数是指，在第1阶段以5℃/min的升温速率升温至150℃，除去试样的吸附水，在第2阶段以5℃/min的降温速率空气冷却至室温，在第3阶段以5℃/min的升温速率进行本测定，根据50～200℃的线膨胀系数的平均值而求得的值。
<滤色片>
将树脂层叠体用于滤色片用途时，在膜b上至少具备黑色矩阵及着色像素来制成滤色片。将树脂层叠体用于有机el元件时，在膜b上至少具备tft、电极及有机层来制成有机el元件。它们均可在膜a侧具备支承基板。
除了上述工序(1)～(3)以外，利用了本发明的显示器用支承基板的滤色片可进一步经过下述的工序来制造。
工序(4)，在所述树脂层叠体上形成黑色矩阵。
工序(5)，在所述树脂层叠体上形成着色像素。
工序(6)，将所述树脂层叠体从支承基板剥离。
黑色矩阵优选为将黑色颜料分散于树脂中而得到的树脂黑色矩阵。作为黑色颜料的例子，可举出碳黑、钛黑、氧化钛、氮氧化钛、氮化钛或四氧化铁。特别优选为碳黑、钛黑。此外，也可将红颜料、绿颜料、蓝颜料混合而用作黑色颜料。
作为树脂黑色矩阵中使用的树脂，优选为聚酰亚胺树脂，这是因为聚酰亚胺树脂容易形成精细的图案。对于聚酰亚胺树脂而言，在图案加工后将由酸酐与二胺合成的聚酰胺酸进行热固化而制成聚酰亚胺树脂是优选的。
作为酸酐、二胺及溶剂的例子，可使用上述的聚酰亚胺树脂中列举的物质。
作为树脂黑色矩阵中使用的树脂，也优选感光性丙烯酸树脂。使用其的树脂黑色矩阵包含分散有黑色颜料的、碱溶性的丙烯酸树脂、光聚合性单体及高分子分散剂及添加剂。
作为碱溶性树脂的例子，可举出不饱和羧酸与烯键式不饱和化合物的共聚物。作为不饱和羧酸的例子，可举出丙烯酸、甲基丙烯酸、衣康酸、丁烯酸、马来酸、富马酸、乙烯基乙酸或酸酐。
作为光聚合性单体的例子，可举出三羟甲基丙烷三(甲基)丙烯酸酯、季戊四醇三(甲基)丙烯酸酯、1，3，5-三丙烯酰基六氢-1，3，5-三嗪(triacrylformal)、季戊四醇四(甲基)丙烯酸酯、二季戊四醇六(甲基)丙烯酸酯或二季戊四醇五(甲基)丙烯酸酯。
作为光聚合引发剂的例子，可举出二苯甲酮、n，n’-四乙基-4，4’-二氨基二苯甲酮、4-甲氧基-4’-二甲基氨基二苯甲酮、2，2-二乙氧基苯乙酮、α-羟基异丁基苯酮、噻吨酮或2-氯噻吨酮。
作为用于溶解感光性丙烯酸树脂的溶剂的例子，可举出丙二醇单甲醚乙酸酯、丙二醇单乙醚乙酸酯、乙酰乙酸乙酯、3-甲氧基丙酸甲酯、3-乙氧基丙酸乙酯、乙酸甲氧基丁酯或乙酸3-甲基-3-甲氧基丁酯。
利用旋涂机或模涂机等方法，以使得固化后的膜厚成为1μm的方式将包含分散有黑色颜料的聚酰胺酸的树脂黑色矩阵用黑色树脂组合物涂布于所述树脂膜上，减压至60pa以下进行干燥，然后利用110～140℃的热风干燥箱或加热板进行半固化(semicuring)。
利用旋涂机或模涂机等方法，以使得预烘烤后的膜厚成为1.2μm的方式涂布正型抗蚀剂，然后减压至80pa进行干燥，使用80～110℃的热风干燥箱或加热板进行预烘烤，从而形成抗蚀剂膜。然后，使用接近式曝光机或投影式曝光机等，隔着光掩模利用紫外线选择性地进行曝光，然后在1.5～3.0重量％的氢氧化钾或四甲基氢氧化铵等碱性显影液中浸渍20～300秒，由此将曝光部除去。使用剥离液将正型抗蚀剂剥离，然后利用200～300℃的热风干燥箱或加热板加热10～60分钟，由此将聚酰胺酸转化为聚酰亚胺，从而在所述树脂膜中形成分散有黑色颜料的树脂黑色矩阵。需要说明的是，在使用感光性树脂形成树脂黑色矩阵的情况下，可在不涂布正型抗蚀剂的情况下进行曝光、显影。
在形成树脂黑色矩阵后，再形成着色像素。着色像素通常由红、绿、蓝这3种颜色的着色像素形成。此外，除了形成这3种颜色的着色像素以外，还可形成无色透明或着色极薄的第4种颜色的像素，由此也能够提高显示装置的白色显示的明亮度。
滤色片的着色像素可使用包含颜料或染料作为着色剂的树脂。
作为用于红色的着色像素的颜料的例子，可举出pr254、pr149、pr166、pr177、pr209、py138、py150或pyp139，作为用于绿色的着色像素的颜料的例子，可举出pg7、pg36、pg58、pg37、pb16、py129、py138、py139、py150或py185，作为用于蓝色的着色像素的颜料的例子，可举出pb15：6或pv23。
作为蓝色染料的例子，可举出c.i.碱性蓝(bb)5、bb7、bb9或bb26，作为红色染料的例子，可举出c.i.酸性红(ar)51、ar87或ar289。
作为用于红绿蓝的着色像素的树脂的例子，可举出丙烯酸系树脂、环氧系树脂或聚酰亚胺系树脂，但优选为感光性丙烯酸系树脂，这是因为能够降低滤色片的制造成本。感光性丙烯酸系树脂通常含有碱溶性树脂、光聚合性单体及光聚合引发剂。
作为碱溶性树脂的例子，可举出不饱和羧酸与烯键式不饱和化合物的共聚物。作为不饱和羧酸的例子，可举出丙烯酸、甲基丙烯酸、衣康酸、丁烯酸、马来酸、富马酸、乙烯基乙酸或酸酐。
作为光聚合性单体的例子，可举出三羟甲基丙烷三(甲基)丙烯酸酯、季戊四醇三(甲基)丙烯酸酯、1，3，5-三丙烯酰基六氢-1，3，5-三嗪、季戊四醇四(甲基)丙烯酸酯、二季戊四醇六(甲基)丙烯酸酯或二季戊四醇五(甲基)丙烯酸酯。
作为光聚合引发剂的例子，可举出二苯甲酮、n，n’-四乙基-4，4’-二氨基二苯甲酮、4-甲氧基-4’-二甲基氨基二苯甲酮、2，2-二乙氧基苯乙酮、α-羟基异丁基苯酮、噻吨酮或2-氯噻吨酮。
作为用于溶解感光性丙烯酸系树脂的溶剂的例子，可举出丙二醇单甲醚乙酸酯、丙二醇单乙醚乙酸酯、乙酰乙酸乙酯、3-甲氧基丙酸甲酯、3-乙氧基丙酸乙酯、乙酸甲氧基丁酯或乙酸3-甲基-3-甲氧基丁酯。
滤色片的着色像素使用着色剂和树脂进行制作。在作为着色剂使用颜料的情况下，在颜料中混合高分子分散剂及溶剂并进行分散处理，然后添加碱溶性树脂、单体及光聚合引发剂等，从而进行制作。另一方面，在作为着色剂使用染料的情况下，在染料中添加溶剂、碱溶性树脂、单体及光聚合引发剂等，从而进行制作。该情况下的总固态成分为作为树脂成分的高分子分散剂、碱溶性树脂及单体和着色剂的总和。
利用旋涂机或模涂机等方法，以加热处理后的膜厚成为0.8～3.0μm的目标膜厚的方式将得到的着色剂组合物涂布于形成有树脂黑色矩阵的透明基板上，然后减压至80pa进行干燥，使用80～110℃的热风干燥箱或加热板进行预烘烤，从而形成着色剂的涂膜。
接下来，使用接近式曝光机或投影式曝光机等，隔着光掩模，利用紫外线等选择性地进行曝光。然后在0.02～1.0重量％的氢氧化钾水溶液或四甲基氢氧化铵水溶液等碱性显影液中浸渍20～300秒，由此将未曝光部除去。利用180～250℃的热风干燥箱或加热板将得到的涂膜图案加热处理5～40分钟，由此形成着色像素。使用按着色像素的每种颜色制作的着色剂组合物，按照红色的着色像素、绿色的着色像素及蓝色的着色像素的顺序依次进行上述那样的图案化工序。
可以在所述树脂膜与黑色矩阵/着色像素层之间形成上述的气体阻隔膜。
进而，可在所述滤色片上设置平坦化层。作为用于平坦化层的形成的树脂的例子，可举出环氧树脂、丙烯酸环氧树脂、丙烯酸树脂、硅氧烷树脂或聚酰亚胺树脂。作为平坦化层的膜厚，优选为使表面变为平坦的膜厚，更优选为0.5～5.0μm，进一步优选为1.0～3.0μm。
对于所述滤色片的剥离方法而言，在树脂层叠体的周围切入切口并进行剥离的方法是优选的。
经过上述的工序，可制造利用了所述显示器用支承基板的滤色片。需要说明的是，着色像素的图案化顺序没有特别限定。
<有机el元件>
除了经过上述工序(1)～(3)以外，使用了本发明的显示器用支承基板的有机el元件可进一步经过下述的工序来制造。
工序(4)，在所述树脂层叠体上形成有机el元件。
工序(5)，将所述树脂层叠体从支承基板剥离。
有机el元件的形成例如可如下所述地进行。首先，在上述的树脂层叠体的膜b上形成用于抑制水蒸气、氧气等气体透过的气体阻隔膜。作为优选的气体阻隔膜，例如，可举出：以选自由硅、铝、镁、锌、锆、钛、钇、及钽组成的组中的1种或2种以上的金属为主成分的金属氧化物；硅、铝、硼的金属氮化物或它们的混合物。其中，从气体阻隔性、透明性、表面平滑性、弯曲性、膜应力、成本等方面考虑，优选为以硅的氧化物、氮化物、或氮氧化物为主成分。
这样的气体阻隔膜可利用由气相中将材料沉积从而形成膜的气相沉积法来制作，例如，溅射法、真空蒸镀法、离子镀法、等离子体cvd法等。其中，从可得到特别优异的气体阻隔性的观点考虑，优选为溅射法。
此外，气体阻隔膜的厚度优选为10～300nm，进一步优选为30～200nm。为了获得高气体阻隔性，气体阻隔膜的制膜温度优选较高，优选为300℃以上，更优选为400℃以上，进一步优选为500℃以上。
在气体阻隔膜上形成tft。作为用于形成tft的半导体层，可举出非晶硅半导体、多晶硅半导体、以ingazno为代表的氧化物半导体、以并五苯、聚噻吩为代表的有机物半导体。例如，将本发明的层叠体作为基材，利用已知的方法依次形成气体阻隔膜、栅电极、栅极绝缘膜、多晶硅半导体层、蚀刻终止膜、源电极·漏电极，由此制作底栅型tft。
接下来，在tft上具备平坦化层。作为用于形成平坦化层的树脂的例子，可举出环氧树脂、丙烯酸环氧树脂、丙烯酸树脂、聚硅氧烷树脂或聚酰亚胺树脂。进而，在其上形成电极及有机层。具体而言，设置第一电极(其包含al/ito等)、白色有机el发光层，所述白色有机el发光层具有覆盖第一电极的端部的绝缘膜且包含空穴注入层、空穴传输层、发光层、电子传输层、电子注入层，再形成包含ito等的第二电极，并形成封固膜。在经过上述工序进行制作后，将树脂膜从支承基板剥离，由此可得到有机el元件。
此外，也可利用上述的方法，在按照上述方式得到的有机el元件上直接形成滤色片，由此制作片上型的基板。
<装置>
本发明的显示器用支承基板可用于液晶显示器、有机el显示器、电子纸、pdp显示器、led显示器、透视显示器等显示装置；滤色片、触摸屏、太阳能电池、cmos等光接收装置等。尤其是从将这些显示装置、光接收装置有效地用作可弯折的柔性装置方面考虑，优选使用本发明的显示器用支承基板。
作为柔性装置的制造工序的一个例子，可举出：在形成于基板上的树脂膜上形成显示装置、光接收装置所需的电路，按照上述方式切入切口并进行物理性剥离，从而将树脂层叠体从基板剥离。
对于本发明中制作的滤色片及有机el元件而言，因为将柔性的树脂层叠体作为基材，所以可制成柔性滤色片、柔性有机el元件。而且，可使用这些柔性滤色片、柔性有机el元件来制作柔性有机el显示器。例如，通过将发光装置贴合于利用了本发明的柔性基板的滤色片上，可得到全彩色显示的柔性显示装置。将利用了本发明的柔性基板的有机el元件与滤色片进行组合而得到的柔性有机el显示器是特别优选的。
实施例
以下举出实施例等对本发明进行说明，但本发明并不限于这些例子。
(1)树脂层叠体(玻璃基板上)的制作(透过率测定)
使用mikasa(株)制的旋涂机ms-a200，以使得于140℃预烘烤4分钟后的厚度成为表1中记载的厚度的方式，将聚酰亚胺前体树脂溶液旋涂于50mm×50mm×1.1mm厚的玻璃基板(tempax，浮法玻璃)上。然后，使用dainipponscreen(株)制加热板d-spin于140℃进行4分钟的预烘烤处理。接着，同样地使用mikasa(株)制的旋涂机ms-a200，以于100℃预烘烤2分钟后的厚度成为表1记载的厚度的方式旋涂聚硅氧烷树脂组合物。使用inertovens(光洋thermosystems(株)制inh-21cd)将预烘烤处理后的涂膜在氮气流下(氧浓度为20ppm以下)以3.5℃/min的速度升温至300℃，保持30分钟，然后以5℃/min的速度冷却至50℃，由此制作树脂层叠体(玻璃基板上)。
(2)耐热性树脂膜(硅基板上)的制作(双折射率测定)
使用mikasa(株)制的旋涂机ms-a200，以使得预烘烤后的膜厚为5±0.5μm的方式，将聚酰亚胺前体树脂或聚硅氧烷树脂组合物旋涂于切断成1/4的4英寸硅基板上。然后，使用dainipponscreen(株)制加热板d-spin进行预烘烤处理(聚酰亚胺前体树脂以140℃×4分钟的条件进行预烘烤、聚硅氧烷树脂组合物以100℃×2分钟的条件进行预烘烤。)。使用inertovens(光洋thermosystems株式会社制inh-21cd)将预烘烤膜在氮气流下(氧浓度20ppm以下)，以3.5℃/min的速度升温至300℃或350℃，保持30分钟，然后以5℃/min的速度冷却至50℃，由此制作耐热性树脂膜(硅基板上)。
(3)树脂层叠体的制作(tma测定)
使用tokyoelectron(株)制的涂布显影装置mark-7，以使得于140℃预烘烤4分钟后的厚度成为表1中记载的厚度的方式，将聚酰亚胺前体树脂溶液旋涂于6英寸硅基板上。然后，同样地使用mark-7的加热板于140℃进行4分钟的预烘烤处理。接着，使用mikasa(株)制的旋涂机ms-a200，以使得于100℃预烘烤2分钟后的厚度成为表1中记载的厚度的方式旋涂聚硅氧烷树脂组合物。使用inertovens(光洋thermosystems(株)制inh-21cd)将预烘烤处理后的涂膜在氮气流下(氧浓度20ppm以下)以3.5℃/min的速度升温至300℃，保持30分钟，并以5℃/min的速度冷却至50℃，由此制作树脂层叠体。接着，在得到的树脂层叠体的周围切入切口，在65℃的热水中浸渍1～4分钟，然后物理性拉拽，将树脂层叠体从基板剥离，并进行风干。
(4)光透过率(t)的测定
使用紫外可见分光光度计((株)岛津制作所制multispec1500)，对波长400nm处的光透过率进行测定。需要说明的是，测定中使用(1)中制作的玻璃基板上树脂层叠体。
(5)线性热膨胀系数(cte)的测定
使用热机械分析装置(siinanotechnology株式会社制exstar6000tma/ss6000)在氮气流下进行测定。升温方法按以下的条件进行。在第1阶段，以5℃/min的升温速率/min升温至150℃，除去试样的吸附水，在第2阶段，以5℃/min的降温速率/min空气冷却至室温。在第3阶段，以5℃/min的升温速率/min进行本测定，根据50～200℃的线膨胀系数的平均值求出线膨胀系数(cte)。需要说明的是，测定中使用(3)中制作的树脂层叠体，并按以下的评价方法进行判定。
优良(a)：35ppm/℃以下
良(b)：超过35ppm/℃且为40ppm/℃以下
不良(c)：超过40ppm/℃。
(6)双折射率的测定
使用棱镜耦合器(metricon公司制、pc2010)，对波长632.8nm的te折射率(n(te))及tm折射率(n(tm))进行测定。n(te)、n(tm)分别为与膜面平行、垂直的方向上的折射率。双折射率以n(te)与n(tm)之差(n(te)-n(tm))的形式进行计算，并将膜a的双折射率记为δna，将膜b的双折射率记为δnb。需要说明的是，测定中使用(2)中制作的树脂膜。
(7)3％重量减少温度(td3)的测定
削取(2)中制作的聚硅氧烷树脂膜，并将约15mg加入铝电解槽中，使用热重量测定装置(株式会社岛津制作所制tga-50)在氮气流下进行测定。升温方法按以下的条件进行。在第1阶段，以3.5℃/min的升温速率/min升温至150℃，除去试样的吸附水，在第2阶段，以10℃/min的降温速率/min冷却至40℃，在第3阶段以10℃/min的升温速率/min实施本测定，求出重量减少3％时的温度(td3)。
(8)色度的测定
使用大塚电子(株)制、显微分光光度计“mcpd-2000”，对形成于无碱玻璃(玻璃厚度0.7mm)上的膜b的xyz表色系统色度图中的透过色度坐标进行测定。
此外，制作在含有聚酰亚胺树脂的膜a上具有无碱玻璃(玻璃厚度为0.7mm)的树脂层叠体基板。使用大塚电子(株)制的显微分光光度计“mcpd-2000”对树脂层叠体基板的c光源(l*a*b*)色空间进行测定，并按以下的方式判定透过色调。
a(非常良好：◎)：a*、b*的值为0≤|a*|≤0.5且0≤|b*|≤1.0
b(良好：○)：a*、b*的值为0≤|a*|≤1.0且1.0<|b*|≤1.8
c(可：δ)：a*、b*的值为0≤|a*|≤1.5且1.8<|b*|≤2.5
d(不良：×)：a*、b*的值为|a*|>1.5或|b*|＞2.5。
(9)柔性滤色片的耐弯曲性评价
利用以下的方法对柔性滤色片的耐弯曲性进行测定。首先，以100mm×140mm的尺寸对从玻璃基板剥离的滤色片进行取样，在面上的中央部固定直径为30mm的金属圆柱，沿该圆柱以圆柱的抱角为0°(样品为平面的状态)的状态放置样品(参照图1)，并以对圆柱的抱角为180°(绕圆柱翻折的状态)的范围(参照图2)进行100次弯折动作。耐弯曲性以弯曲动作前后的膜b中有无裂纹产生为指标，在试验后使用光学显微镜(nikon(制)、optiphot300)对100片进行目视观察。
(10)黑色矩阵(bm)的位置精度的评价
使用smic-800(sokkiatopcon公司制)，按以下的方式对带玻璃基板的滤色片中的bm的偏离理想格子的偏移量进行测定。首先，使形成位置为玻璃基板上，除此之外，按照与实施例1[2]中记载的同样的方式在玻璃基板上制作bm图案。针对该bm图案的24个位置，对偏离理想格子的偏移量进行测定。接下来，针对各实施例及比较例中得到的滤色片中的bm图案的24个位置，对偏离理想格子的偏移量进行测定。其均通过对偏移量(其利用测定得到)的绝对值的平均值进行计算而求得，并将得到的值作为该水平中的bm的偏离理想格子的偏移量。对各实施例及比较例中的偏移量的值进行评价的同时，对在玻璃基板上制作bm图案的情形下与在树脂层叠体上制作bm图案的情形下偏移量有多大程度的不同进行评价，按以下的评价方法进行判定。
优良(a)：bm位置偏移量为1.8μm以下
良(b)：bm位置偏移量超过1.8μm且为2.4μm以下
不良(c)：bm位置偏移量超过2.4μm。
(11)发光效率的测定
对下述元件在1000cd/m2的亮度下的电流效率(cd/a)进行测定，所述元件为刚刚制作后的有机el元件、高温高湿试验后的有机el元件、及在弯曲试验后接着进行了高温高湿试验之后的有机el元件。所述弯曲试验是通过下述方式进行的：以100mm×140mm的尺寸对从玻璃基板剥离的有机el元件进行取样，在面上的中央部固定直径30mm的金属圆柱，沿该圆柱以圆柱的抱角为0°(样品为平面的状态)的状态设置样品(参照图1)，并以对圆柱的抱角为180°(绕圆柱翻折的状态)的范围(参照图2)进行100次弯折动作。此外，所述高温高湿试验是将从玻璃基板剥离的有机el元件放入至内温为85℃、湿度为85％的高温高湿槽中并保存24小时而进行的。
合成例1：透明聚酰亚胺前体树脂溶液(i)的合成
在干燥氮气流下，向200ml四颈瓶中加入16.66g(53.7mmol)4，4’-氧双邻苯二甲酸酐(odpa)、32.46g(53.7mmol)2，2-双[3-(3-氨基苯甲酰胺)-4-羟基苯基]六氟丙烷(hfha)、100g的n-甲基-2-吡咯烷酮，并于65℃进行加热搅拌。6小时后，进行冷却而制成透明聚酰亚胺前体树脂溶液(i)。
合成例2：透明聚酰亚胺前体树脂溶液(ii)的合成
在干燥氮气流下，向200ml四颈瓶中加入11.53g(39.2mmol)3，3’，4，4’-联苯四甲酸二酐(bpda)、1.92g(9.79mmol)1，2，3，4-环丁烷四甲酸二酐(cbda)、5.59g(49.0mmol)反式-1，4-二氨基环己烷(chda)、100g的n-甲基-2-吡咯烷酮，并于65℃进行加热搅拌。6小时后，进行冷却而制成透明聚酰亚胺前体树脂溶液(ii)。
合成例3：透明聚酰亚胺前体树脂溶液(iii)的合成
在干燥氮气流下，向200ml四颈瓶中加入7.90g(26.4mmol)3，3’，4，4’-联苯四甲酸二酐(bpda)、14.01g(26.4mmol)2，2-双(4-(3，4-二羧基苯氧基)苯基)丙烷二酐(bsaa)、6.1375g(53.7mmol)反式-1，4-二氨基环己烷(chda)、100g的n-甲基-2-吡咯烷酮，并于65℃进行加热搅拌。6小时后，进行冷却而制成透明聚酰亚胺前体树脂溶液(iii)。
合成例4：透明聚酰亚胺前体树脂溶液(iv)的合成
在干燥氮气流下，向200ml四颈瓶中加入13.72g(46.6mmol)3，3’，4，4’-联苯四甲酸二酐(bpda)、5.33g(46.6mmol)反式-1，4-二氨基环己烷(chda)、100g的n-甲基-2-吡咯烷酮，并于65℃进行加热搅拌。6小时后，进行冷却而制成透明聚酰亚胺前体树脂溶液(iv)。
合成例5：透明聚酰亚胺前体树脂溶液(v)的合成
在干燥氮气流下，向200ml四颈瓶中加入7.23g(36.9mmol)1，2，3，4-环丁烷四甲酸二酐(cbda)、11.81g(36.9mmol)2，2’-双(三氟甲基)联苯胺(tfmb)、100g的n-甲基-2-吡咯烷酮，并于65℃进行加热搅拌。6小时后，进行冷却而制成透明聚酰亚胺前体树脂溶液(v)。
合成例6：透明聚酰亚胺前体树脂溶液(vi)的合成
在干燥氮气流下，向200ml四颈瓶中加入12.04g(53.7mmol)1，2，4，5-环己烷四甲酸二酐(pmda-hs)、32.46g(53.7mmol)2，2-双[3-(3-氨基苯甲酰胺)-4-羟基苯基]六氟丙烷(hfha)、100g的n-甲基-2-吡咯烷酮，并于65℃进行加热搅拌。6小时后，进行冷却而制成透明聚酰亚胺前体树脂溶液(vi)。
合成例7：聚酰亚胺前体树脂溶液(vii)的合成
在干燥氮气流下，向200ml四颈瓶中加入7.03g(32.2mmol)均苯四甲酸酐(pmda)、6.32g(21.5mmol)4，4’-二邻苯二甲酸酐(bpda)、5.81g(53.7mmol)1，4-苯二胺(pda)、100g的n-甲基-2-吡咯烷酮，并于65℃进行加热搅拌。6小时后，进行冷却而制成聚酰亚胺前体树脂溶液(vii)。
合成例8：聚酰亚胺前体树脂溶液(viii)的合成
在干燥氮气流下，向200ml四颈瓶中加入10.21g(34.7mmol)4，4’-二邻苯二甲酸酐(bpda)、1.59g(13.9mmol)反式-1，4-二氨基环己烷(chda)、7.26g(20.8mmol)9，9-双(4-氨基苯基)芴(fda)、100g的n-甲基-2-吡咯烷酮，并于65℃进行加热搅拌。6小时后，进行冷却而制成聚酰亚胺前体树脂溶液(viii)。
合成例9：聚酰亚胺前体树脂溶液(ix)的合成
在干燥氮气流下，将60.07g(300.0mmol)4，4’-二氨基苯基醚(oda)、70.33g(650.4mmol)1，4-苯二胺(pda)及12.43g(50.0mmol)1，3-双(3-氨基丙基)四甲基二硅氧烷、与850g的γ-丁内酯及850g的n-甲基-2-吡咯烷酮一并装入，并添加309.43g(997.5mmol)3，3’，4，4’-氧代双邻苯二甲酸二酐(odpa)，于80℃反应3小时。添加1.96g(20.0mmol)马来酸酐，进而于80℃反应1小时，得到聚酰亚胺前体树脂溶液(ix)。
合成例10：聚硅氧烷树脂溶液(i)的合成
向500ml的三口烧瓶中装入46.05g(0.34mol)甲基三甲氧基硅烷、83.79g(0.42mol)苯基三甲氧基硅烷、20.82g(0.08mol)(2-(3，4-环氧环己基)乙基三甲氧基硅烷、151.68g丙二醇单甲醚乙酸酯(pgmea)、15.17g甲醇，并于室温搅拌的同时，利用滴液漏斗经10分钟添加使0.45g(相对于装入的单体为0.3重量％)磷酸溶解于47.21g(水解需要的理论量)水中而得的的磷酸水溶液。然后，将烧瓶浸渍于40℃的油浴中并搅拌30分钟，然后经30分钟将油浴升温至115℃。升温开始1小时后，溶液的内温达到100℃，此时开始加热搅拌2小时(内温为100～110℃)，由此得到聚硅氧烷溶液(i)。需要说明的是，加热搅拌中，使氮气以0.051(升)/min流动。在反应中，蒸馏出溶剂及作为副产物的甲醇、水总计105g。以聚合物浓度成为40wt％的方式，向得到的聚硅氧烷的pgmea溶液中添加pgmea，由此得到聚硅氧烷溶液(i)(mw＝5500(聚苯乙烯换算))。固态成分浓度是如下求出的：在铝杯中秤取1g聚硅氧烷树脂溶液，使用加热板于250℃加热30分钟，从而使液态成分蒸发，并对加热后的铝杯中残留的固态成分进行称量。此外，重均分子量是使用gpc(waters公司制410型ri检测器、流动相：四氢呋喃)并以聚苯乙烯换算而求得的。
合成例11：聚硅氧烷树脂溶液(ii)的合成
向500ml的烧瓶中放入47.67g(0.35mol)的甲基三甲氧基硅烷、39.66g(0.20mol)的苯基三甲氧基硅烷、82.04g(0.35mol)的γ-丙烯酰基丙基三甲氧基硅烷、26.23g(0.1mol)的3-三甲氧基甲硅烷基丙基琥珀酸酐及195.6g的二丙酮醇(daa)，将其浸渍于40℃的油浴中，搅拌的同时用滴液漏斗经10分钟添加使0.39g的磷酸(相对于装入单体为0.2重量份)溶解于55.8g的水(水解所需的理论量)而得的磷酸水溶液。于40℃搅拌1小时，然后将油浴温度设定为70℃并搅拌1小时，进而经30分钟将油浴升温至115℃。升温开始1小时后，溶液的内温达到100℃，此时开始加热搅拌2小时(内温为100～110℃)。在反应中，蒸馏出作为副产物的甲醇、水总计127g。以聚合物浓度成为40wt％的方式，向得到的聚硅氧烷树脂的daa溶液中加入daa，由此得到聚硅氧烷树脂溶液(ii)(mw＝4500(聚苯乙烯换算))。
制备例1：聚硅氧烷树脂组合物1的制备
将7.42g合成例10中得到的聚硅氧烷溶液(i)、2.66g作为无机氧化物粒子的pma-st(日产化学工业(株)制；二氧化硅丙二醇单甲醚乙酸酯分散液；固态成分浓度＝30wt％)、0.01g作为匀涂剂的megafacef-477(dic制)、4.94g作为溶剂的pgmea、4.80g二乙二醇乙基甲基醚(edm)混合、搅拌而制成均匀溶液，然后利用0.45μm的过滤器进行过滤，由此制备二氧化硅粒子在清漆固态成分中的含有率为20wt％的聚硅氧烷树脂组合物1。
制备例2：聚硅氧烷树脂组合物2的制备
在黄色灯下，加入1.995g的pma-st(日产化学工业(株)制；二氧化硅丙二醇单甲醚乙酸酯分散液；固态成分浓度＝30wt％)、0.0898g的irgacureoxe-02及0.0299g的氢醌甲基醚(hqme)，使其溶解于6.00g的daa及1.44g的pgmea中并搅拌。向其中分别添加1.257g二季戊四醇六丙烯酸酯(dpha)的50wt％pgmea溶液、4.115g聚硅氧烷溶液(ii)、0.075gbyk-333的pgmea1wt％溶液并搅拌。接下来，使用0.45μm的过滤器进行过滤，由此制备二氧化硅粒子在清漆固态成分中的含有率为20wt％的负型感光性的聚硅氧烷树脂组合物2。
制备例3：在黄色灯下，加入1.995g的pma-st(日产化学工业(株)制；二氧化硅丙二醇单甲醚乙酸酯分散液；固态成分浓度＝30wt％)、0.1197g的irgacureoxe-02及0.0299g的氢醌甲基醚(hqme)，使其溶解于6.00g的daa及2.38g的pgmea中并搅拌。向其中分别加入0.599g二季戊四醇六丙烯酸酯(dpha)的50wt％pgmea溶液、2.24g聚硅氧烷溶液(ii)、1.018g环氧酯3002a(共荣社(株)制)的50％pgmea溶液、0.539gm-510(东亚合成(株)制)的50wt％pgmea溶液、0.075gbyk-333的1wt％pgmea溶液并搅拌。接下来，使用0.45μm的过滤器进行过滤，由此制备二氧化硅粒子在清漆固态成分中的含有率为20wt％的负型感光性的聚硅氧烷树脂组合物3。
制备例4：用于形成黑色矩阵的黑色树脂组合物的制作
向250g合成例9的聚酰亚胺前体树脂溶液(viiii)中混合50g的碳黑(ma100；三菱化学(株)制)及200g的n-甲基-2-吡咯烷酮，利用dyno-millkdl-a，使用直径为0.3mm的氧化锆珠以3200rpm进行3小时的分散处理，由此得到黑色树脂分散液。
向50g该黑色分散液中添加49.9g的n-甲基-2-吡咯烷酮及0.1g的表面活性剂(lc951；楠本化成(株)制)，由此得到非感光性的黑色树脂组合物。
制备例5：感光性彩色抗蚀剂的制作
一并装入8.05g颜料红pr177和50g3-甲基-3-甲氧基丁醇，使用均化器以7000rpm分散5小时，然后过滤玻璃珠并除去。加入134.75g浓度为20重量％的感光性丙烯酸树脂溶液(ac)，由此得到感光性红抗蚀剂，感光性丙烯酸树脂溶液(ac)是向70.00g丙烯酸共聚物溶液(daicel化学工业(株)制“cyclomer”p、aca-250、43wt％溶液)、30.00g作为多官能单体的季戊四醇四甲基丙烯酸酯、15.00g作为光聚合引发剂的“irgacure”369中加入260.00g环戊酮而制备得到的。同样地，得到包含颜料绿pg38和颜料黄py138的感光性绿色抗蚀剂、包含颜料蓝pb15：6的感光性蓝色抗蚀剂。
制备例6：用于形成透明保护膜的树脂组合物的制作
向65.05g的偏苯三酸中添加280g的gbl及74.95g的γ-氨基丙基三乙氧基硅烷，并于120℃加热2小时。向20g得到的溶液中添加7.00g的双苯氧基乙醇芴二缩水甘油醚及15.00g的二乙二醇二甲基醚，得到树脂组合物。
制备例7：颜料分散液(d1)的制备
将65g的pb15：6、35g的pv23、40g作为分散剂的bykchemie公司“byk2001”及860g丙二醇单甲基乙酸酯与1000g直径为0.3mm的氧化锆珠一并用均化器以7000rpm分散处理30分钟，然后通过过滤除去氧化锆珠，由此得到颜料分散液(d1)。
实施例1使用了显示器用支承基板的滤色片及有机el元件的制作(图3及图4)
[1]树脂层叠体的制作
以使得于140℃进行10分钟预烘烤后的厚度成为15±0.5μm的方式，将合成例1中得到的透明聚酰亚胺前体树脂溶液(i)旋涂于300mm×400mm×0.7mm厚的玻璃基板1(an100(旭硝子(株)制))上。然后，使用吹风干燥器于140℃进行10分钟预烘烤处理。接着，以使得于100℃进行2分钟预烘烤后的厚度成为1.2μm的方式，将制备例1中得到的聚硅氧烷树脂组合物1旋涂于聚酰亚胺树脂膜上。然后，使用吹风干燥器于100℃进行2分钟预烘烤处理。然后，在氮气流下(氧浓度为20ppm以下)，使用加热至300℃的inertovens(光洋thermosystems(株)制inh-21cd)加热30分钟，由此制作包含10μm的含有聚酰亚胺树脂的膜a、1μm的含有聚硅氧烷树脂的膜b的树脂层叠体。对得到的树脂层叠体在波长400nm处的可见光透过率、cte进行测定，结果透过率为87.8％、cte为30ppm/℃。此外，利用上述的方法进行双折射率的测定、耐弯曲性评价、3％重量减少温度的测定、色度的测定。将结果示于表1。
[2]树脂黑色矩阵的制作
将制备例4中制作的黑色树脂组合物旋涂于[1]中制作的层叠体的包含聚硅氧烷树脂的膜b上，并用加热板于130℃干燥10分钟，由此形成黑色的树脂涂膜。旋涂正型光致抗蚀剂(shipley公司制、“src-100”)，并用加热板于120℃预烘烤5分钟，使用超高压汞灯进行100mj/cm2(换算为i线)紫外线照射，从而进行掩模曝光，然后使用2.38％的四甲基氢氧化铵水溶液，同时进行光致抗蚀剂的显影和黑色树脂涂膜的蚀刻，从而形成图案，用乙二醇甲醚乙酸酯进行抗蚀剂剥离，并用加热板于280℃加热10分钟，从而使其酰亚胺化，由此形成在聚酰亚胺树脂中分散有碳黑的树脂黑色矩阵。对黑色矩阵的厚度进行测定，结果为1.4μm。此外，利用上述方法进行黑色矩阵的位置精度的评价，结果bm位置偏移量为1.7μm。
[3]着色层的制作
以使得热处理后的黑色矩阵开口部处的膜厚成为2.0μm的方式，将制备例5中制备的感光性红色抗蚀剂旋涂于[1]、[2]中制作的对黑色矩阵进行图案加工而成的树脂层叠体上，并利用加热板于100℃预烘烤10分钟，由此得到红色着色层。接下来，使用canon(株)制的紫外线曝光机“pla-5011”，隔着光呈岛状地透过的铬制光掩模，以100mj/cm2(换算为i线)对黑色矩阵开口部和黑色矩阵上的部分区域进行曝光。曝光后，浸渍于由0.2％的四甲基氢氧化铵水溶液构成的显影液中来进行显影，接着用纯水清洗，然后用230℃的干燥箱加热处理30分钟，由此制作红色像素7r。同样地，制作由制备例5中制备的感光性绿色抗蚀剂形成的绿色像素7g、由感光性蓝色抗蚀剂形成的蓝色像素7b，从而得到滤色片(图3)。接着，以使得热处理后的着色层部的厚度成为2.5μm的方式调节旋涂器的转速，并涂布制备例6中制作的树脂组合物。然后，用230℃的干燥箱加热处理30分钟，由此制作外涂层。
[4]tft基板的制作
在使用[1]的方法制作的树脂层叠体(玻璃基板上)的包含聚硅氧烷树脂的膜b上，使用等离子体cvd法制作由sio形成的无机气体阻隔膜进行制膜。然后，形成底栅型的tft，以覆盖该tft的状态形成由si3n4形成的绝缘膜。接下来，在该绝缘膜上形成接触孔，然后介由该接触孔，在绝缘膜上形成与tft连接的布线(高度为1.0μm)。该布线是用于将tft之间、或将之后的工序中形成的有机el元件与tft连接的布线。
进而，为了使由布线的形成所导致的凹凸平坦化，以将由布线导致的凹凸埋入的状态在绝缘膜上形成平坦化层。平坦化层的形成通过下述方式进行：将感光性聚酰亚胺清漆旋涂于基板上，在加热板上进行预烘烤(120℃、3分钟)，然后隔着期望的图案的掩模进行曝光、显影，并在空气气流下于230℃加热处理60分钟。涂布清漆时的涂布性良好，经曝光、显影、加热处理后得到的平坦化层中未观察到褶皱、裂纹的产生。进而，布线的平均高低差异为500nm，在制作的平坦化层中形成有5μm见方的接触孔，厚度约2μm。
[5]白色发光型有机el元件(图4)的制作
在利用上述的方法得到的tft的平坦化层上，形成顶部发光型的有机el元件。首先，介由接触孔使包含al/ito(al：反射电极)的第一电极与布线连接而形成在平坦化层上。然后，涂布抗蚀剂、预烘烤，并隔着期望的图案的掩模进行曝光、显影。将该抗蚀剂图案作为掩模，通过使用ito蚀刻液的湿法刻蚀进行第一电极的图案加工。然后，使用抗蚀剂剥离液(单乙醇胺与二乙二醇单丁基醚的混合液)将该抗蚀剂图案剥离。对剥离后的基板进行水洗，并于200℃加热脱水30分钟，由此得到带平坦化层的电极基板。相对于剥离液处理前，加热脱水后平坦化层的厚度变化低于1％。以此方式得到的第一电极相当于有机el元件的阳极。
接下来，形成覆盖第一电极的端部的形状的绝缘层。在绝缘层中同样使用了感光性聚酰亚胺清漆。通过设置该绝缘层，可防止第一电极与之后的工序中形成的第二电极之间的短路。
进而，在真空蒸镀装置内，隔着期望的图案掩模，依次蒸镀空穴传输层、有机发光层、电子传输层，从而设置白色有机el发光层。接下来，在基板上方的整个表面形成包含mg/ito的第二电极。进而通过cvd成膜形成sion封闭膜，由此得到有机el元件(图4)。
针对得到的有机el元件，利用上述的方法进行发光效率的测定，结果刚制作后、高温高湿试验后发光效率均为5cd/a。
实施例2
使用合成例2中得到的聚酰亚胺前体树脂溶液(ii)来代替聚酰亚胺前体树脂溶液(i)，除此以外，与实施例1同样地制作树脂层叠体、滤色片及有机el元件。树脂层叠体的波长400nm处的可见光透过率、cte分别为85.5％、20ppm/℃。此外，利用上述的方法进行双折射率的测定、耐弯曲性评价、3％重量减少温度的测定、色度的测定、黑色矩阵的位置精度的评价及发光效率的测定。将结果示于表1。
实施例3
使用合成例3中得到的聚酰亚胺前体树脂溶液(iii)来代替聚酰亚胺前体树脂溶液(i)，除此以外，与实施例1同样地制作了树脂层叠体、滤色片及有机el元件。树脂层叠体的波长400nm处的可见光透过率、cte分别为91.0％、32ppm/℃。此外，利用上述的方法进行了双折射率的测定、耐弯曲性评价、3％重量减少温度的测定、色度的测定、黑色矩阵的位置精度的评价及发光效率的测定。将结果示于表1。
实施例4
使用合成例4中得到的聚酰亚胺前体树脂溶液(iv)来代替聚酰亚胺前体树脂溶液(i)，除此以外，与实施例1同样地制作了树脂层叠体、滤色片及有机el元件。树脂层叠体的波长400nm中的可见光透过率、cte分别为86.8％、9.0ppm/℃。此外，利用上述的方法进行了双折射率的测定、耐弯曲性评价、3％重量减少温度的测定、色度的测定、黑色矩阵的位置精度的评价及发光效率的测定。将结果示于表1。
实施例5
使用合成例5中得到的聚酰亚胺前体树脂溶液(v)来代替聚酰亚胺前体树脂溶液(i)，除此以外，与实施例1同样地制作了树脂层叠体、滤色片及有机el元件。树脂层叠体的波长400nm处的可见光透过率、cte分别为95.3％、19ppm/℃。此外，利用上述的方法进行了双折射率的测定、耐弯曲性评价、3％重量减少温度的测定、色度的测定、黑色矩阵的位置精度的评价及发光效率的测定。将结果示于表1。
实施例6
使用合成例6中得到的聚酰亚胺前体树脂溶液(vi)来代替聚酰亚胺前体树脂溶液(i)，除此以外，与实施例1同样地制作了树脂层叠体、滤色片及有机el元件。树脂层叠体的波长400nm处的可见光透过率、cte分别为96.1％、29ppm/℃。此外，利用上述的方法进行了双折射率的测定、耐弯曲性评价、3％重量减少温度的测定、色度的测定、黑色矩阵的位置精度的评价及发光效率的测定。将结果示于表1。
实施例7
使用合成例7中得到的聚酰亚胺前体树脂溶液(vii)来代替聚酰亚胺前体树脂溶液(i)，除此以外，与实施例1同样地制作了树脂层叠体、滤色片及有机el元件。树脂层叠体的波长400nm处的可见光透过率、cte分别为2.4％、6.0ppm/℃。此外，利用上述的方法进行了双折射率的测定、耐弯曲性评价、3％重量减少温度的测定、色度的测定、黑色矩阵的位置精度的评价及发光效率的测定。将结果示于表1。
实施例8
使用合成例8中得到的聚酰亚胺前体树脂溶液(viii)来代替聚酰亚胺前体树脂溶液(i)，除此以外，与实施例1同样地制作了树脂层叠体、滤色片及有机el元件。树脂层叠体的波长400nm处的可见光透过率、cte分别为65.2％、23ppm/℃。此外，利用上述的方法进行了双折射率的测定、耐弯曲性评价、3％重量减少温度的测定、色度的测定、黑色矩阵的位置精度的评价及发光效率的测定。将结果示于表1。
实施例9
使用制备例2中得到的聚硅氧烷树脂组合物2来代替聚硅氧烷树脂组合物1，在聚硅氧烷树脂组合物2的涂布、预烘烤之后，使用canon(株)制、紫外线曝光机“pla-5011”以150mj/cm2(换算为i线)对涂布膜整个表面进行曝光，在进行膜b’的光固化后，在由0.2％的四甲基氢氧化铵水溶液形成的显影液中浸渍1分钟而进行显影，接着用纯水清洗，除此以外，与实施例1同样地制作了树脂层叠体、滤色片及有机el元件。树脂层叠体的波长400nm处的可见光透过率、cte分别为87.4％、30ppm/℃。此外，利用上述的方法进行了双折射率的测定、耐弯曲性评价、3％重量减少温度的测定、色度的测定、黑色矩阵的位置精度的评价及发光效率的测定。将结果示于表1。
实施例10
在制备例1中添加0.1g颜料分散液(d1)，除此以外，与实施例1同样地制作了树脂层叠体、滤色片及有机el元件。树脂层叠体的波长400nm处的可见光透过率、cte分别为87.7％、30ppm/℃。此外，利用上述的方法进行了双折射率的测定、耐弯曲性评价、3％重量减少温度的测定、色度的测定、黑色矩阵的位置精度的评价及发光效率的测定。将结果示于表1。
实施例11
将实施例1中的膜a的膜厚变为20μm、膜b的膜厚变为3μm，除此以外，与实施例1同样地制作了树脂层叠体、滤色片及有机el元件。树脂层叠体的波长400nm处的可见光透过率、cte分别为76.3％、29ppm/℃。此外，利用上述的方法进行了双折射率的测定、耐弯曲性评价、3％重量减少温度的测定、色度的测定、黑色矩阵的位置精度的评价及发光效率的测定。将结果示于表2。
实施例12
将实施例1中的膜a的膜厚变为5μm、膜b的膜厚变为3μm，除此以外，与实施例1同样地制作了树脂层叠体、滤色片及有机el元件。树脂层叠体的波长400nm处的可见光透过率、cte分别为91.1％、25ppm/℃。此外，利用上述的方法进行了双折射率的测定、耐弯曲性评价、3％重量减少温度的测定、色度的测定、黑色矩阵的位置精度的评价及发光效率的测定。将结果示于表2。
实施例13
将实施例1中的膜a的膜厚变为10μm、膜b的膜厚变为2.5μm，除此以外，与实施例1同样地制作了树脂层叠体、滤色片及有机el元件。树脂层叠体的波长400nm处的可见光透过率、cte分别为85.6％、28ppm/℃。此外，利用上述的方法进行了双折射率的测定、耐弯曲性评价、3％重量减少温度的测定、色度的测定、黑色矩阵的位置精度的评价及发光效率的测定。将结果示于表2。
实施例14
将实施例1中的膜a的膜厚变为15μm、膜b的膜厚变为1.5μm，除此以外，与实施例1同样地制作了树脂层叠体、滤色片及有机el元件。树脂层叠体的波长400nm处的可见光透过率、cte分别为82.2％、31ppm/℃。此外，利用上述的方法进行了双折射率的测定、耐弯曲性评价、3％重量减少温度的测定、色度的测定、黑色矩阵的位置精度的评价及发光效率的测定。将结果示于表2。
实施例15
将实施例1中的膜a的膜厚变为19μm，除此以外，与实施例1同样地制作了树脂层叠体、滤色片及有机el元件。树脂层叠体的波长400nm处的可见光透过率、cte分别为77.1％、36ppm/℃。此外，利用上述的方法进行了双折射率的测定、耐弯曲性评价、3％重量减少温度的测定、色度的测定、黑色矩阵的位置精度的评价及发光效率的测定。将结果示于表2。
实施例16
将实施例1中的膜a的膜厚变为24μm，除此以外，与实施例1同样地制作了树脂层叠体、滤色片及有机el元件。树脂层叠体的波长400nm处的可见光透过率、cte分别为75.8％、38ppm/℃。此外，利用上述的方法进行了双折射率的测定、耐弯曲性评价、3％重量减少温度的测定、色度的测定、黑色矩阵的位置精度的评价及发光效率的测定。将结果示于表2。
实施例17
使用制备例3中得到的聚硅氧烷树脂组合物3代替聚硅氧烷树脂组合物1，在聚硅氧烷树脂组合物3的涂布、预烘烤之后，使用canon(株)制、紫外线曝光机“pla-5011”以150mj/cm2(换算为i线)对涂布膜整个表面进行曝光，在进行膜b’的光固化后，在由0.2％的四甲基氢氧化铵水溶液形成的显影液中浸渍1分钟而进行显影，接着用纯水清洗，除此以外，与实施例1同样地制作了树脂层叠体、滤色片及有机el元件。树脂层叠体的波长400nm处的可见光透过率、cte分别为87.6％、30ppm/℃。此外，利用上述的方法进行了双折射率的测定、耐弯曲性评价、3％重量减少温度的测定、色度的测定、黑色矩阵的位置精度的评价及发光效率的测定。将结果示于表2。
实施例18
在制备例1中使二氧化硅粒子在清漆固态成分中的含有率为65wt％，除此以外，与实施例1同样地制作了树脂层叠体、滤色片及有机el元件。树脂层叠体的波长400nm处的可见光透过率、cte分别为88.0％、29ppm/℃。此外，利用上述的方法进行了双折射率的测定、耐弯曲性评价、3％重量减少温度的测定、色度的测定、黑色矩阵的位置精度的评价及发光效率的测定。将结果示于表2。
实施例19
在制备例1中使二氧化硅粒子在清漆固态成分中的含有率为80wt％，除此以外，与实施例1同样地制作了树脂层叠体、滤色片及有机el元件。树脂层叠体的波长400nm处的可见光透过率、cte分别为88.1％、27ppm/℃。此外，利用上述的方法进行了双折射率的测定、耐弯曲性评价、3％重量减少温度的测定、色度的测定、黑色矩阵的位置精度的评价及发光效率的测定。将结果示于表2。
实施例20
在制备例1中将pma-st变为tr-513(日挥催化剂化成制；二氧化钛γ-丁内酯分散液；固态成分浓度＝30wt％)，除此以外，与实施例1同样地制作了树脂层叠体、滤色片及有机el元件。树脂层叠体的波长400nm中的可见光透过率、cte分别为83.5％、36ppm/℃。此外，利用上述的方法进行了双折射率的测定、耐弯曲性评价、3％重量减少温度的测定、色度的测定、黑色矩阵的位置精度的评价及发光效率的测定。将结果示于表2。
实施例21
将实施例1中的膜b的膜厚变为0.4μm，除此以外，与实施例1同样地制作了树脂层叠体、滤色片及有机el元件。树脂层叠体的波长400nm处的可见光透过率、cte分别为88.5％、39ppm/℃。此外，利用上述的方法进行了双折射率的测定、耐弯曲性评价、3％重量减少温度的测定、色度的测定、黑色矩阵的位置精度的评价及发光效率的测定。将结果示于表2。
实施例22
在制备例1中使二氧化硅粒子在清漆固态成分中的含有率为90wt％，除此以外，与实施例1同样地制作了树脂层叠体、滤色片及有机el元件。树脂层叠体的波长400nm处的可见光透过率、cte分别为86.2％、25ppm/℃。此外，利用上述的方法进行了双折射率的测定、耐弯曲性评价、3％重量减少温度的测定、色度的测定、黑色矩阵的位置精度的评价及发光效率的测定。将结果示于表2。
比较例1
在实施例1中未形成膜b，除此以外，与实施例1同样地制作了树脂层叠体、滤色片及有机el元件。树脂层叠体的波长400nm处的可见光透过率、cte分别为88.0％、48ppm/℃。此外，利用上述的方法进行了双折射率的测定、耐弯曲性评价、3％重量减少温度的测定、色度的测定、黑色矩阵的位置精度的评价及发光效率的测定。将结果示于表2。
比较例2
在制备例1中未添加pma-st，除此以外，与实施例1同样地制作了树脂层叠体、滤色片及有机el元件。树脂层叠体的波长400nm处的可见光透过率、cte分别为87.7％、53ppm/℃。此外，利用上述的方法进行了双折射率的测定、耐弯曲性评价、3％重量减少温度的测定、色度的测定、黑色矩阵的位置精度的评价及发光效率的测定。将结果示于表2。
比较例3
将实施例1中的膜a的膜厚变为25μm、膜b的膜厚变为0.5μm，除此以外，与实施例1同样地制作了树脂层叠体、滤色片及有机el元件。树脂层叠体的波长400nm处的可见光透过率、cte分别为73.4％、42ppm/℃。此外，利用上述的方法进行了双折射率的测定、耐弯曲性评价、3％重量减少温度的测定、色度的测定、黑色矩阵的位置精度的评价及发光效率的测定。将结果示于表2。
比较例4
将实施例1中的膜a的膜厚变为4.0μm、膜b的膜厚变为3.0μm，除此以外，与实施例1同样地制作了树脂层叠体、滤色片及有机el元件。树脂层叠体的波长400nm处的可见光透过率、cte分别为92.1％、23ppm/℃。此外，利用上述的方法进行了双折射率的测定、耐弯曲性评价、3％重量减少温度的测定、色度的测定、黑色矩阵的位置精度的评价及发光效率的测定。将结果示于表2。
将实施例1～22、比较例1～4的显示器用支承基板的透过率、cte、双折射率、耐弯曲试验、透过色度坐标、滤色片的bm位置偏移量及有机el元件的发光效率的结果示于表1、2。由此可知，通过在膜a上具有含有无机氧化物微粒的膜b，从而可在不损害透过率、耐弯曲性的情况下降低树脂层叠体的cte，且bm的位置精度得以提高，并且实施了高温高湿试验时有机el元件的发光效率降低得以被抑制。比较例4中，层叠体中的膜b的膜厚比率大，因此，在实施了耐弯曲试验时观察到大量的裂纹产生、且无法确认到充分的挠性。
实施例23
有机el显示器的制作(图5)
[1]带玻璃基板的滤色片及白色发光型有机el元件的制作
利用实施例1中记载的方法，在玻璃基板上制作了滤色片及白色发光型有机el元件。
[2]有机el显示器的制作
介由粘合层将上述[1]中得到的带玻璃基板的滤色片与带玻璃基板的白色发光型有机el元件进行贴合。接着，从玻璃基板侧照射准分子激光(波长为308nm)，由此将滤色片和白色发光型有机el元件从玻璃基板剥离。接着，将圆偏光膜贴合于滤色片侧的膜a，从而制作了有机el显示器(图5)。
实施例24
使用实施例10中制作的滤色片，除此以外，与实施例23同样地制作了有机el显示器。
实施例25
使用实施例4中制作的滤色片，除此以外，与实施例23同样地制作了有机el显示器。
实施例26
使用实施例8中制作的滤色片，除此以外，与实施例23同样地制作了有机el显示器。
参考例1：聚酰亚胺树脂膜的制作
以使得于140℃进行10分钟预烘烤后的厚度成为15±0.5μm的方式，将合成例7中得到的聚酰亚胺前体树脂溶液(vii)旋涂于300mm×400mm×0.7mm厚的玻璃基板1(an100(旭硝子(株)))。然后，使用吹风干燥器于140℃进行10分钟预烘烤处理。基板的温度降至室温后，在氮气流下(氧浓度为20ppm以下)使用加热至300℃的inertovens(光洋thermosystems(株)制inh-21cd)加热30分钟，由此制作了聚酰亚胺树脂膜。对得到的树脂膜的波长400nm的可见光透过率、cte进行测定，结果透过率为2.5％、cte为6ppm/℃。
实施例27
有机el显示器的制作
[1]带玻璃基板的滤色片的制作
利用实施例1中记载的方法，在玻璃基板上制作了滤色片。
[2]带玻璃基板的白色发光型有机el元件的制作
(1)聚酰亚胺树脂膜的制作
利用参考例1中记载的方法，在玻璃基板上制作了树脂膜。
(2)tft用支承基板的制作
在上述(1)中制作的聚酰亚胺树脂膜上，与实施例1的[4]同样地制作了tft用支承基板。
(3)白色发光型有机el元件的制作
在上述(2)中制作的tft基板上，与实施例1的[5]同样地制作了白色发光型有机el元件。
[3]有机el显示器的制作
介由粘合层将上述[1]中得到的带玻璃基板的滤色片与[2]中得到的带玻璃基板的白色发光型有机el元件贴合。接着，从玻璃基板侧照射准分子激光(波长为308nm)，由此将滤色片和白色发光型有机el元件从玻璃基板剥离，从而制作了有机el显示器。
实施例28
使用实施例16中制作的滤色片，除此以外，与实施例23同样地制作了有机el显示器。
实施例29
使用实施例20中制作的滤色片，除此以外，与实施例23同样地制作了有机el显示器。
比较例5
使用比较例1中制作的滤色片，除此以外，与实施例23同样地制作了有机el显示器。
比较例6
使用比较例1中制作的白色发光型有机el元件，除此以外，与实施例23同样地制作了有机el显示器。
对各实施例、比较例的显示器实施了以下的评价。将结果示于表3。
(有机el显示器的视认性评价)
对使有机el显示器显示白色时的色调进行目视观察，并按以下的方式判定视认性。
优良(a)：看上去为白色
良(b)：看上去略微着色，但不显眼，看上去仍为白色
不良(c)：明显着色，不能认为是白色。
(有机el显示器的抑制环境光反射的性能评价)
介由驱动电路对各实施例、比较例的显示器施加电压，确认晴天白天屋外的显示器的视认性。
优良(a)：环境光反射被充分地抑制，视认性优异。
良(b)：减少环境光反射的效果略微欠佳，但视认性良好。
不良(c)：环境光反射未减少，视认性差。
(有机el显示器的显示性能评价)
介由驱动电路对各实施例、比较例的显示器施加电压，确认显示器的清晰度、对比度。
优良(a)：清晰且对比度优异的显示器。
良(b)：清晰度差、但整体上仍然是显示良好的显示器。
不良(c)：观察到多个缺陷，为显示性能差的显示器。
实施例23、24、27的有机el显示器可制作滤色片的位置偏移少、而且也未观察到有机el元件的劣化、清晰且对比度高的显示器。实施例24中，通过对用于膜b的树脂膜的透过色度进行调节，从而显示器用支承基板的着色得以降低，可制作视认性良好的显示器。
实施例25中，可制作虽减少环境光反射的效果略微欠佳，但视认性、显示性能良好的显示器。
实施例28、29中，虽然在滤色片的局部观察到缺陷，但整体上仍然为显示良好的显示器。
实施例26中，虽然因滤色片用支承基板的透明性略低而导致清晰度欠佳，但整体上仍然为显示良好的显示器。
比较例5的有机el显示器中，滤色片的位置精度差，因此，观察到大量的像素缺陷。比较例6的有机el显示器中，在白色发光元件中观察到劣化、缺陷，为清晰度差的显示器。对于比较例5、6而言，因为观察到大量的缺陷，所以无法确认视认性(颜色、减少环境光反射的效果)。
附图标记说明
1金属圆柱
2柔性滤色片
3玻璃基板
4膜a
5膜b
6黑色矩阵
7r红色像素
7g绿色像素
7b蓝色像素
8外涂层
9平坦化层
10第一电极
11绝缘层
12白色el元件
13第二电极
14封固层
15tft层
16气体阻隔层
17粘合层
18圆偏光膜
19柔性滤色片
20柔性有机el元件
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