具有作为与基板2接触的区域的前方掩蔽区域Rl(第一区域)，在掩模13的后方侧的区域具有作为与基板2接触的区域的后方掩蔽区域R2 (第二区域)。前方掩蔽区域Rl与后方掩蔽区域R2之间的区域成为中间区域Rm，该中间区域Rm具有前方掩蔽区域Rl与后方掩蔽区域R2之间的厚度之差(高低差)。在本第一实施方式中，前方掩蔽区域Rl的下表面与后方掩蔽区域R2的下表面为同一平面，前方掩蔽区域Rl的下表面高度与后方掩蔽区域R2的下表面高度相等(图6)。
[0059]在前方掩蔽区域Rl内设有第一种开口Kl(第一开口)，在后方掩蔽区域R2内设有第二种开口K2(第二开口)。第一种开口Kl设为与第一种电极2a的配置对应的第一图案，第二种开口K2设为与第二种电极2b的配置对应的第二图案。即，掩模13在前方掩蔽区域Rl具有第一种开口Kl，并且在厚度比前方掩蔽区域Rl大的后方掩蔽区域R2具有第二种开口K2。
[0060]在图3以及图4中，相机16具备使拍摄视野朝向上方的上方摄像部16a、和使拍摄视野朝向下方的下方摄像部16b。相机16由相机移动机构16K驱动而在XY面内移动。相机16的上方摄像部16a对分别设置在掩模13的前方掩蔽区域Rl与后方掩蔽区域R2的掩模侧标记13m(图5)从下方进行拍摄。相机16的下方摄像部16b对由基板保持部21保持的基板2的基板侧标记2m(图3)从上方进行拍摄。
[0061]基板保持移动机构12通过参照相机16拍摄到的掩模侧标记13m与基板侧标记2m的相对位置来相对于掩模13对基板2进行对位，在此基础上，使基板2上升而与掩模13的下表面接触。在第一种电极2a上印刷糊料Pst时使基板2与前方掩蔽区域Rl接触(图7的(a))，在第二种电极2b上印刷糊料Pst时使基板2与后方掩蔽区域R2接触(图7的(b))。
[0062]在使保持于基板保持部21的基板2与前方掩蔽区域Rl接触的情况下，前方夹持器33F位于前方掩蔽区域Rl的前方，后方夹持器33R位于前方掩蔽区域Rl的后方的中间区域Rm(图7的(a))。另一方面，在使保持于基板保持部21的基板2与后方掩蔽区域R2接触的情况下，后方夹持器33R位于后方掩蔽区域R2的后方，前方夹持器33F位于后方掩蔽区域R2的前方的中间区域Rm(图7的(b))。在印刷开始时，向中间区域Rm供给糊料Pst(图5)。
[0063]当使基板2与前方掩蔽区域Rl接触时，基板2的第一种电极2a与掩模13的第一种开口 Kl吻合，穿过第一种开口 Kl而向掩模13的上表面侧露出(图8的(a))。前方掩蔽区域Rl中的掩模13的厚度Tl保持为向第一种电极2a印刷糊料Pst的情况下的糊料Pst的厚度。另一方面，当使基板2与后方掩蔽区域R2接触时，第二种电极2b与掩模13的第二种开口K2吻合，穿过第二种开口 K2而向掩模13的上表面侧露出(图8的(b))。后方掩蔽区域R2中的掩模13的厚度T2保持为向第二种电极2b印刷糊料Ps t时的糊料Ps t的厚度。
[0064]在图3以及图4中，印刷头17由沿X轴方向延伸的移动基座41、在移动基座41的下方沿Y轴方向对置配置的两个刮刀(sqUeegee)42、以及设于移动基座41并使各刮刀42相对于移动基座41进行升降的两个刮刀升降缸43构成。移动基座41由印刷头移动机构17K驱动而沿Y轴方向移动，由此各刮刀42沿Y轴方向移动。在沿Y轴方向排列设置的两个刮刀42中，将位于前方(图4的纸面右侧)的刮刀称为前方刮刀42F，将位于后方(图4的纸面左侧)的刮刀称为后方刮刀42R。
[0065]丝网印刷装置4具有控制装置50(图9)。该控制装置50例如包括存储指令的存储器、和执行该指令而使丝网印刷装置4动作的处理器。由搬入输送机14实现的基板2的搬运动作、由基板保持移动机构12实现的基板2的保持及移动动作、以及由搬出输送机15实现的基板2的搬运动作的各控制通过丝网印刷装置4所具备的控制装置50来进行。另外，由相机移动机构16K实现的相机16的移动动作、由印刷头移动机构17K实现的印刷头17的移动动作、由刮刀升降缸43实现的各刮刀42的升降动作以及相机16的摄像动作的各控制也通过控制装置50来进行。通过相机16的拍摄而得到的图像数据被送往控制装置50，在控制装置50的图像处理部50a(图9)进行图像识别处理。
[0066]接下来，对上述结构的丝网印刷装置4的动作进行说明。丝网印刷装置4在使用前方掩蔽区域Rl的第一种开口 Kl对第一种电极2a印刷(一次印刷)糊料Pst之后，使用后方掩蔽区域R2的第二种开口 K2对第二种电极2b印刷(二次印刷)糊料Ps t。
[0067]当从上游工序侧投入基板2时，搬入输送机14接收该基板2并交接至基板保持部21。基板保持部21将由搬入输送机14接收的基板2通过定位输送机31定位在规定的夹持位置，并通过下承接部32从下方进行支承，在此基础上通过夹持器33进行夹持(图10的(a)。图中示出的箭头A)。这样一来在基板保持部21保持基板2后，基板保持移动机构12使基板保持部21移动，使基板2位于前方掩蔽区域Rl的下方(图10的(b)。图中示出的箭头BI)。
[0068]在基板2位于前方掩蔽区域Rl的下方后，相机16移动，通过上方摄像部16a对前方掩蔽区域Rl内的掩模侧标记13m进行拍摄，通过下方摄像部16b对基板侧标记2m进行拍摄(图11的(a))。在相机16进行的拍摄结束后，基板保持移动机构12使基板2移动，以使得得到的掩模侧标记13m与基板侧标记2m在俯视观察时一致，并在此基础上使基板2上升，从而使基板2与前方掩蔽区域Rl接触(图11的(b)。图中所示的箭头Cl)。由此各第一种电极2a与对应的第一种开口Kl内吻合而向掩模13的上表面侧露出。另一方面，各第二种电极2b成为被掩模13覆盖的状态(图12的(a) —图12的(b))。
[0069]在基板2与前方掩蔽区域Rl接触后，印刷头17使后方刮刀42R下降，并使其下端与掩模13的中间区域Rm抵接。然后，使后方刮刀42R从中间区域Rm移动至前方掩蔽区域Rl的前方的区域，由此使后方刮刀42R在前方掩蔽区域Rl上滑动(图13的(a)以及图14的(a)中示出的箭头Dl)。在后方刮刀42R移动至前方掩蔽区域Rl的前方的区域后，印刷头17使后方刮刀42R上升，然后使前方刮刀42F下降并使其下端与掩模13抵接。然后，使前方刮刀42F从前方掩蔽区域Rl的前方的区域移动至中间区域Rm，由此使前方刮刀42F在前方掩蔽区域Rl上滑动(图13的(b)中示出的箭头D2)。在通过刮刀42的滑动而向各第一种开口 Kl内填充糊料Pst后(图14的(a))，基板保持移动机构12使基板保持部21下降(图15的(a)中示出的箭头C2)而进行印版分离。由此在基板2的各第一种电极2a上形成与前方掩蔽区域Rl的掩模13的厚度Tl对应的厚度的糊料Pst的层(图14的(b))，并结束一次印刷。
[0070]在一次印刷结束后，基板保持移动机构12使基板保持部21移动，使基板2位于后方掩蔽区域R2的下方(图15的(b)中示出的箭头B2)。在基板2位于后方掩蔽区域R2的下方后，相机16移动，通过上方摄像部16a对后方掩蔽区域R2内的掩模侧标记13m进行拍摄，通过下方摄像部16b对基板侧标记2m进彳丁拍摄(图16的(a))。在相机16进彳丁的摄像结束后，基板保持移动机构12使基板2移动，以使得得到的掩模侧标记13m与基板侧标记2m在俯视观察时一致，并在此基础上使基板2上升，使基板2与后方掩蔽区域R2接触(图16的(b)。图中示出的箭头Cl)。由此各第二种电极2b与对应的第二种开口 K2吻合而向掩模13的上表面侧露出。另一方面，印刷在第一种电极2a上的糊料Pst被收容在设于后方掩蔽区域R2的避免干涉用的凹陷部H的内部(图17的(a) —图17的(b))。需要说明的是，在一次印刷结束后，前方刮刀42F保持下端与中间区域Rm抵接而停止。
[0071]上述凹陷部H在后方掩蔽区域R2设为与第一种电极2a的配置对应的图案(即第一图案)，在基板2与后方掩蔽区域R2接触时，对印刷在第一种电极2a的上表面上的糊料Pst全部进行收容。因此在二次印刷时，避免在一次印刷中印刷在第一种电极2a上的糊料Pst与掩模13的下表面接触。
[0072]在基板2与掩模13的后方掩蔽区域R2接触后，印刷头17使前方刮刀42F从中间