专利名称：膜的洗涤系统的制作方法
技术领域：
本发明涉及把塑料膜表面附着的尘埃、膜片、污染物加以连续洗涤的膜的洗涤系 统，特别是涉及要求洁净的FPD(平板显示器)领域、电学领域、光学领域等用膜的膜的洗涤 系统。
背景技术：
. 塑料膜在FPD领域、电学领域、光学领域等各领域已得到广泛应用。FDP领域、电学 领域中使用的塑料膜，经过成膜、涂抹、贴合等工序而用作构件、工艺材料。该制造工序，必 须自始至终在洁净的环境下操作，尘埃、纤维、膜碎片等杂质向制品的混入及附着等缺陷、 以及起因于这些缺陷的伤痕、压痕等物理缺陷的发生加以严格管理。市场对这些缺陷的发 生频率的要求标准在快速变严。另外，即使对缺陷的程度，原来不成为问题的非常细微的缺 陷也不允许，要求加以改善。 作为解决该问题的方法，采用粘接辊，进行从塑料膜表面去除尘埃、纤维、膜碎片 的操作，但通过尘埃从粘接辊的再转移等，杂质的去除效果不充分。另外，由于从粘接辊剥 离时产生的静电而残留在塑料膜上，故对周边的杂质吸引，效果使缺陷的发生频率增加的 问题让人担扰。 还有，对塑料膜连续实施喷吹高压气体与抽吸，实施去除尘埃的操作，但对于牢固 附着的尘埃，存在不能充分去除的问题。 近几年来，通过洗涤塑料膜进行去除尘埃的操作。在专利文献1中，提出了塑料膜 的洗涤装置，其特征在于，设置膜辊的开巻部，依次设置把开巻的膜用醇洗涤液进行洗涤的 洗涤部、蒸汽干燥部、空气干燥部、巻绕部。 还有，在专利文献2中，提出了洗涤装置，是把膜一边用超声波使其振动一边用含 表面活性剂的洗涤液加以洗涤后，对膜的两面通过狭缝喷嘴或直列多孔喷嘴，从膜的前进 方向的前方斜吹空气使干燥的洗涤装置。 另外，在专利文献3中，提出了洗涤装置，是围绕塑料膜洗涤部与干燥部全部，提 高装置内氛围气温度，并且通过使干燥装置内导辊表面温度与干燥氛围气同等的温度，向 表面润湿的塑料膜有效供热，迅速进行干燥的洗涤装置。 另外，在专利文献4中，提出了光学用塑料膜的洗涤，干燥方法，其中，作为洗涤手
段，采用从洗涤喷嘴连续喷雾洗涤液；作为洗涤液再循环手段，使下落的洗涤液再循环的方
法；干燥手段，是采用连续喷吹热风。[专利文献1]特开2002-316116号公报[专利文献2]特开2003-300025号公报[专利文献3]特开2002-86079号公报[专利文献4]特开2002-292347号公报
发明内容
发明要解决的课题 但是，专利文献1中，因光学用塑料膜中含有增塑剂，故当用醇洗涤时，增塑剂发 生溶出，产生膜特性变化及均匀性降低的问题。 还有，在专利文献2中，当洗涤液含有表面活性剂时，引起膜表面的润湿性降低。 结果是，当在膜表面设置涂布层时，引起涂布液不粘或涂布层的粘接性降低的问题，得不到 通用性。 另外，在专利文献3中，当采用喷雾器与刷子进行洗涤时，不能充分实施尘埃的去 除，但在光学塑料膜表面发生细微的伤痕，不能在电子显示器领域、电学领域的构件、工艺 材料中使用。另外，作为洗涤液，当采用碱、醇、酮等时，光学塑料膜中的增塑剂溶出，发生膜 特性变化与均匀性降低的问题。 再有，在专利文献4中，作为洗涤液，当采用醇、酯等时，光学塑料膜的增塑剂溶 出，发生膜特性变化与均匀性降低的问题。另外，当仅采用辊筒或棒进行涂布时，则不能充 分去除洗涤液，存在生产效率低的问题。
然而，如这些专利文献1 4所示，即使洗涤膜，由于膜上的数P m的非常细微的 杂质对膜的附着力强，存在不能良好去除的问题。 本发明是鉴于这种情况提出的，目的在于提供塑料膜表面即使附着数ym这样
的非常细微的尘埃、膜片、污染物也可以连续去除的膜的洗涤系统。 用于解决课题的手段 本发明为了达到上述目的，提供膜的洗涤系统，是至少具有对移动中的膜用洗涤 液进行洗涤的洗涤部、对洗涤过的膜进行干燥的干燥部的膜的洗涤系统；其特征在于，该洗 涤部的结构是一边使上述膜移动一边向该膜的表面背面的至少一个面供给洗涤液，沿其 至少一个面的用水流进行洗涤。而且，该洗涤洗涤部也可设置成多段。 该洗涤部，其特征在于，该洗涤部具有1块或2块的平行构件；以及，在平行构件 上形成的、对膜的表面背面的至少一个面吹洗涤液的洗涤液供给沟槽。此时，平行构件与膜 的间隙优选在0. 25mm以下。或者，其特征在于，把采用聚束超声波的超声波洗涤器设置在 膜的表面背面的至少一个面上。 通过这种结构的膜的洗涤系统，塑料膜表面即使附着数P m的非常细微的尘埃、 膜片、污染物也可以连续去除。 S卩，通过包含对膜的表面背面的至少一个面供给洗涤液的洗涤液供给沟槽；以及， 平行构件与膜形成的0. 25mm以下的间隙；从供给沟槽供给的洗涤液由于在0. 25mm以下的 狭窄间隙形成大的速度梯度，故数ym的非常细微的尘埃、膜片、污染物也能够从膜去除。 另外，通过在设置了采用集束超声波的超声波洗涤器的洗涤部进行洗涤，数ym的非常细 微的尘埃、膜片、污染物也能够从膜去除。 在这里，当洗涤液供给沟槽及超声波洗涤器，仅设置在膜的表面背面的至少一个 面时，对仅洗涤膜的 一个面时是适用的。 本发明的膜的洗涤系统，优选具有从巻绕膜的辊筒把膜开巻的开巻部；把在上 述干燥部干燥过的膜的静电加以去除的除电部；以及，把该除电终止后膜巻绕成辊筒状的 巻绕部。此时，在巻绕部的前段，设置检查膜杂质的杂质检查装置是优选的。
本发明的膜的洗涤系统，进一步优选在上述巻绕部的后段，设置去除上述膜上附 着的洗涤液的气刀；以及，把供给该气刀喷出口的空气加以离子化的除电机构。而且，本发 明的膜的洗涤系统，优选的是具有把整个系统加以覆盖的整体盖。另外，在该整体盖上，优 选具有通过FFU(风扇、过滤器、装置)供给洁净空气的设备，以使风向处在膜的宽度方向。 还有，当具有供给该洁净空气的设备时，在整个盖上设置把各个具有的部分加以分离，具有 膜穿过狭缝的分离盖是优选的。
发明效果 按照本发明，能够提供塑料膜表面即使附着数P m的非常细微的尘埃、膜片、污 染物也能够连续去除的膜的洗涤系统。
图1是表示安装了本发明的膜的洗涤系统的膜的涂布装置图。 图2是表示本发明涉及的洗涤部的实施方案图。 图3是表示本发明涉及的洗涤部的又一实施方案图。 图4是表示本发明涉及的洗涤部的另一实施方案图。 图5是表示本发明涉及的洗涤部的又一实施方案图。 图6是表示本发明涉及的洗涤部的另一实施方案图，隔板的位置图。 图7是表示隔板图。 图8是表示本发明的膜的洗涤系统的另一实施方案图。
[符号的说明] 10...膜的洗涤系统、12...膜、36...洗涤部、38...干燥部、40...膜的涂布装 置、42...开巻部、48...巻绕部、50...整体盖、52...洗涤液供给狭缝、53...平行构件、 54...间隙、56...洗涤液排出狭缝、65...超声波洗涤器、66...超声波振子、68...音响透 镜、70...隔板、71...狭缝、72... —对辊筒、D...平行构件与膜的间隙宽度
具体实施例方式
下面参照附图详细地说明本发明的实施方案。 图1是表示在膜的涂布装置上安装了本发明的膜的洗涤系统时的整体结构的概 略侧面图。 如图1所示，本实施方案的膜涂布装置40，依次设置塑料膜辊筒的开巻部42、本发 明的膜的洗涤系统10、涂抹部44、干燥部(涂抹后的干燥部)46、巻绕部48。由塑料膜辊筒 的开巻部42依次开巻的片状塑料膜12，通过运送辊14、 16运送至本发明的膜的洗涤系统 10。 图1的膜的洗涤系统10，具有对移动的膜采用洗涤液进行洗涤的洗涤部36、36 ; 以及，把洗涤过的膜进行干燥的干燥部38。在这里示出洗涤部36为2段，干燥部38为1段 的例子，但又不限于此，例如，洗涤部36为3段，干燥部38为2段也可以。还有，膜的洗涤 系统10具有把整个系统加以覆盖的整体盖50是优选的。 本发明的洗涤对象是塑料膜表面附着的数y m的非常细微的尘埃、膜片及污染物。
而且，本发明涉及的洗涤部36，其结构是一边使膜移动一边向膜的表面背面的至少一个面供给洗涤液，采用沿至少一个面的水流加以洗涤。还有，洗涤液要不停地供给。 图2是表示本发明涉及的洗涤部36的实施方案，图2(a)为立体图，图2 (b)为从
侧面看的部分断面的断面图。还有，图2的洗涤部36，有时洗涤膜一个面。 图2中所示的洗涤部36，包含1块平行构件53、对膜一个面垂直供给洗涤液的平
行构件53上设置的洗涤液供给沟槽52、52。平行构件与膜的间隙54，优选为0. 25mm以下
的宽度D。 通过在该狭窄的间隙54内流过洗涤液，在0. 25mm以下的狭窄间隙内，洗涤液的流
速具有很大的速度梯度，故在平行构件53与膜表面之间，产生与膜面平行且流速快的平行 流。由此，即使数ym的非常细微的尘埃、膜片、污染物也能够从膜上去除。
图3是表示本发明涉及的洗涤部36的另一实施方案。 图3中所示的洗涤部36，包含2块平行构件53、53 ;相对膜的表面背面垂直供给 洗涤液的、于平行构件53、53上设置的洗涤液供给沟槽52、52。 2块平行构件53、53分别形 成平行构件与膜的间隙的宽度D在0. 25mm以下的狭窄间隙54、54。 通过在该狭窄的间隙54内流过洗涤液，在0. 25mm以下的狭窄间隙内，洗涤液的流 速具有很大的速度梯度，故在膜的表面背面与2块平行构件53、53之间，产生与膜面平行且 流速快的平行流。因此，即使数ym的非常细微的尘埃、膜片、污染物也能够从膜上去除。
图4(a)是表示本发明涉及的洗涤部36的又一实施方案，图3的洗涤液供给沟槽 52在膜的表面背面分别设置多个。另外，为了通过设置多个洗涤液供给沟槽来防止洗涤液 在狭窄间隙内滞留，用于从狭窄间隙排出洗涤液的洗涤液排出沟槽56，设置在洗涤液供给 沟槽52、52之间。通过采用该图4(a)的洗涤部36，图3的洗涤部的洗涤方法能够反复多段 进行，膜上的细微杂质能够进一步去除。还有，如图4(b)所示，膜的表面背面洗涤液供给沟 槽52的位置也能够错开。 图5是表示本发明涉及的洗涤部36的另一实施方案，在该洗涤部36上设置采用 集束超声波的超声波洗涤器65。该超声波洗涤器65，安装了板状超声波振子66，该超声波 振子66上安装了音响透镜68。从超声波振子66发出的超声波，通过该音响透镜68集束至 规定的集束焦点，照射至洗涤液。由此，通过使超声波集束，在集束焦点附近可以产生有助 于高效洗涤的自由基。因此，该集束焦点被设置在膜12的表面附近。还有，膜12的背面用 辊筒67支持。另外，在该洗涤部36设置洗涤液供给沟槽52及洗涤液排出沟槽56。
通过在这种结构的洗涤部36内的狭窄间隙54中流过洗涤液，洗涤液的流速具有 大的速度梯度，故在由辊筒67支持的膜表面与超声波洗涤器65之间，产生与膜面平行且流 速快的平行流。即使数ym的非常细微的尘埃、膜片、污染物也能够从膜上去除。
还有，适于产生自由基的超声波频率范围为0. 3腿z l腿z。 另外，在本实施方案中，采用把照射洗涤液中的超声波，通过音响透镜18加以集 束的结构，但也可未集束进行照射，通过集束超声波，于在集束焦点附近有效产生有利于洗 涤的自由基，提高洗涤效果。 另外，在本实施方案中，采用音响透镜把从超声波振子发出的超声波集束至规定 的集束焦点，但使超声波集束的结构，不限于这些。例如，通过使超声波振子发出超声波的 面的形状形成圆孤状(超声波振子的形状，形成为所谓的槽式)，可使超声波在规定的集束 焦点集束。此时，不需音响透镜。
在这里，采用图5所示的、设置多个超声波洗涤器65的洗涤部36时，则在图6所 示位置设置加以隔开的隔板70是优选的。 隔板70，如图7(a)所示，设置膜12穿过的沟槽71，分别在该沟槽的上游侧与下游 侧配设支持膜12的一对辊筒72。另外，在该沟槽，如图7(b)所示，配设夹住膜12的一对辊 筒72是优选的。 如此，通过在图4的洗涤部36上设置隔板70，分别能够使超声波洗涤器65、. . . 65 与洗涤液密闭。因此，装满洗涤液的空间相对各个超声波洗涤器65是独立的，所以，对各个 空间采用不同种洗涤液进行膜洗涤是可能的。 如上所述，采用本发明的膜的洗涤系统IO的洗涤部36洗涤了的膜12，通过辊筒 24、25送至干燥部38。 还有，在洗涤部36的后段，优选具有去除膜上附着的洗涤液的气刀；以及，对供 给该气刀喷出口的空气加以离子化的除电机构。 洗涤、干燥了的膜12，在涂抹部44涂布涂布液，一边由辊筒运送一边通过干燥部 46，在巻绕部48巻成辊筒状。 本发明中使用的塑料膜，只要是透明的片或膜状即可而未作特别限定，例如，可以 举出聚酯膜、聚乙烯膜、聚丙烯膜、玻璃纸、二乙酰基纤维素膜、三乙酰基纤维素膜、乙酰基 纤维素丁酸酯膜、聚氯乙烯膜、聚偏氯乙烯膜、聚乙烯醇膜、乙烯乙烯醇膜、聚苯乙烯膜、聚 碳酸酯膜、聚甲基戊基膜、聚砜膜、聚醚酮膜、聚醚砜膜、聚醚酰亚胺膜、聚酰亚胺膜、氟树脂 膜、尼龙膜、聚环烯烃膜、丙烯酸膜等热塑性树脂膜，以及在这些塑料膜的至少1个面上实 施涂布、涂抹、贴合、印刷等处理的多层膜。当采用要求透过率高的、均匀性高的三乙酰基纤 维素膜、聚酯膜、聚环烯烃膜、聚碳酸酯膜时，由于易确认起因于尘埃的缺点，故效果大。
本发明中使用的塑料膜的厚度为5 2000iim、优选15 500iim、特别优选从 20 200 ii m的范围内任意选择。 还有，本发明的膜的洗涤系统IO，如图8所示，也可具有从巻绕膜的辊筒打开膜 的开巻部；以及，把膜巻成辊筒状的巻绕部。由此，如图1所示，可不在膜涂布装置40上安 装，独立地洗涤膜。 还有，在图8所示的膜的洗涤系统10中，优选具有去除通过干燥部38干燥了的 膜的静电的除电部(未图示)。另外，在巻绕部48的前段设置检查膜杂质的杂质检查装置 (未图示)也是优选的。 以上对本发明的膜的洗涤系统，参照附图进行了说明，但本发明不限于上述图中 所示的结构，各图所示的结构可加以适当组合等，在不偏离其宗旨的范围内该结构可作适 当变更。 例如，图1与图8的整体盖50，具有通过FFU(风扇、过滤器、装置)供给洁净空气 的设备，使风向处在膜的宽度方向是优选的。 另外，在图1与图8的整体盖50上，设置使具有的各个部分互相分离、膜穿过沟槽 的分离盖是优选的。这种分离盖的沟槽部分可以采用图7(b)所示的隔板70。
权利要求
膜的洗涤系统，是至少具有对移动的膜用洗涤液进行洗涤的洗涤部、以及对洗涤了的膜进行干燥的干燥部的膜的洗涤系统；其特征在于，该洗涤部的结构是通过一边使上述膜移动一边向该膜的表面背面的至少一个面供给洗涤液，用沿上述至少一个面的水流进行洗涤。
2. 按照权利要求1中所述的膜的洗涤系统，其特征在于，上述洗涤部设置多段。
3. 按照权利要求1或2中所述的膜的洗涤系统，其特征在于，该洗涤部具有1块或2 块平行构件；以及，在上述平行构件上形成的、对上述膜的表面背面的至少一个面吹洗涤液的洗涤液供给 沟槽。
4. 按照权利要求1 3中任何一项所述的膜的洗涤系统，其特征在于，上述平行构件与 上述膜的间隙在0. 25mm以下。
5. 按照权利要求1或2中所述的膜的洗涤系统，其特征在于，把采用聚束超声波的超声 波洗涤器设置在上述膜的表面背面的至少一个面上。
6. 按照权利要求1 5中任何一项所述的膜的洗涤系统，其特征在于，该膜的洗涤系统 还具有从巻绕膜的辊筒把膜开巻的开巻部；把上述干燥部干燥了的膜的静电加以去除的 除电部；以及，把除电终止后的膜巻绕成辊筒状的巻绕部。
7. 按照权利要求6中所述的膜的洗涤系统，其特征在于，在上述巻绕部的前段设置检 查膜杂质的杂质检查装置。
8. 按照权利要求1 7中任何一项所述的膜的洗涤系统，其特征在于，在上述洗涤部的 后段、上述干燥部的前段具有去除上述膜上附着的洗涤液的气刀；以及，把供给该气刀喷 出口的空气加以离子化的除电机构。
9. 按照权利要求1 8中任何一项所述的膜的洗涤系统，其特征在于，上述膜的洗涤系 统具有把整个系统加以覆盖的整体盖。
10. 按照权利要求8或9中所述的膜的洗涤系统，其特征在于，在该整体盖上，具有通过 FFU(风扇、过滤器、装置)供给洁净空气的设备，以使风向处于膜的宽度方向。
11. 按照权利要求9中所述的膜的洗涤系统，其特征在于，在整体盖上设置使具有的各 个部分分离、膜穿过沟槽的分离盖。
全文摘要
本发明提供塑料膜表面即使附着数μm的非常细微的尘埃、膜片、污染物也可以连续去除的膜的洗涤系统。该系统具有对移动的膜(12)，采用洗涤液进行洗涤的洗涤部(36)；以及，把洗涤过的上述移动中的膜进行干燥的干燥部(38)。洗涤部(36)的结构是具有一边使膜(12)移动边向该膜的表面背面的至少1个面供给洗涤液，通过至少沿1个面的水流进行洗涤。
文档编号B08B3/12GK101712033SQ20091017476
公开日2010年5月26日 申请日期2009年9月17日 优先权日2008年9月30日
发明者妻木伸夫, 杉谷悟 申请人:株式会社日立工业设备技术