专利名称：对浮子流量计进行在线清洗方法及循环冷却水系统的制作方法
技术领域：
本发明涉及循环水冷却技术领域，特别涉及对浮子流量计进行在线清洗的方法及 一种循环冷却水系统。
背景技术：
目前，各种高功率的工业设备(包括半导体制造设备)都会用到不同形式的冷却 系统，而循环冷却水系统(recirculating cooling water system)以其低廉的成本和高冷 却效率，在业界得到了最为广泛的应用。循环冷却水系统的基本构造如图1所示，主要由冷却设备101、水泵102、进水口 103、出水口 104、流量计105以及依次连接上述部分的管道组成，箭头表示循环冷却水的流 向。在工作状态下，冷水流过需要降温的生产设备106(常称换热设备，如换热器、冷凝器、 反应器)后，温度上升；升温的水流过冷却设备101则水温回降，除生产设备106的物料泄 漏外，可用水泵102将再次冷却的水送回生产设备106再次使用，管道外通常用风散热。流 量计105的作用是检测循环冷却水系统中水的流动速度，如果水流速过慢或过快都会造成 对生产设备106的冷却不够，因此需要根据流量计105来调节水泵102，是循环冷却水保持 适宜的流速。循环冷却水系统使冷却水能够得到循环利用，使冷水的用量大大降低，常可节约 95%以上。冷却水占工业用水量的70%左右，循环冷却水系统起了节约大量工业用水的作用。在实际工业应用中，浮子流量计是最常采用的流量计。浮子流量计的流量元件是 由一根自下向上扩大的垂直锥管和一个沿着锥管轴上下移动的浮子组所组成。工作原理如 图2所示，被测流体从下向上经过锥管201和浮子202形成的环隙203时，浮子202上下端 产生差压形成上升力，当浮子202所受上升力大于浸在流体中浮子重量时，浮子202便向上 移动，环隙203的面积随之增大，环隙203处流体流速立即下降，使浮子202上下端差压降 低，作用于浮子202的上升力亦随着减少，直到上升力等于浸在流体中浮子重量时，浮子便 稳定在某一高度。因此浮子202在锥管201中高度和通过的流量有对应关系。冷却水在使用过程中，水温周期性地循环升高与下降，虽然其物理性状变化不大， 但长期循环使用后，水中某些溶解物浓缩或消失、尘土积累、微生物滋长，造成设备、管道内 垢物沉积或对金属设备管道腐蚀。循环冷却水系统在使用较长时间(具体时间长短取决于 水质)后，都会表现出一些故障，例如冷却水流量下降且无法调节，冷却水流量异常波动， 流量计浮子卡死等。以上这些现象都是循环冷却水管路出现不同程度淤塞的直接体现。如 果置之不理，短期内可能会造成设备异常故障，轻则影响生产提高设备故障率，重则对设备 甚至对人员造成永久性伤害；而长期内隐患不除则有可能导致整个循环冷却水系统堵死。浮子流量计的工作特点导致了垢物沉积比较容易出现在浮子流量计中。而且，浮 子流量计的作用是检测循环冷却水的流速，浮子流量计由于垢物沉积出现异常容易使整个 循环冷却水系统的工作状态造成巨大影响。因此对循环冷却水系统中浮子流量计的清洗是整个清洗工作中的重点。现有技术中通常采用的循环冷却水系统中浮子流量计的清洗方法 为关闭水泵102，打开出水口 104，将循环冷却水系统中的循环冷却水排排出；将浮子流量计从循环冷却水系统拆卸下来，并对其进行清洗；清洗完毕后再将浮子流量计装到循环冷却水系统中；以及关闭出水口 104，打开进水口 103，将新的冷却水(也可以是清洗前排出的循环冷 却水)注入循环冷却水系统中，并开启水泵使冷却水在系统中循环起来。这样做会导致以下问题1、清洗过程中循环冷却水系统无法工作，因此还需要使工作设备停机，导致清洗 成本较高，因此清洗频率不能太高，而清洗时间间隔过长又会导致难以清洗掉沉积的垢污， 造成恶性循环；2、浮子流量计的拆卸和安装极为不便，由于受到狭小工作区域的限制，而使得清 洗时间绝大部分都消耗在浮子流量计的拆卸和安装上。
发明内容
有鉴于此，本发明的目的在于，提出对浮子流量计进行在线清洗的方法，可以无需 拆卸浮子流量计即可实现对浮子流量计的清洗。本发明实施例提出的一种对浮子流量计进行在线清洗的方法，所述浮子流量计安 装于循环冷却水系统中，其两端分别通过管道与循环冷却水系统的其他部分连接，所述浮 子流量计的两端分别安装第一清洗阀门和第二清洗阀门；所述在线清洗方法包括如下步 骤保持循环冷却水系统的进水口和出水口处于关闭状态的情况下，开启第一清洗阀 门和第二清洗阀门；用高压水枪向第一清洗阀门内进行喷水，所喷出的水流对浮子流量计进行冲洗， 多余的水从第二清洗阀门流出，待流量计畅通后关闭第一清洗阀门和第二清洗阀门。本发明实施例提出的另一种对浮子流量计进行在线清洗的方法，所述浮子流量计 安装于循环冷却水系统中，其两端分别通过管道与循环冷却水系统的其他部分连接，所述 浮子流量计的两端分别安装第一清洗阀门和第二清洗阀门；所述在线清洗方法包括如下步 骤保持循环冷却水系统的进水口和出水口处于关闭状态的情况下，开启第一清洗阀 门和第二清洗阀门；用氮气喷枪向第一清洗阀门内进行喷气，所喷出的气流对浮子流量计进行清扫， 第二清洗阀门作为排气口，待流量计畅通后关闭第一清洗阀门和第二清洗阀门。本发明的目的还在于，提出一种循环冷却水系统，可以无需拆卸浮子流量计对该 循环冷却水系统实现清洗。该循环冷却水系统包括进水口、出水口和浮子流量计，所述循环冷却水系统进一 步包括第一清洗阀门和第二清洗阀门，所述第一清洗阀门和第二清洗阀门分别安装于所 述浮子流量计两端。从以上技术方案可以看出，通过开启第一清洗阀门和第二清洗阀门即可实现对浮子流量计的清洗，而无需拆卸浮子流量计，清洗过程十分方便，并极大节约了清洗所需的时 间。
图1为现有技术的循环冷却水系统结构示意图；图2为浮子流量计的结构示意图，包括正视图和俯视图；图3为本发明实施例提出的循环冷却水系统结构示意图。
具体实施例方式为使本发明的目的、技术方案和优点更加清楚，下面结合附图对本发明作进一步 的详细阐述。本发明实施例提出的循环冷却水系统如图3所示，包括冷却设备301、水泵302、进 水口 303、出水口 304、浮子流量计305、第一清洗阀门306、第二清洗阀门307以及依次连接 上述部分的管道组成。在工作状态下，冷水流过需要降温的生产设备308后，温度上升；升温的水流过冷 却设备301则水温回降，用水泵102将再次冷却的水送回生产设备308再次使用，管道外通 常用风散热。浮子流量计305的作用是检测循环冷却水系统中水的流动速度，根据浮子流 量计305检测到的流速来调节水泵302，使循环冷却水保持适宜的流速。本发明实施例的关键点在于，在浮子流量计305的两端分别设置了第一清洗阀门 306和第二清洗阀门307，在循环冷却水系统处于工作状态时，第一清洗阀门306和第二清 洗阀门307都是关闭的。当需要对浮子流量计305进行清洗时，保持进水口 303和出水口 304依然是关闭 的，开启第一清洗阀门306和第二清洗阀门307。用高压水枪向第一清洗阀门306内进行喷 水，所喷出的水流对浮子流量计端或冷却水循环管路端进行冲洗，多余的水从第二清洗阀 门307流出，待流量计或管路畅通后关闭第一清洗阀门306和第二清洗阀门307。之后打开 进水口 303和出水口 304，恢复冷却水循环系统，到此清洗过程完毕。或者，保持进水口 303和出水口 304依然是关闭的，开启第一清洗阀门306和第二 清洗阀门307。用氮气喷枪(N2 GUN)向第一清洗阀门306内进行喷气，所喷出的气流对浮 子流量计端或冷却水循环管路端进行清扫，第二清洗阀门307作为排气口，待流量计或管 路畅通后关闭第一清洗阀门306和第二清洗阀门307。之后打开进水口 303和出水口 304， 恢复冷却水循环系统，到此清洗过程完毕。以上所述仅为本发明的较佳实施例而已，并不用以限制本发明，凡在本发明的精 神和原则之内所作的任何修改、等同替换和改进等，均应包含在本发明的保护范围之内。
权利要求
1.一种对浮子流量计进行在线清洗的方法，所述浮子流量计安装于循环冷却水系统 中，其两端分别通过管道与循环冷却水系统的其他部分连接，其特征在于，所述浮子流量计 的两端分别安装第一清洗阀门和第二清洗阀门；所述在线清洗方法包括如下步骤保持循环冷却水系统的进水口和出水口处于关闭状态的情况下，开启第一清洗阀门和第二清洗阀门；用高压水枪向第一清洗阀门内进行喷水，所喷出的水流对浮子流量计进行冲洗，多余 的水从第二清洗阀门流出，待流量计畅通后关闭第一清洗阀门和第二清洗阀门。
2.一种对浮子流量计进行在线清洗的方法，所述浮子流量计安装于循环冷却水系统 中，其两端分别通过管道与循环冷却水系统的其他部分连接，其特征在于，所述浮子流量计 的两端分别安装第一清洗阀门和第二清洗阀门；所述在线清洗方法包括如下步骤保持循环冷却水系统的进水口和出水口处于关闭状态的情况下，开启第一清洗阀门和 第二清洗阀门；用氮气喷枪向第一清洗阀门内进行喷气，所喷出的气流对浮子流量计进行清扫，第二 清洗阀门作为排气口，待流量计畅通后关闭第一清洗阀门和第二清洗阀门。
3.一种循环冷却水系统，包括进水口、出水口和浮子流量计，其特征在于，所述循环冷 却水系统进一步包括第一清洗阀门和第二清洗阀门，所述第一清洗阀门和第二清洗阀门 分别安装于所述浮子流量计两端。
全文摘要
本发明公开了一种对浮子流量计进行在线清洗的方法，所述浮子流量计安装于循环冷却水系统中，其两端分别通过管道与循环冷却水系统的其他部分连接，所述浮子流量计的两端分别安装第一清洗阀门和第二清洗阀门；所述在线清洗方法包括如下步骤保持循环冷却水系统的进水口和出水口处于关闭状态的情况下，开启第一清洗阀门和第二清洗阀门；用高压水枪向第一清洗阀门内进行喷水，所喷出的水流对浮子流量计进行冲洗，多余的水从第二清洗阀门流出，待流量计畅通后关闭第一清洗阀门和第二清洗阀门。本发明还公开了可以实现上述方法的循环冷却水系统。本发明方案可以无需拆卸浮子流量计实现对其进行清洗，且清洗过程十分方便，并极大节约了清洗所需的时间。
文档编号B08B3/02GK102107195SQ20091020098
公开日2011年6月29日 申请日期2009年12月23日 优先权日2009年12月23日
发明者孙建军, 杨文 , 郝学涛, 黎健 申请人:中芯国际集成电路制造(上海)有限公司