专利名称：一种具有除尘功能的输送设备的制作方法
技术领域：
本发明涉及一种输送设备，尤其涉及一种具有除尘功能的输送设备。
背景技术：
随着科技的发展，加上数字化时代的到来，推动了液晶显示器市场的蓬勃发展。液 晶显示器因为具有高画质、体积小、重量轻、低驱动电压与低消耗功率等众多优点。因此被 广泛应用于个人数字助理(PDA)、行动电话、摄录放影机、笔记型计算机、桌上型显示器、车 用显示器及投影电视等消费性通讯或电子产品之上，并逐渐取代阴极射线管，而成为显示 器的主流。液晶显示器的主体为液晶单元，主要是由两片透明基板以及被封于基板之间的液 晶所构成，目前液晶显示器是以薄膜晶体管液晶显示器为主，玻璃基板之间夹设液晶层，下 基板为薄膜晶体管基板，上基板为彩色滤光片基板。彩色滤光片基板包括红、绿、蓝三原色 的彩色滤光层，以使液晶显示器呈现出丰富的颜色图像。在液晶显示器的生产过程中，基板往往需要在多个机台之间往返输送，以进行所 需的工序。基板的输送方式例如可盛装于基板卡匣(cassette)中，再利用输送设备和起重 机在循环路径中输送，并利用基板插入机或机械手臂来取放基板。然而，在通过输送设备如Crane、Conveyor, Vehicle等输送基板卡匣的过程中 会有接触、摩擦等状况，产生微粒会影响基板的品质，因此必须经常对输送设备进行人工清洁。因此，如何使基板卡匣在使用输送设备进行输送时保持无尘条件成为业界亟待解 决的难题。
发明内容
针对现有基板卡匣在输送过程中会受微粒污染以及输送设备需清洁耗时耗力的 问题，本发明提供了一种具有除尘功能的输送设备。依据本发明的一种具有除尘功能的输送设备，适用于输送装载多个基板的一卡 匣，该输送设备包括一输送通道，具有一底板及两侧壁；一移动基座，可移动地设置在所 述输送通道的底板上；以及一工作台，配置于移动基座上，用于承载卡匣，其表面为孔洞间 隙结构。优选地，输送通道的底板及两侧壁的表面为孔洞间隙结构。优选地，输送设备还包括一气流控制装置，与输送通道和工作台连通。其中，气流 控制装置在工作台承载卡匣时通过孔洞间隙结构从外部向内吸气，在工作台空载时通过孔 洞间隙结构向外部排气。 优选地，气流控制装置具有一过滤装置。优选地，输送设备还包括一集尘盒，用于收纳通过孔洞间隙结构进入的微粒。使用本发明提供的具有除尘功能的输送设备能够满足无尘环境的需求，在输送卡匣的过程中经由孔洞间隙结构收集微粒物或磨耗粉尘，防止飘散、污染问题，减少清洁流程 与时间。
读者在参照附图阅读了本发明的具体实施方式
以后，将会更清楚地了解本发明的 各个方面。图1绘示出现有的输送设备示意图；图2绘示依照本发明一实施例的具有除尘功能的输送设备示意图；图3绘示依照本发明另一实施例的具有除尘功能的输送设备示意图。
具体实施例方式下面参照附图，对本发明的具体实施方式
作进一步的详细描述。在整个描述中，相 同的附图标记表示相同的部件。应当理解的是，在本申请的说明书附图中，在下文描述中， 所述实施例只是为了方便描述本发明的具体实施方式
，并不是对本申请进行某种约束或限定。图1绘示出现有的输送设备示意图。该输送设备设置在一基板储存室中，用于将 多个基板卡匣100输送至各个工序位置。该输送设备通过输送通道102进行输送。输送通 道102由底板104及两侧壁106构成，移动基座108可移动地设置在输送通道102的底板 104上，例如通过一导轨及驱动装置使移动基座108可以沿输送通道102的轴线进行移动。 工作台110配置于移动基座108上方，用于承载卡匣100。卡匣100在工作台110上随移动 基座108的移动被输送至各个工序位置。输送通道102的底板104、两侧壁106以及工作台 均为封闭平板结构。因此在输送卡匣100时因接触、摩擦产生的微粒会滞留在其表面。为 了保持无尘环境，需要对工作台110、底板104以及两侧壁106定时人工清洁，以第六代代面 板厂的Conveyor为例，共需清洁1立方米的空间。请参照图2，其绘示依照本发明一实施例的具有除尘功能的输送设备示意图。输送 设备设置在一基板储存室中，用于将多个基板卡匣100输送至各个工序位置。输送设备通 过输送通道102进行输送。输送通道102由底板104及两侧壁106构成，移动基座108可 移动地设置在输送通道102的底板104上，例如通过一导轨及驱动装置使移动基座108可 以沿输送通道102的轴线进行移动。工作台110配置于移动基座108上方，用于承载卡匣 100。卡匣100在工作台110上随移动基座108的移动被输送至各个工序位置。输送通道 102的底板104、两侧壁106以及工作台的表面均为孔洞间隙结构，即表面具有多个通孔的 盒型结构。这样在输送卡匣100时因接触、摩擦产生的微粒便会因为重力通过孔洞间隙结 构进入盒型结构内部，而不会对环境产生影响。请参照图3，其绘示依照本发明另一实施例的具有除尘功能的输送设备示意图。为 了更好地收集微粒，在图2所示的实施例中加入一气流控制装置300，通过管道302与输送 通道102和工作台110连通。当工作台110承载卡匣100时，气流控制装置300形成负压， 即通过底板104、两侧壁106和工作台110表面的孔洞间隙结构从外部向内吸气。当工作台 110空载时，气流控制装置300形成正压，即通过底板104、两侧壁106和工作台110表面的 孔洞间隙结构向外部排气。此外，气流控制装置300还具有一过滤装置，例如一过滤网，以保持气流清洁。气流控制装置300在运作过程中将经由底板104、两侧壁106和工作台110 表面的孔洞间隙吸入的微粒集中收纳在一集尘盒中，这样在需要对输送设备进行清洁时仅 需清洁约0. 01立方米的集尘盒即可，而无需对工作台110、底板104以及两侧壁106等1立 方米的空间进行清洁。使用本发明所提供的具有除尘功能的输送设备，能够满足无尘环境的需求，在输 送卡匣的过程中经由孔洞间隙结构收集使微粒物或磨耗粉尘，防止飘散、污染问题，减少清 洁流程与时间。上文中，参照附图描述了本发明的具体实施方式
。但是，本领域中的普通技术人员 能够理解，在不偏离本发明的精神和范围的情况下，还可以对本发明的具体实施方式
作各 种变更和替换。这些变更和替换都落在本发明权利要求书所限定的范围内。
权利要求
1.一种具有除尘功能的输送设备，适用于输送装载多个基板的一卡匣，其特征在于，所 述输送设备包括一输送通道，具有一底板及两侧壁；一移动基座，可移动地设置在所述输送通道的所述底板上；以及一工作台，配置于所述移动基座上，用于承载所述卡匣，其表面为孔洞间隙结构。
2.如权利要求1所述的具有除尘功能的输送设备，其特征在于，所述输送通道的所述 底板及所述两侧壁的表面为孔洞间隙结构。
3.如权利要求1所述的具有除尘功能的输送设备，其特征在于，所述输送设备还包括 一气流控制装置，与所述输送通道和所述工作台连通。
4.如权利要求3所述的具有除尘功能的输送设备，其特征在于，所述气流控制装置在 所述工作台承载所述卡匣时通过孔洞间隙结构从外部向内吸气。
5.如权利要求3所述的具有除尘功能的输送设备，其特征在于，所述气流控制装置在 所述工作台空载时通过孔洞间隙结构向外部排气。
6.如权利要求3所述的具有除尘功能的输送设备，其特征在于，所述气流控制装置具 有一过滤装置。
7.如权利要求1所述的具有除尘功能的输送设备，其特征在于，所述输送设备还包括 一集尘盒，用于收纳由孔洞间隙进入的微粒。
全文摘要
本发明为一种具有除尘功能的输送设备，适用于输送装载多个基板的一卡匣，该输送设备包括一输送通道，具有一底板及两侧壁；一移动基座，可移动地设置在所述输送通道的底板上；以及一工作台，配置于移动基座上，用于承载卡匣，其表面为孔洞间隙结构。使用本发明提供的具有除尘功能的输送设备能够满足无尘环境的需求，在输送卡匣的过程中经由孔洞间隙结构收集微粒物或磨耗粉尘，防止飘散、污染问题，减少清洁流程与时间。
文档编号B08B17/00GK102060194SQ20101056808
公开日2011年5月18日 申请日期2010年11月23日 优先权日2010年11月23日
发明者李国男 申请人:友达光电股份有限公司