专利名称：一种槽式清洗装置和清洗机的制作方法
技术领域：
本实用新型涉及太阳电池制造领域，尤其涉及一种槽式清洗装置和清洗机。
背景技术：
太阳电池制造过程中，需要用到大量清洗机，如硅片清洗机、石墨舟清洗机、石英 管清洗机等等。以石英管清洗机为例，如图1所示，清洗机一般包括酸槽11和水槽12，将石英管 放入装有HCL、HF等酸洗化学液体中浸泡，然后人工将石英管搬运到水槽12中冲洗。由于 HCL、HF等酸洗化学液体对人体是有害的，搬运过程中稍有不慎就会使得残留在石英管上的 酸液沾到操作人员的皮肤上，造成安全事故，因此有必要进行改进。在一种改进的清洗装置技术方案中，使用自动化机械臂可以解决人工搬运的安全 问题，但自动化设备本身价格昂贵，而且由于酸性液体的存在，设备的材料上也需要特殊处 理以具有防酸性能，改造费用较高。
实用新型内容为了解决上述问题，本实用新型的目的是提供一种简单的、能节约清洗液且能保 证操作人员安全的清洗太阳电池相关工件的槽式清洗装置和清洗机。为了实现上述目的，本实用新型提供了 一种槽式清洗装置，包括清洗槽、用于暂存 所述清洗槽排出的清洗液的暂存槽和用于将所述清洗槽中的清洗液抽到所述暂存槽中和/ 或将所述暂存槽中的清洗液抽回所述清洗槽中的至少一个抽液泵，所述清洗槽上设有进水 管，所述暂存槽与所述清洗槽通过管道相互连接，所述抽液泵设在所述管道上。作为优选，所述清洗槽设有带第一排液阀的第一排液管和带有第一进液阀的第一 进液管，所述暂存槽设有带第二排液阀的第二排液管和带有第二进液阀的第二进液管，所 述第一排液管和所述第二排液管与所述抽液泵的进液端相连接，所述第一进液管和所述第 二进液管与所述抽液泵的排液端相连接。作为优选，所述抽液泵包括第一抽液泵和第二抽液泵，所述清洗槽设有带第一排 液阀的第一排液管和带有第一进液阀的第一进液管，所述暂存槽设有带第二排液阀的第二 排液管和带有第二进液阀的第二进液管，所述第一排液管与所述第一抽液泵的进液端相连 接，所述第二进液管与所述第一抽液泵的排液端相连接，所述第二排液管与所述第二抽液 泵的进液端相连接，所述第一进液管与所述第二抽液泵的排液端相连接。作为优选，所述清洗槽设有带第一排液阀的第一排液管和带有第一进液阀的第一 进液管，所述暂存槽设有第二排液管和第二进液管，所述第一排液管与所述抽液泵的进液 端相连接，所述第二进液管与所述抽液泵的排液端相连接，所述第一进液管与所述第二排 液管相连接，所述暂存槽位于所述清洗槽的顶部以上的位置。作为优选，所述清洗槽设有带第一排液阀的第一排液管和 一进液管，所述暂存 槽设有带第二排液阀的第二排液管和第二进液管，所述第二排液管与所述抽液泵的进液端相连接，所述第一进液管与所述抽液泵的排液端相连接，所述第一排液管与所述第二进液 管相连接，所述清洗槽位于所述暂存槽的顶部以上的位置。为了实现上述目的，本实用新型还提供了一种清洗机，其包括上述的槽式清洗装置。其中，所述清洗液可以为酸性洗液、中性清洗剂或碱性洗液等，被清洗工件可以是 硅片、石墨舟或石英管等。与现有技术相比，本实用新型的优点是本实用新型的槽式清洗装置将被清洗工件人工移动变成清洗液的移动，保证了操 作人员的安全，而且节约了清洗液。槽式清洗机采用这种清洗装置，只需要增加抽液泵及相 关管路配置和改进，改造成本较低。
图1是现有技术中的清洗机的结构示意图(仅示出相关部分)；图2是本实用新型槽式清洗装置的第一种实施例的结构示意图(仅示出相关部 分)；图3是本实用新型槽式清洗装置的第二种实施例的结构示意图(仅示出相关部 分)；图4是本实用新型槽式清洗装置的第三种实施例的结构示意图(仅示出相关部 分)；图5是本实用新型槽式清洗装置的第四种实施例的结构示意图(仅示出相关部 分)。
具体实施方式
以下结合附图详细说明本实用新型的实施例。为了描述方便，实施例中仅以酸性 洗液清洗太阳电池相关工件为例进行说明，相应地清洗槽选用防酸槽，抽液泵选用防酸泵。 其它清洗液与酸性洗液的原理相同，例如碱液洗液、中性清洗剂等，被清洗工件可以是硅 片、石墨舟或石英管等，特在此说明。如图2所示的本实用新型槽式清洗装置的第一种实施例的结构示意图，包括清洗槽21、暂存槽22和抽液泵23，清洗槽21上设有带进水阀2101的进水管210， 暂存槽22与清洗槽21通过管道相连接，暂存槽22用于暂存清洗槽21排出的清洗液，抽液 泵23用于将清洗槽21中的清洗液抽到暂存槽22中以及将暂存槽22中的清洗液抽回清洗 槽21中。暂存槽22与清洗槽21之间的管道具体连接方式如下清洗槽21设有带第一排液阀2111的第一排液管211和带有第一进液阀2121的 第一进液管212，暂存槽22设有带第二排液阀2211的第二排液管221和带有第二进液阀 2221的第二进液管222，第一排液管211和第二排液管221与抽液泵23的进液端相连接， 第一进液管212和第二进液管222与抽液泵23的排液端相连接。使用这种结构的清洗装置清洗被清洗工件的过程如下(以酸性洗液为例)清洗槽21中配制好清洗液(如HC1、HF等)，清洗槽21具有良好的防酸性能。将 被清洗工件(硅片、石墨舟、石英管等)放入清洗槽21中浸泡。此时第一排液阀2111、第一进液阀2121、第二排液阀2211、第二进液阀2221、进水阀2101均关闭。达到酸液清洗时间后，开启第一排液阀2111和第二进液阀2221，抽液泵23将清洗 液抽到暂存槽22中。抽液泵23是防酸泵，如隔膜泵等。关闭第一排液阀2111，开启进水阀2101，向清洗槽21中注入水对被清洗工件进行 清洗，清洗完毕后将废水排出清洗槽21。水洗的次数可以根据需要确定。然后人工取出被 清洗工件，此时被清洗工件上残留酸液很少或者几乎没有，保证了操作人员的安全。关闭第一排液阀2111和第二进液阀2221，开启第二排液阀2211和第一进液阀 2121，抽液泵23将暂存槽22内的清洗液抽回到清洗槽21中，供下一批被清洗工件使用，如 此形成循环结构，节约了清洗液的使用量。这种槽式清洗装置实现了清洗液的移动，代替了原有待清洗工的人工移动件，从 而保证了操作人员的安全。本实用新型还提供了一种包括上述的槽式清洗装置的清洗机， 可以很方便地对现有技术的清洗机进行改造实现，即通过设置抽液泵23、相关阀门和管路 管道，将现有技术的清洗机的水槽11改进成暂存槽22，在设备结构改动最小的情况下实现 酸液移动的功能。所述的清洗机可以是石英管清洗机或PECVD石墨舟清洗机。如图3所示的本实用新型槽式清洗装置的第二种实施例的结构示意图，和图2所 示的槽式清洗装置的第一种实施例结构示意图不同的是，包括第一抽液泵231和第二抽液 泵232，第一排液管211与第一抽液泵231的进液端相连接，第二进液管222与第一抽液泵 231的排液端相连接，第二排液管221与第二抽液泵232的进液端相连接，第一进液管212 与第二抽液泵232的排液端相连接。即第一抽液泵231用于将清洗槽21中的清洗液抽到 暂存槽22中，第二抽液泵232用于将暂存槽22中的清洗液抽回到清洗槽21中。使用这种结构的清洗装置清洗被清洗工件的过程和图2中的槽式清洗装置基本 相同，区别在于使用了两个抽液泵，这种槽式清洗装置同样能实现图2中的槽式清洗装置 相同的功能。如图4所示的本实用新型槽式清洗装置的第三种实施例的结构示意图，包括清洗槽21、暂存槽22和抽液泵23，清洗槽21上设有带进水阀2101的进水管210， 清洗槽21设有带第一排液阀2111的第一排液管211和带有第一进液阀2121的第一进液 管212，暂存槽22设有第二排液管221和第二进液管222，第一排液管211与抽液泵23的 进液端相连接，第二进液管222与抽液泵23的排液端相连接，第一进液管212与第二排液 管221相连接，暂存槽22位于清洗槽21的顶部以上的位置，从而使得暂存槽22中的清洗 液可以重力排放到清洗槽21中。使用这种结构的清洗装置清洗被清洗工件的过程和图2中的槽式清洗装置基本 相同，区别在于将暂存槽22设在清洗槽21的顶部以上的位置，从而不再需要抽液泵23将 暂存槽22中的清洗液抽回清洗槽21中，而是利用重力排放将暂存槽22中的清洗液排回清 洗槽21中，相应地暂存槽22可以省略第二排液阀2211和第二进液阀2221。这种结构槽式清洗装置实现了清洗液的移动和循环使用，保证了操作人员的安 全。但是需要在位于清洗槽21的顶部以上的位置增设暂存槽22，无法通过管路管道和相关 阀门将现有技术的清洗机的水槽11直接改进而成。如图5所示的本实用新型槽式清洗装置的第四种实施 的结构示意图，包括清洗槽21、暂存槽22和抽液泵23，清洗槽21上设有带进水阀2101的进水管210，清洗槽21设有带第一排液阀2111的第一排液管211和第一进液管212，暂存槽22设有带 第二排液阀2211的第二排液管221和第二进液管222，第二排液管221与抽液泵23的进液 端相连接，第一进液管212与抽液泵23的排液端相连接，第一排液管211与第二进液管222 相连接，清洗槽21位于暂存槽22的顶部以上的位置，从而使得清洗槽21中的清洗液可以 重力排放到暂存槽22中。使用这种结构的清洗装置清洗被清洗工件的过程和图2中的槽式清洗装置基本 相同，区别在于利用了重力排放，将清洗槽21设在暂存槽22的顶部以上的位置，从而不再 需要抽液泵23将清洗槽21中的清洗液抽到暂存槽22中，相应地暂存槽22可以省略第二 进液阀2221，清洗槽21可以省略第一进液阀2121。这种结构槽式清洗装置实现了清洗液的移动和循环使用，保证了操作人员的安 全。但是需要在位于清洗槽21的底部以下的位置增设暂存槽22，无法通过管路管道和相关 阀门将现有技术的清洗机的水槽11直接改进而成。从上述各个实施例可以看出，实现清洗液移动的槽式清洗装置结构并不是唯一 的，可以通过各种结构实现，因此使用上述各种结构的槽式清洗装置的清洗机的结构也可 以有很多种，但均需要实现清洗液的移动以保证操作人员的安全。以上实施例仅为本实用新型的示例性实施例，不用于限制本实用新型，本实用新 型的保护范围由附加的权利要求书限定。本领域技术人员可以在本实用新型的实质和保护 范围内，对本实用新型做出各种修改或等同替换，这种修改或等同替换也应视为落在本实 用新型的保护范围内。
权利要求一种槽式清洗装置，包括清洗槽，其特征在于，还包括用于暂存所述清洗槽排出的清洗液的暂存槽和用于将所述清洗槽中的清洗液抽到所述暂存槽中和/或将所述暂存槽中的清洗液抽回所述清洗槽中的至少一个抽液泵，所述清洗槽上设有进水管，所述暂存槽与所述清洗槽通过管道相互连接，所述抽液泵设在所述管道上。
2.根据权利要求1所述的槽式清洗装置，其特征在于，所述清洗槽设有带第一排液阀 的第一排液管和带有第一进液阀的第一进液管，所述暂存槽设有带第二排液阀的第二排液 管和带有第二进液阀的第二进液管，所述第一排液管和所述第二排液管与所述抽液泵的进 液端相连接，所述第一进液管和所述第二进液管与所述抽液泵的排液端相连接。
3.根据权利要求1所述的槽式清洗装置，其特征在于，所述抽液泵包括第一抽液泵和 第二抽液泵，所述清洗槽设有带第一排液阀的第一排液管和带有第一进液阀的第一进液 管，所述暂存槽设有带第二排液阀的第二排液管和带有第二进液阀的第二进液管，所述第 一排液管与所述第一抽液泵的进液端相连接，所述第二进液管与所述第一抽液泵的排液端 相连接，所述第二排液管与所述第二抽液泵的进液端相连接，所述第一进液管与所述第二 抽液泵的排液端相连接。
4.根据权利要求1所述的槽式清洗装置，其特征在于，所述清洗槽设有带第一排液阀 的第一排液管和带有第一进液阀的第一进液管，所述暂存槽设有第二排液管和第二进液 管，所述第一排液管与所述抽液泵的进液端相连接，所述第二进液管与所述抽液泵的排液 端相连接，所述第一进液管与所述第二排液管相连接，所述暂存槽位于所述清洗槽的顶部 以上的位置。
5.根据权利要求1所述的槽式清洗装置，其特征在于，所述清洗槽设有带第一排液阀 的第一排液管和第一进液管，所述暂存槽设有带第二排液阀的第二排液管和第二进液管， 所述第二排液管与所述抽液泵的进液端相连接，所述第一进液管与所述抽液泵的排液端相 连接，所述第一排液管与所述第二进液管相连接，所述清洗槽位于所述暂存槽的顶部以上 的位置。
6.根据权利要求1至5之一所述的槽式清洗装置，其特征在于，所述清洗液为酸性洗 液，所述清洗槽和所述暂存槽均为防酸槽，所述抽液泵为防酸泵。
7.一种槽式清洗机，其特征在于，包括权利要求1至6之一所述的槽式清洗装置。
专利摘要本实用新型公开了一种槽式清洗装置和清洗机，该清洗装置包括清洗槽、用于暂存所述清洗槽排出的清洗液的暂存槽和用于将所述清洗槽中的清洗液抽到所述暂存槽中和/或将所述暂存槽中的清洗液抽回所述清洗槽中的至少一个抽液泵，所述清洗槽上设有进水管，所述暂存槽与所述清洗槽通过管道相连接。槽式清洗机使用本实用新型的清洗装置，将被清洗工件人工移动变成清洗液的移动，保证了操作人员的安全，而且节约了清洗液。
文档编号B08B3/04GK201596639SQ20102011518
公开日2010年10月6日 申请日期2010年1月27日 优先权日2010年1月27日
发明者华重庆, 左凯峰, 汪峰, 翁建军 申请人:无锡尚德太阳能电力有限公司