专利名称：一种平板显示用清洗液及其制备方法
技术领域：
本发明涉及一种平板显示用清洗液及其制备方法。
背景技术：
在平板显示领域中，包括液晶显示(LCD)(具体包括扭曲向列型(TN)、超扭曲向列型(STN)和彩色超扭曲向列型(CSTN))、触摸屏(TP)、有机电致发光(OLED)及等离子体 (PDP)显示用玻璃基板等制备工艺过程中包括在玻璃基片上依次进行设置金属或金属氧化物层的金属配线形成工序；设置光致抗蚀剂层的工序；在光致抗蚀剂上转写掩模图形的曝光工序；按照图形对模进行蚀刻的蚀刻工序；以及除去光致抗蚀剂的剥离工序等。但近年，在液晶元件的组件制造工序中，伴随着高精细化、高集成化而引起的图形的超微细化倾向，促进了光致抗蚀剂因蚀刻工程的变性由于近年来对产品精度及技术要求的提高，需要在这些工序完成后对其在玻璃基板上面产生的金属离子，有机及无机杂质和固体粒子等进行清洗以有效去除。另外传统的清洗剂有的含有破坏臭氧层的含氟物质；有的含有硅酸盐， 碳酸钠盐均对环境造成一定污染等。
发明内容
本发明的目的是提供一种平板显示用清洗液及其制备方法。本发明提供的清洗液，包括式I所示表面活性剂、有机溶剂、螯合剂、防腐剂、消泡剂和水；
权利要求
1. 一种清洗液，包括式I所示表面活性剂、有机溶剂、螯合剂、防腐剂、消泡剂和水；
2.根据权利要求1所述的清洗液，其特征在于所述清洗液由所述式I所示表面活性剂、有机溶剂、螯合剂、防腐剂、消泡剂和水组成。
3.根据权利要求1或2所述的清洗液，其特征在于所述有机溶剂选自乙二醇、乙二醇单甲醚、乙二醇单乙醚、乙二醇单丁醚、乙二醇单苯醚、乙二醇单甲醚乙酸酯、乙二醇单乙醚乙酸酯、二乙二醇单甲醚、二乙二醇二甲醚、一缩二乙二醇、一缩二乙二醇单甲醚、一缩二乙二醇单乙醚、一缩二乙二醇单丙醚、一缩二乙二醇单丁醚、丙二醇、二丙二醇单甲醚和二丙二醇单乙醚中的至少一种，优选二乙二醇单甲醚、二乙二醇二甲醚和一缩二乙二醇单丁醚中的至少一种；所述螯合剂选自乙二胺四乙酸、乙二胺四乙酸二钠盐、二亚乙基三胺五乙酸、三亚乙基四胺六乙酸和氮基三乙酸中的至少一种，优选乙二胺四乙酸；所述防腐剂选自果糖、葡萄糖、木糖醇、山梨糖醇、1-硫甘油、2-巯基乙醇、邻苯二酚、 没食子酸、苹果酸和苯并三唑中的至少一种，优选苯并三唑和山梨糖醇中的至少一种； 所述消泡剂的结构通式如式II所示，
4.根据权利要求2或3所述的清洗液，其特征在于所述式I所示表面活性剂占所述清洗液总重的百分比为_20%，优选5% -10% ；所述有机溶剂占所述清洗液总重的百分比为5% -30%，优选10% -15% ； 所述螯合剂占所述清洗液总重的百分比为0. 5% _5%，优选0. 5-1% ； 所述防腐剂占所述清洗液总重的百分比为0. 01% -5%，优选1-1. 5% ； 所述消泡剂占所述清洗液总重的百分比为0.01% -5%，优选0. 1% ； 余量为水。
5.一种制备权利要求1-4任一所述清洗液的方法，包括如下步骤将权利要求1-4任一所述组分混勻，得到所述清洗液。
6.包括权利要求1-4任一所述清洗液的平板显示用清洗液。
7.权利要求1-4任一所述清洗液在制备平板显示用清洗液中的应用。
8.根据权利要求6所述的清洗液或权利要求7所述的应用，其特征在于所述平板显示所用平板材料为液晶显示用玻璃基板、触摸屏显示用玻璃基板、有机电致发光显示用玻璃基板或等离子体显示用玻璃基板。
9.根据权利要求8所述的清洗液或权利要求7所述的应用，其特征在于所述液晶显示用玻璃基板为扭曲向列型显示用玻璃基板、超扭曲向列型显示用玻璃基板或彩色超扭曲向列型显示用玻璃基板。
全文摘要
本发明公开了一种平板显示用清洗液及其制备方法。该清洗液，包括式I所示表面活性剂、有机溶剂、螯合剂、防腐剂、消泡剂和水；所述式I所示表面活性剂占所述清洗液总重的百分比为1％-20％；所述有机溶剂占所述清洗液总重的百分比为5％-30％；所述螯合剂占所述清洗液总重的百分比为0.5％-5％；所述防腐剂占所述清洗液总重的百分比为0.01％-5％；所述消泡剂占所述清洗液总重的百分比为0.01％-5％；余量为水。该清洗液能有效除去玻璃基板上面的金属离子，有机及无机杂质和固体粒子，清洗能力强，且对环境无污染，清洗后对基板无腐蚀等特点。
文档编号C11D3/60GK102296001SQ201110206269
公开日2011年12月28日 申请日期2011年7月22日 优先权日2011年7月22日
发明者朱玉国 申请人:绵阳信利电子有限公司