专利名称：清洗装置的制作方法
技术领域：
本实用新型涉及半导体领域，特别涉及一种清洗装置。
背景技术：
现有技术在晶圆上制作铜互连后，进行化学机械研磨，研磨后一般要进行清洗去除晶圆表面的化学物和杂质，清洗晶圆的装置包括冲洗晶圆的喷淋管、支撑并旋转晶圆的滚筒和刷洗晶圆的毛刷装置，但是现有技术的毛刷装置包括毛刷和毛刷的气动控制系统，所述毛刷的气动控制系统包括气缸、滑轮、皮带和气动阀，通过气动阀控制气缸来带动毛刷 开关进行刷洗，所述气动阀经常由于气切換和漏气产生报警，所述毛刷的气动控制系统中的滑轮、气缸、皮带和气动阀其中任一环出现问题就会导致毛刷异常，产生报警，清洗中的异常会引起晶圆缺陷和表面划伤。现有技术中气动控制的清洗装置停机风险大，正常运行时间短。
实用新型内容本实用新型的目的是提供一种清洗装置，以减少因气动控制产生的报警，降低机台的停机时间，提闻机台的运行时间，同时减少机台故障引起的晶圆缺陷。本实用新型的技术解决方案是ー种清洗装置，包括清洗槽，用于清洗晶圆，还包括置于清洗槽内的毛刷装置，由电磁继电器控制其开关；喷淋装置，位于毛刷装置的上方；滚筒，位于毛刷装置的下方，支撑并旋转晶圆。作为优选所述毛刷装置包括间隔设置的两个毛刷，每个所述毛刷内贯穿有心轴，心轴两端通过接头连接在清洗槽上。作为优选所述电磁继电器包括吸入线圈、置于吸入线圈内的铁芯、衔铁和弹簧；所述衔铁为所述毛刷的心轴且与铁芯相对设置，所述弹簧置于所述心轴的外側。作为优选所述电磁继电器控制所述两个毛刷。作为优选所述喷淋装置包括喷淋管和连接在喷淋管上的喷嘴，所述喷淋管通过固定夹安装在清洗槽内壁上。作为优选所述滚筒为三个且位于同一平面上，所述滚筒所在平面位于两毛刷之间。作为优选所述毛刷的心轴中还包括一个喷淋管。作为优选所述毛刷装置还包括带动毛刷旋转的转动装置。与现有技术相比，本实用新型采用电磁继电器控制毛刷装置的开关，降低了由于气切换或漏气造成的报警，降低机台的停机时间，提高机台的运行时间，同时减少机台故障引起的晶圆缺陷。
图I是本实用新型清洗装置的主视图。图2是本实用新型清洗装置的剖面图。图3是本实用新型毛刷装置的电磁继电器的驱动电路图。
具体实施方式
本实用新型下面将结合附图作进ー步详述在下面的描述中阐述了很多具体细节以便于充分理解本发明。但是本发明能够以很多不同于在此描述的其它方式来实施，本领域技术人员可以在不违背本发明内涵的情况下做类似推广，因此本发明不受下面公开的具体实施的限制。其次，本发明利用示意图进行详细描述，在详述本发明实施例时，为便于说明，表示器件结构的剖面图会不依一般比例作局部放大，而且所述示意图只是实例，其在此不应限制本发明保护的范围。此外，在实际制作中应包含长度、宽度及深度的三维空间尺寸。请參阅图I、图2所示，在本实施例中，一种清洗装置，包括用于清洗晶圆I的清洗槽(图中未示)，还包括置于清洗槽内的毛刷装置，由电磁继电器控制其开关；所述毛刷装置包括两间隔一定距离的毛刷3，所述毛刷3内贯穿有心轴31，心轴31两端通过接头连接在清洗槽上。所述毛刷的心轴31中还包括一个喷淋管32，用于纯水的喷淋。所述毛刷装置还包括带动毛刷3旋转的转动装置(图中未示)。喷淋装置4，位于毛刷装置的上方；所述喷淋装置包括喷淋管41和连接在喷淋管41上的喷嘴42，所述喷淋管41通过固定夹(图中未示)安装在清洗槽内壁上。滚筒2，位于毛刷装置的下方，支撑并旋转晶圆I。于本实施例中，所述滚筒2为三个且位于同一平面上。所述滚筒2所在平面位于两毛刷3之间，使得滚筒2支撑的晶圆I也恰好位于两毛刷3之间。所述两毛刷3由同一电磁继电器控制(图中未示)。所述电磁继电器包括吸入线圈、置于吸入线圈内的铁芯、衔铁和弹簧；所述衔铁为所述毛刷的心轴31且与铁芯相对设置、所述弹簧(图中未示)置于所述心轴31的外側。下面简单介绍下电磁继电器的基本工作原理电磁继电器包括铁芯、线圈、衔鉄、弹簧和触点，铁芯置于线圈内，衔铁与铁芯相对设置，衔铁一端与弹簧连接，另一端与触点连接，其中铁芯和线圈作为开关电磁鉄。当线圈通电后，鉄心和衔铁被磁化，成为极性相反的两块磁铁，它们之间产生电磁吸力。当吸カ大于弹簧的反作用カ时，衔铁开始向着鉄心方向运动。当线圈中的电流小于某一定值或中断供电时，电磁吸力小于弹簧的反作用力，衔铁将在反作用力的作用下返回原来的释放位置。铁芯和线圈组成的开关电磁铁是利用载流线圈和铁心产生的电磁吸力来操纵机械装置，以完成预期动作的ー种电器。开关电磁铁是将电能转换为机械能的一种电磁元件。电磁继电器就是利用电磁铁控制工作电路通断的开关。如图3所示，开关电磁铁的驱动电路，包括ー个控制芯片100、与控制芯片输出端相连的第一反相器200、连接在第一反相器200上的第一固态继电器300,连接于第一固态继电器300的开关电磁铁的吸入线圈400 ;控制芯片100的一个输入端Yl从低电平向高电平跳转，这种变化会让控制芯片100的输出端Q输出ー个瞬时的高电平脉冲电流，维持时间为ΛΤ，所述高电平脉冲电流经第一反相器200后，第一反相器200的输出端电势将会出现同样脉宽的低电平，第一固态继电器300的输入端也有Λ T时间的电流通过,这时第一固态继电器300的输出端出现AT时间的导通。在这段时间内，很强的吸入电流通过开关电磁铁的吸入线圈400，产生足够的电磁力吸入电磁铁的铁芯。脉宽AT的选择应该參考开关电磁铁的性能參数设定，所述维持时间AT由Rl和Cl的值来 确定，既要满足吸入铁芯的要求，又不能太长导致线圈烧毀。所述清洗装置的开关工作原理如下把待清洗的晶圆I放在滚筒2上位于两毛刷3之间并开启滚筒2带动晶圆I旋转，再启动喷淋装置4，化学清洗液喷淋在待清洗晶圆I上，再给开关电磁铁的驱动电路ー个高电平脉冲，此时水槽外部的心轴31在电磁铁通电后产生电磁吸カ克服其弹簧的恢复カ互相吸住，则毛刷3闭合，并且在一段时间内，很强的吸入电流通过开关电磁铁的吸入线圈，产生足够的电磁力吸入电磁铁的铁芯，这样的话能保持毛刷闭合做洗刷晶圆I的动作，启动毛刷转动装置使其旋转；当开关电磁铁断电时，电磁铁失去磁性，心轴31在弹簧的恢复カ下打开，毛刷3打开之后，关闭喷淋装置4，通纯水给心轴31内的喷淋管32对晶圆I做纯水喷洗，完成清洗后取出晶圆I。以上所述仅为本实用新型的较佳实施例，凡依本实用新型权利要求范围所做的均等变化与修饰，皆应属本实用新型权利要求的涵盖范围。
权利要求1.一种清洗装置，包括用于清洗晶圆的清洗槽，其特征在于，还包括置于清洗槽内的 毛刷装置，由电磁继电器控制其开关； 喷淋装置，位于毛刷装置的上方； 滚筒，位于毛刷装置的下方，支撑并旋转晶圆。
2.根据权利要求I所述清洗装置，其特征在于所述毛刷装置包括间隔设置的两个毛刷，每个所述毛刷内贯穿有心轴，心轴两端通过接头连接在清洗槽上。
3.根据权利要求2所述清洗装置，其特征在于所述电磁继电器包括吸入线圈、置于吸入线圈内的铁芯、衔铁和弹簧；所述衔铁为所述毛刷的心轴且与铁芯相对设置，所述弹簧置于所述心轴的外側。
4.根据权利要求3所述清洗装置，其特征在于所述电磁继电器控制所述两个毛刷。
5.根据权利要求I所述清洗装置，其特征在于所述喷淋装置包括喷淋管和连接在喷淋管上的喷嘴，所述喷淋管通过固定夹安装在清洗槽内壁上。
6.根据权利要求I所述清洗装置，其特征在于所述滚筒为三个且位于同一平面上，所述滚筒所在平面位于两毛刷之间。
7.根据权利要求2所述清洗装置，其特征在于所述毛刷的心轴中还包括一个喷淋管。
8.根据权利要求I所述清洗装置，其特征在于所述毛刷装置还包括带动毛刷旋转的转动装置。
专利摘要本实用新型涉及一种清洗装置，包括清洗槽，用于清洗晶圆，还包括置于清洗槽内的毛刷装置，由电磁继电器控制其开关；喷淋装置，位于毛刷装置的上方；滚筒，位于毛刷装置的下方，支撑并旋转晶圆。本实用新型采用电磁继电器控制毛刷装置的开关，降低了由于气切换或漏气造成的报警，降低机台的停机时间，提高机台的运行时间，同时减少机台故障引起的晶圆缺陷。
文档编号B08B7/04GK202398590SQ20112054582
公开日2012年8月29日 申请日期2011年12月22日 优先权日2011年12月22日
发明者唐强, 李佩, 林保璋 申请人:中芯国际集成电路制造(上海)有限公司