专利名称：一种供气系统的制作方法
技术领域：
本实用新型涉及清洗供气管领域，尤其涉及一种供气系统。
背景技术：
供气系统的设备部件主要有Tank (储罐)、供气管路、Gas Window (气体窗口)、力口热系统以及一系列阀门构成。供气过程为六羰基钨(W(CO)6)粉，简称钨粉，储存在Tank内部，外置的加热系统给Tank加热，使固态钨粉气化，通过氩(Ar)气流将气化的钨粉沿供气管路输送到Gas Window内。在正常情况下，供气管路依靠外置加热系统将温度维持在规定的范围内，使得固态钨粉气化后可正常输送到Gas Window内。但出现死机或加热系统异常造成供气管路温度下降至超出规定温度，气态钨粉结·晶附着在管内壁上，造成阻塞，影响钨粉流量。在现有技术中，利用普通气压的氩气进行清洗，即利用氩气将结晶的钨粉从管内壁上吹下，并排除管外。但是钨粉结晶体的致密性较强，采用上述方法很难将管内壁上的钨粉结晶体清洗完全。
实用新型内容本实用新型的实施例提供一种供气系统，用以解决供气管路难以清洗的问题。为解决上述问题，本实用新型的实施例采用如下技术方案一种供气系统，包括储罐，供气管路，气体窗口 ；其中，所述供气管路包括至少一节供气管；分别设置在所述供气管的两端的电磁转换装置；为所述电磁转换装置供电的电源；以及设置在所述供气管中的弹簧构件。本实用新型实施例提供了一种供气系统，在供气管的两端分别设置电磁转换装置，在供气管内设置有弹簧构件，打开电磁转换装置，并通入电源，电磁转换装置带动弹簧移动可以清理管壁上的钨粉，同时弹簧自有一定的震动使得黏附在弹簧上的钨粉震动掉，通入氩气吹出供气管，这样能更容易的清洗供气管，并将供气管清洗的更干净，从而解决了供气管路难以清洗的问题。
为了更清楚地说明本实用新型实施例或现有技术中的技术方案，下面将对实施例或现有技术描述中所需要使用的附图作简单地介绍，显而易见地，下面描述中的附图仅仅是本实用新型的一些实施例，对于本领域普通技术人员来讲，在不付出创造性劳动的前提下，还可以根据这些附图获得其他的附图。图I为本实用新型实施例提供的一种供气系统的示意图；图2为图I所示的供气管内部示意图；图3为本实用新型实施例提供的一种弹簧装置的结构示意图；图4为本实用新型实施例提供的一种弹簧装置的示意图；图5为本实用新型实施例提供的另一种弹簧装置的示意图；[0014]附图标记储罐-101，供气管-102，气体窗口 -103，电磁转换装置-104，弹簧构件-105，弹簧-106,可被磁化的环-107。
具体实施方式
下面将结合本实用新型实施例中的附图，对本实用新型实施例中的技术方案进行清楚、完整地描述，显然，所描述的实施例仅仅是本实用新型一部分实施例，而不是全部的实施例。基于本实用新型中的实施例，本领域普通技术人员在没有做出创造性劳动前提下所获得的所有其他实施例，都属于本实用新型保护的范围。本实用新型实施例提供了一种供气系统，如图I所示，包括储罐101，供气管路， 其中，所述供气管路102包括至少一节供气管，气体窗103，分别设置在所述供气管的两端的电磁转换装置104，为电磁转换装置供电的电源，以及设置在所述供气管中的弹簧构件105。具体的，储罐101中存储了钨粉，储罐101的出口端、氩气供气装置(图中未标识)与该供气管102入口端连接。供气管路至少包含一节供气管102，且供气管102内设置有弹簧构件105。当进行供气管102内壁的钨粉清理时，切断储罐101与供气管102入口的连接，氩气供气装置与该供气管102入口连接以提供清洗气体，将电磁转换装置104通电后，电磁转换装置104产生磁力，弹簧构件105在磁力的作用下自身产生一定幅度的震动并产生一定的位移，弹簧构件105自身产生的一定幅度的震动会使黏附在弹簧构件上的钨粉结晶体震动掉，弹簧构件105与供气管102接触面的位移可以清洗与弹簧构件接触的供气管壁上黏附的钨粉结晶体，在通过氩气将钨粉结晶体吹出供气管。需要说明的是，在本发明中为了方便叙述将供气管路以拐点为界划分为至少一节供气管；例如，若供气管路中没有拐点，则该供气管路就称为一节供气管；若供气管路中有一个拐点，则该供气管路就包含两节供气管。基于现有技术的供气管路的设计，上述电磁转换装置可以设置在上述任意一节供气管内。具体应用中，可以是设备正常工作时，储罐中存储的是钨粉，设备异常或需要清洗时，储罐中存储的是氩气。进一步的，如图2所示，弹簧构件105可以包括弹簧106，与弹簧106—端连接的可被磁化的环107。具体的，弹簧106 —端连接可被磁化的环107，另一端连接供气管102。弹簧106在磁力的作用下的伸缩运动可以清洗与弹簧106接收的供气管102 —端管壁上黏附的钨粉。弹簧106 —端连接可被磁化的环107，另一端连接供气管102，这样可以使弹簧106固定在供气管102内，避免了设备正常工作时，弹簧106的运动对供气系统造成负面影响。弹簧106与可被磁化的环107的连接为可拆卸连接，这样便于部件的更换。优选的，可被磁化的环107为铁环。优选的，弹簧构件105，如图3所示，具体包括弹簧106，与弹簧106两端连接的可被磁化的环107。具体的，电磁转换装置104通电后，产生磁力，弹簧106两端连接的可被磁化的环107在磁力的作用下，带动弹簧106做拉伸运动，可以清洗与弹簧106接收的供气管102管壁上黏附的钨粉。弹簧106两端连接可被磁化的环107还可以使弹簧106固定在供气管102内，避免了设备正常工作时，弹簧106的运动对供气系统造成负面影响。弹簧106与可被磁化的环107的连接为可拆卸连接，也就是说，可被磁化的环107可以从弹簧106上拆卸下来，这样便于部件的更换。进一步优选的，可被磁化的环107为铁环。供气管102两端的电磁转换装置104可以同时通入电压，如图4所示，使得供气管102两端的电磁转换装置104同时产生磁力，吸引供气管102内的弹簧构件105向两边拉长，从而实现清洗供气管。也可以设置供气管102两端的电磁转换装置104通入电压有一定的延迟，如图5所示，将供气管102 —端的电磁转换装置104通电，例如将A端的电磁转换装置通入电压，这样可以使得供气管102内部的弹簧构件105的A端的可被磁化的环107在磁力的作用下，带动弹簧106拉伸运动；供气管102的另一端的电磁转换装置104暂不通电，例如B端的电磁转换装置104未通电，则B端的可被磁化的环107卡在管壁上；下一时刻B端电磁转换装置通入电压时，B端的可被磁化的环107在在磁力的作用下，带动弹簧106运动，A端的可被磁化的环107卡在管壁上，从而实现清洗供气管路的目的。进一步的，每相邻两节供气管由电磁转换装置104连接。具体的，基于现有技术的供气管路的设计，电磁转换装置104可以设置在供气管102内。但本实用新型优选的，摒弃现有技术中在供气管路的每一拐点处依靠连接管连接每相邻两节供气管102的设计，而在供气管路的每一拐点处依靠电磁转换装置104连接每相邻两节供气管102，使得电磁转换装置104既起到驱动弹簧构件105震动拉伸的作用，又起到现有技术中连接管的作用。更进一步的，为了便于维护，也便于部件更换上述每相邻两节供气管102由电磁转换装置104可拆卸连接。另外，供气系统包括加热系统，控制模块和反馈模块。控制模块用于负责控制供气系统的各个部件。反馈模块用于在控制模块死机或加热系统异常情况下触发电磁转换装置10，或进一步触发加热系统。在控制模块死机或加热系统异常情况下，为了保护整个供气管路中的供气管102，避免出现气体结晶附着在供气管管壁上，设备会出现供气系统报警，并向反馈模块发送触发指令，用于触发反馈模块触发电磁转换装置104，或进一步触发加热系统。反馈模块接收到触发指令后，向电磁转换装置通入开启信号，使得弹簧构件震动、拉伸清除掉附着在供气管管壁上的结晶体；当然反馈模块还可以在向电磁转换装置通入电压时，进一步发送指令触发加热系统，使得供气管路中的结晶体升华，从而进一步实现对供气管路的清洗，优选的，所用的电源为不间断电源UPS。需要说明的是，上述每一个电磁转换装置可以分别连接电源，实现对电磁转换装置的单独控制；但在本实用新型中，优选的，电磁转换装置104为并联结构。具体的，可以是在供气系统中的所有电磁转换装置采用并联的连接方式共用一个电源；当然还可以是在供气系统中的至少两个电磁转换装置采用并联的连接方式，其他的电磁转换装置可以分别连接电源以实现单独控制。电磁转换装置104为并联结构可以局部清洗供气管路。若供气管路的某部分供气 管需要清洗，则将需要清洗的供气管连接的电磁转换装置104通入电压，使电磁转换装置104产生磁力，带动供气管102的弹簧106运动，清理管壁上的钨粉，实现局部供气管路清洗的目的。本实用新型实施例提供了一种供气系统，在供气管的两端分别设置电磁转换装置，在供气管内设置有弹簧构件，打开电磁转换装置，并通入电压，电磁转换装置带动弹簧移动可以清理管壁上的钨粉，同时弹簧自有一定的震动使得黏附在弹簧上的钨粉震动掉，通入氩气将钨粉结晶体吹出供气管，这样能更容易的清洗供气管，并将供气管清洗的更干净，从而解决了供气管路难以清洗的问题。以上所述，仅为本实用新型的具体实施方式
，但本实用新型的保护范围并不局限于此，任何熟悉本技术领域的技术人员在本实用新型揭露的技术范围内，可轻易想到变化或替换，都应涵盖在本实用新型的保护范围之内。因此，本实用新型的保护范围应以所述权利要求的保护范围为准。
权利要求1.一种供气系统，包括储罐，供气管路，气体窗口 ；其中，所述供气管路包括至少一节供气管；其特征在于，还包括 分别设置在所述供气管的两端的电磁转换装置； 为所述电磁转换装置供电的电源； 以及设置在所述供气管中的弹簧构件。
2.根据权利要求I所述的供气系统，其特征在于，所述弹簧构件具体包括弹簧、所述弹簧两端连接的可被磁化的环。
3.根据权利要求2所述的供气系统，其特征在于，所述弹簧与所述可被磁化的环的连接为可拆卸连接。
4.根据权利要求I所述的供气系统，其特征在于，所述弹簧构件具体包括弹簧、所述弹簧一端连接的可被磁化的环； 所述弹簧的另一端固定连接在所述供气管的一端。
5.根据权利要求1-4任一项所述的供气系统，其特征在于，每相邻两节供气管由电磁转换装置连接。
6.根据权利要求5所述的供气系统，其特征在于，每相邻两节供气管由电磁转换装置可拆卸连接。
7.根据权利要求1-4任一项所述的供气系统，其特征在于，所述电源为不间断电压UPS。
8.根据权利要求I所述的供气系统，其特征在于，还包括加热系统，控制模块，反馈模块； 所述控制模块用于控制供气系统的各个部件； 所述反馈模块用于在控制模块死机或加热系统异常情况下触发所述电磁转换装置，或进一步触发所述加热系统。
9.根据权利要求I所述的供气系统，其特征在于，所述电磁转换装置为并联结构。
专利摘要本实用新型公开了一种供气系统，涉及液晶显示面板的生产领域，用以解决供气管路难以清洗的问题。所述系统包括储罐，供气管路，气体窗口；其中，所述供气管路包括至少一节供气管；分别设置在所述供气管的两端的电磁转换装置；为所述电磁转换装置供电的电源；以及设置在所述供气管中的弹簧构件。本实用新型的方案适用于显示面板或半导体器件的生产。
文档编号B08B9/043GK202442109SQ201220069780
公开日2012年9月19日 申请日期2012年2月28日 优先权日2012年2月28日
发明者刘国全, 滕飞, 田牛, 魏广伟 申请人:京东方科技集团股份有限公司, 合肥京东方光电科技有限公司