1.一种用于背面处理(BST)的刷子，所述刷子包括：
基座部分；以及
刷部分，连接至所述基座部分，所述刷部分具有设置在远离所述基座部分的表面上的多个槽，其中，所述槽的至少一个具有至少部分地位于所述表面的边缘上的至少一个开口端。
2.根据权利要求1所述的刷子，其中，所述槽的至少一个是条形。
3.根据权利要求1所述的刷子，其中，所述槽的至少一个是波形。
4.根据权利要求1所述的刷子，其中，所述槽的至少一个是螺旋形。
5.根据权利要求1所述的刷子，其中，所述刷部分包括聚乙烯醇的材料。
6.根据权利要求1所述的刷子，其中，所述基座部分包括塑料材料。
7.一种背面处理(BST)组件，包括；
载体头部，配置为保持衬底；
刷子，包括：
基座部分；和
刷部分，具有彼此相对的第一表面和第二表面，所述第一表面配置为接触所述衬底，所述第二表面连接至所述基座部分，所述刷部分具有设置在所述第一表面上的多个槽；以及
刷柄，配置为保持所述基座部分。
8.根据权利要求7所述的背面处理组件，其中，所述槽的至少一个具有至少部分地位于所述第一表面的边缘上的至少一个开口端。
9.根据权利要求7所述的背面处理组件，还包括：
压力施加机构，配置为对着所述衬底对所述刷子施加压力。
10.一种用于清洗衬底的方法，所述方法包括：
将刷子的表面接触所述衬底，其中，所述刷子具有位于所述刷子的所述表面上的多个槽；以及
旋转所述刷子和所述衬底的至少一个以刷所述衬底，使得通过所述刷子的所述槽从所述衬底去除多个颗粒。