刷子、背面处理组件和用于清洗衬底的方法与流程

技术总结
本发明实施例提供了一种用于背面处理(BST)的刷子。刷子包括基座部分和刷部分。刷部分连接到基座部分。刷部分有多个设置在远离基座部分的表面上的槽，槽的至少一个具有至少部分位于表面的边缘的至少一个开口端。本发明实施例涉及刷子、背面处理组件和用于清洗衬底的方法。

技术研发人员：曾国书;商耀元
受保护的技术使用者：台湾积体电路制造股份有限公司
文档号码：201610674016
技术研发日：2016.08.16
技术公布日：2017.03.01