专利名称：一种大尺寸陶瓷靶材的压力注浆成型模具的制作方法
技术领域：
本实用新型涉及一种大尺寸陶瓷靶材的压力注浆成型模具。
技术背景 陶瓷靶材的成型方法有常压注浆法、压力注浆法和模压法。模压法由于设备的限制制备大尺寸靶材时，金属模具和冲压设备的投资较大，工艺流程较复杂，且制备的陶瓷素坯密度不均匀，成形的坯体也容易产生裂纹和弯曲。常压注浆法在作业过程中使用的是石膏模具，模具中的水溶性钙会渗入到成型的坯体中，影响陶瓷靶材的性能，从而影响溅射薄膜的质量。压力注浆法所使用的石膏模具，有以上的不足，作业复杂且使用寿命短，成型后的素坯所需干燥时间长，不适合高效率、机械化的大规模生产，无法产业化推广。
实用新型内容本实用新型的目的是提供一种大尺寸陶瓷靶材的压力注浆成型模具，采用该模具后能有效提高压力注浆成型素坯密度，并且消除素坯表面龟裂纹。一种大尺寸陶瓷靶材的压力注浆成型模具，其特别之处在于包括一中空模框，在该中空模框上开有压力注浆口，而在该中空模框上相对的两端均开口，在该两个开口处分别固定有陶瓷微孔板从而将开口处密封，而在该两块陶瓷微孔板外表面上分别安装有上模板和下模板。其中压力注浆口为圆柱形，其直径为3-10mm。其中中空模框、上模板和下模板均采用不锈钢材质。其中在上模板和下模板上与陶瓷微孔板接触处的表面均开有排水凹槽，从而将由陶瓷微孔板渗出的水排出。其中排水凹槽的长度与上模板或下模板的长度相同，而宽度和高度均为2mm。其中中空模框为长方体或圆柱体。其中两块陶瓷微孔板分别与相邻的上模板和下模板之间用橡胶密封。其中两块陶瓷微孔板与中空模框之间用橡胶密封。本实用新型是一种大尺寸陶瓷靶材的压力注浆成型模具，该模具是一种带压过滤式成型模具，具有制造成本低、制备的陶瓷靶材素坯密度高等优点，尤其是可消除陶瓷靶材素坯表面的龟裂纹现象。该模具适用于低成本、大批量制备大尺寸陶瓷靶材的生产。本实用新型模具可连续注浆，提高产品的生产效率，提高了陶瓷素坯的均匀性和密度，其中注浆后的素坯表面平整、光滑无裂纹，烧结体不易出现碎裂、密度不均匀的现象，能应用于不同尺寸的陶瓷平面靶材，尤其是大尺寸陶瓷平面靶材，工艺流程简单，适合高效率、机械化的大规模生产。
附图I为本实用新型的结构示意图。
具体实施方式
如图I所示，本实用新型是一种大尺寸陶瓷靶材的压力注浆成型模具，包括一中空模框1，中空模框I根据需要可以采用中空的长方体或圆柱体，并且其两端开口呈管状，在该中空模框I上开有压力注浆口 2，而在该中空模框I上相对的两端(即图I中上、下端)均开口，在该两个开口处分别用陶瓷微孔板3密封，即中空模框I的上、下端的边缘部分(均为矩形、环状)与两块陶瓷微孔板3接触处密封。而在该两块陶瓷微孔板3外表面上分别安装有上模板4和下模板5，并且在上模板4和下模板5上与陶瓷微孔板3接触处的表面均开有排水凹槽6，从而将由陶瓷微孔板3渗出的水排出。其中压力注浆口 2采用圆柱形通孔，直径为3-10mm，而中空模框I、上模板4和下模板5均采用不锈钢材质，陶瓷微孔板3选择能在压力作用下将陶瓷粉浆中多余液相排出 的即可。其中两块陶瓷微孔板3分别与相邻的上模板4和下模板5之间用橡胶密封，而两块陶瓷微孔板3与中空模框I之间也用橡胶密封。本实用新型模具的使用方法如下如图I所示，在压力注浆过程中，陶瓷浆料从压力注浆口 2进入，注满陶瓷微孔板3和中空模框I之间形成的陶瓷粉浆的空腔，在隔膜泵的压力作用下陶瓷浆料通过两块陶瓷微孔板3的过滤，将多余的液相排出，通过排水凹槽6排出模具，经过较短时间的保压后，中空模框I的空腔内形成密度均匀、表面平整、无龟裂纹的陶瓷素坯，把上模板4和上方的陶瓷微孔板3移开，将中空模框I缓慢提取，完成陶瓷素坯脱模，取出陶瓷素坯即完成整个压力注浆成型过程。
权利要求1.一种大尺寸陶瓷靶材的压力注浆成型模具，其特征在于包括一中空模框(1)，在该中空模框(I)上开有压力注浆口(2)，而在该中空模框(I)上相对的两端均开口，在该两个开口处分别固定有陶瓷微孔板(3)从而将开口处密封，而在该两块陶瓷微孔板(3)外表面上分别安装有上模板(4)和下模板(5)。
2.如权利要求I所述的一种大尺寸陶瓷靶材的压力注浆成型模具，其特征在于其中压力注浆口(2)为圆柱形，其直径为3-10mm。
3.如权利要求I所述的一种大尺寸陶瓷靶材的压力注浆成型模具，其特征在于其中中空模框(I)、上模板(4)和下模板(5)均采用不锈钢材质。
4.如权利要求I至3中任意一项所述的一种大尺寸陶瓷靶材的压力注浆成型模具，其特征在于其中在上模板(4)和下模板(5)上与陶瓷微孔板(3)接触处的表面均开有排水凹槽￠)，从而将由陶瓷微孔板(3)渗出的水排出。
5.如权利要求4所述的一种大尺寸陶瓷靶材的压力注浆成型模具，其特征在于其中排水凹槽(6)的长度与上模板⑷或下模板(5)的长度相同，而宽度和高度均为2mm。
6.如权利要求I至3中任意一项所述的一种大尺寸陶瓷靶材的压力注浆成型模具，其特征在于其中中空模框(I)为长方体或圆柱体。
7.如权利要求I至3中任意一项所述的一种大尺寸陶瓷靶材的压力注浆成型模具，其特征在于其中两块陶瓷微孔板⑶分别与相邻的上模板⑷和下模板(5)之间用橡胶密封。
8.如权利要求I至3中任意一项所述的一种大尺寸陶瓷靶材的压力注浆成型模具，其特征在于其中两块陶瓷微孔板(3)与中空模框(I)之间用橡胶密封。
专利摘要本实用新型涉及一种大尺寸陶瓷靶材的压力注浆成型模具，其特点是包括一中空模框(1)，在该中空模框(1)上开有压力注浆口(2)，而在该中空模框(1)上相对的两端均开口，在该两个开口处分别固定有陶瓷微孔板(3)从而将开口处密封，而在该两块陶瓷微孔板(3)外表面上分别安装有上模板(4)和下模板(5)。本实用新型模具可连续注浆，提高产品的生产效率，提高了陶瓷素坯的均匀性和密度，其中注浆后的素坯表面平整、光滑无裂纹，烧结体不易出现碎裂、密度不均匀的现象，能应用于不同尺寸的陶瓷平面靶材，尤其是大尺寸陶瓷平面靶材，工艺流程简单，适合高效率、机械化的大规模生产。
文档编号B28B7/00GK202763986SQ20122033153
公开日2013年3月6日 申请日期2012年7月10日 优先权日2012年7月10日
发明者白晓东, 岳坤, 郑金凤, 扈百直, 王东新, 郭顺, 左婧懿, 赵世乾, 马晓波, 张丽, 孙本双, 钟景明, 李彬 申请人:国家钽铌特种金属材料工程技术研究中心, 西北稀有金属材料研究院