开方机晶托的制作方法
【专利摘要】本发明公开一种开方机晶托，包括方形的本体，本体的上下表面均为平面，在本体的上表面的纵向和横向分别开有若干个等距的线槽，每个所述线槽均贯穿于本体的两端并且线槽的宽度至少为20mm。本发明设计的开方机晶托，总高度达到100mm，这样可以留有足够的空间来消化掉切割时产生的线弓，可以避免钢线切割到晶托的情况的发生，并且为后期提高切割速度提供了物质保障。可以保证母锭能够一次性切透，提高工作效率，并且省去扰曲复原时间并省去这部分时间所使用的钢线，降低成本；同时为后续对工艺的优化，特别是提高切割速度提供物质保障；实现了消除钢线切割到晶托底座的隐患，延长其使用寿命的目的。
【专利说明】开方机晶托
【技术领域】
[0001]本发明是一种开方机晶托，属于开方机设备领域。
【背景技术】
[0002]开方机晶托是母锭的载体，切割前需要将母锭粘在晶托的规定位置。由于开方机的横向和纵向钢线不在同一平面内(高度差为25mm)，故切割钢线在下行切割的过程中容易损伤到晶托。
【发明内容】
[0003]本发明的目的是提供一种开方机晶托，可以有效的防止切割钢线在下行切割的过程中损伤到晶托。
[0004]本发明的目的通过以下技术方案来具体实现:
开方机晶托，包括方形的本体，本体的上下表面均为平面，在本体的上表面的纵向和横向分别开有若干个等距的线槽，每个所述线槽均贯穿于本体的两端并且线槽的宽度至少为20mmo
[0005]所述线槽的深度至少为100mm。
[0006]相邻两个线槽之间的宽度为135mm。
[0007]本体的边长为1090mm。
[0008]本发明设计的开方机晶托，总高度达到100mm，这样可以留有足够的空间来消化掉切割时产生的线弓，可以避免钢线切割到晶托的情况的发生，并且为后期提高切割速度提供了物质保障。可以保证母锭能够一次性切透，提高工作效率，并且省去扰曲复原时间并省去这部分时间所使用的钢线，降低成本；同时为后续对工艺的优化，特别是提高切割速度提供物质保障；实现了消除钢线切割到晶托底座的隐患，延长其使用寿命的目的。
【专利附图】
【附图说明】
[0009]下面根据附图和实施例对本发明作进一步详细说明。
[0010]图1是本发明实施例所述开方机晶托的平面结构图。
[0011]图2是侧视图。
【具体实施方式】
[0012]如图1-2所示，本发明实施例所述开方机晶托，包括方形的本体，本体的上下表面均为平面，在本体的上表面的纵向和横向分别开有若干个等距的线槽，每个所述线槽均贯穿于本体的两端并且线槽的宽度至少为20mm。
[0013]所述线槽的深度至少为100mm。
[0014]相邻两个线槽之间的宽度为135mm。
[0015]本体的边长为1090mm。[0016]本发明设计的开方机晶托，总高度达到100mm，这样可以留有足够的空间来消化掉切割时产生的线弓，可以避免钢线切割到晶托的情况的发生，并且为后期提高切割速度提供了物质保障。可以保证母锭能够一次性切透，提高工作效率，并且省去扰曲复原时间并省去这部分时间所使用的钢线，降低成本；同时为后续对工艺的优化，特别是提高切割速度提供物质保障；实现了消除钢线切割到晶托底座的隐患，延长其使用寿命的目的。
【权利要求】
1.开方机晶托，包括方形的本体，其特征在于，本体的上下表面均为平面，在本体的上表面的纵向和横向分别开有若干个等距的线槽，每个所述线槽均贯穿于本体的两端并且线槽的宽度至少为20mm。
2.如权利要求1所述的开方机晶托，其特征在于，所述线槽的深度至少为100mm。
3.如权利要求1所述的开方机晶托，其特征在于，相邻两个线槽之间的宽度为135mm。
4.如权利要求1所述的开方机晶托，其特征在于，本体的边长为1090mm。
【文档编号】B28D7/04GK103507174SQ201310447793
【公开日】2014年1月15日 申请日期:2013年9月27日 优先权日:2013年9月27日
【发明者】刘耀峰, 潘振东 申请人:无锡荣能半导体材料有限公司