一种酸浸装置制造方法
【专利摘要】本实用新型公开了一种酸浸装置，包括酸槽、酸过滤系统和酸加热系统，所述酸过滤系统包括酸泵和酸过滤器，所述酸泵的一端连接酸槽的底部，另一端连接酸过滤器的进口，所述酸过滤器的出口连接酸槽的顶部。所述酸加热系统包括加热器和换热器；所述加热器连接换热器，所述换热器置于所述酸槽中。所述酸加热系统还包括测温仪，测温仪连接加热器的温控系统。本实用新型通过酸过滤系统对酸液经高效过滤器强制过滤，有效去除酸液内漂浮物，降低酸液中氟硅酸含量，减缓酸液中金属元素增长的速度，延长酸液使用的周期。本实用新型还通过酸加热系统对酸液持续加热，通过温控系统对酸液温度控制，从而实现了酸液恒温控制工艺要求，提高了生产效率。
【专利说明】一种酸浸装置
【技术领域】
[0001 ] 本实用新型涉及一种酸浸装置。
【背景技术】
[0002]决定半导体用石英玻璃管质量的一个重要因素就是其表面的洁净度，因半导体用材料的纯度都是以PPM级量化，所以对其表面要求同样很高。又因半导体用石英玻璃管材经酸浸工序处理，所以对酸浸半导体用石英玻璃管材的酸液杂质含量要求也很高。现有石英管酸浸都在简易酸槽内进行，而该酸槽无过滤功能，酸液与石英玻璃表面反应产生一些杂质如漂浮物、金属元素以及氟硅酸等，当这些杂质积累到一定量时对石英玻璃管材的表面产生污染，为了保证半导体石英玻璃管的质量，需要对酸液进行频繁更换，而酸液频繁更换又增加了生产成本。
[0003]对于半导体用石英管材表面的刻蚀量工艺上要求是一个固定值，影响石英玻璃管材表面刻蚀量的因素主要包括酸浸时间、酸液浓度和酸液温度。对于酸浸时间以及酸液浓度这两个因素在生产过程中是可控的，而使用没加热设备的简易酸槽，其酸液温度是不可控的，酸液温度会因环境温度变化而变化。为了满足石英管材表面刻蚀量定值要求，当酸液温度降低时必须延长石英管材酸浸时间，而延长酸浸时间就大大降低生产效率。
实用新型内容
[0004]本实用新型要解决的技术问题是提供一种酸浸装置，适用于半导体石英玻璃管。
[0005]本实用新型提供一种酸浸装置，包括酸槽、酸过滤系统和酸加热系统，所述酸过滤系统、酸加热系统均与酸槽连通。
[0006]进一步地，所述酸过滤系统包括酸泵和酸过滤器，所述酸泵的一端连接酸槽的底部，另一端连接酸过滤器的进口，所述酸过滤器的出口连接酸槽的顶部。
[0007]进一步地，所述酸泵与酸槽之间、酸泵与酸过滤器之间、酸过滤器与酸槽之间均通过酸管道连通。
[0008]进一步地，所述酸加热系统包括加热器和换热器；所述加热器连接换热器，所述换热器置于所述酸槽中。
[0009]进一步地，所述加热器通过循环水管道连接换热器。
[0010]进一步地，所述酸加热系统还包括测温仪，所述测温仪设置于酸槽中。
[0011]进一步地，所述加热器内具有温控系统，所述测温仪连接所述温控系统。
[0012]进一步地，所述换热器采用材质为聚四氟乙烯的换热片。
[0013]本实用新型具有的优点在于:
[0014]本实用新型提供一种酸浸装置，作为一种新型的适用于半导体石英管的过滤恒温酸浸装置，一方面，通过酸过滤系统对酸液经高效过滤器强制过滤，有效去除酸液内漂浮物，降低了酸液中氟硅酸含量并使其保持在一个稳定值，减缓了酸液中金属元素增长的速度，从而延长了酸液使用的周期，降低了生产成本。另一方面，通过酸加热系统对酸液持续加热，通过温控系统即测温仪对酸液温度控制，从而实现了酸液恒温控制工艺要求，提高了
生产效率。
【专利附图】
【附图说明】
[0015]图1是本实用新型提供的酸浸装置的结构示意图。
[0016]图中:1-酸槽；2_酸泵；3_酸过滤器；4_加热器；5_换热器；6_酸管道；7_测温仪；8_石英管支架；9_半导体石英管；10-循环水管道。
【具体实施方式】
[0017]下面结合附图和具体实施例对本实用新型作进一步说明，以使本领域的技术人员可以更好的理解本实用新型并能予以实施，但所举实施例不作为对本实用新型的限定。
[0018]本实用新型提供一种酸浸装置，如图1所示，包括酸槽1、酸过滤系统和酸加热系统。将待酸浸的半导体石英管9设置于酸槽I中，并通过石英管支架8承载半导体石英管9。
[0019]所述酸过滤系统包括酸泵2、酸过滤器3和酸管道。利用所述酸液过滤进行酸液过滤的过程如下:首先所述酸槽I中的酸液经酸管道6进入所述酸泵2中，并通过酸泵2打入酸过滤器2中，酸液经所述酸过滤器2过滤后再通过酸管道6返回酸槽I，这样实现酸液循环过滤。所述酸过滤器2 —般由滤袋和滤芯组成，通过选择不同孔径滤芯来实现过滤酸液中不同粒径杂质。
[0020]所述酸加热系统包括加热器4、循环水管道10、换热器5和测温仪7四部分。所述酸加热过程进行酸液加热的过程如下:循环水经加热器4加热后经循环水管道10进入换热器5内，换热器5置于酸槽I的底部,换热器5以热传导方式对酸槽I中的酸液持续加热，换热器5内循环水因热量损耗而温度降低，温度降低循环水通过循环水管道10再回到加热器4内再次进行加热。这样通过换热器5的热传导方式实现对酸液持续加热。对于酸液温度控制通过酸槽I内测温仪7检测温度信号，将测温仪7设置于酸液中进行测温，并将温度信号反馈给加热器4中的温控系统来调节的。当酸液温度达到设定温度时，控制加热器4停止工作，当温度低于设定温度时，酸加热系统自动运行。这样实现对酸槽酸液恒温控制。所述换热器5为换热片，采用一种新型材料，即聚四氟乙烯，它具有耐高温、耐氢氟酸腐蚀以及热传导性能好等多种优点。
[0021]以上所述实施例仅是为充分说明本实用新型而所举的较佳的实施例，本实用新型的保护范围不限于此。本【技术领域】的技术人员在本实用新型基础上所作的等同替代或变换，均在本实用新型的保护范围之内。本实用新型的保护范围以权利要求书为准。
【权利要求】
1.一种酸浸装置，其特征在于，包括酸槽、酸过滤系统和酸加热系统，所述酸过滤系统、酸加热系统均与酸槽连通。
2.根据权利要求1所述的酸浸装置，其特征在于，所述酸过滤系统包括酸泵和酸过滤器，所述酸泵的一端连接酸槽的底部，另一端连接酸过滤器的进口，所述酸过滤器的出口连接酸槽的顶部。
3.根据权利要求2所述的酸浸装置，其特征在于，所述酸泵与酸槽之间、酸泵与酸过滤器之间、酸过滤器与酸槽之间均通过酸管道连通。
4.根据权利要求1或2或3所述的酸浸装置，其特征在于，所述酸加热系统包括加热器和换热器；所述加热器连接换热器，所述换热器置于所述酸槽中。
5.根据权利要求4所述的酸浸装置，其特征在于，所述加热器通过循环水管道连接换热器。
6.根据权利要求5所述的酸浸装置，其特征在于，所述酸加热系统还包括测温仪，所述测温仪设置于酸槽中。
7.根据权利要求6所述的酸浸装置，其特征在于，所述加热器内具有温控系统，所述测温仪连接所述温控系统。
8.根据权利要求7所述的酸浸装置，其特征在于，所述换热器采用材质为聚四氟乙烯的换热片。
【文档编号】C03C15/00GK203683382SQ201320795219
【公开日】2014年7月2日 申请日期:2013年12月6日 优先权日:2013年12月6日
【发明者】陈士斌, 周明强, 徐同根, 厉广强 申请人:江苏太平洋石英股份有限公司