一种用于单线切割机中大直径单晶对正的装置的制作方法

本发明涉及一种用于单线切割机中大直径单晶对正的装置，属于硅单晶技术领域。

背景技术：

在使用单线切割机对大直径单晶进行截断时，一般只提供简单的对正工装及方法，这就导致很难保证大直径单晶的截断面与其中心轴的垂直度，这就使得单晶的有效长度减少，造成损失；随着市场竞争压力的增大以及客户要求的不断提高，能够很好地改善大直径单晶的截断面与其中心轴的垂直度，即可以减少大直径单晶在截断过程中的加工损失，提高单晶收率，降低生产成本，同时又可以降低大直径单晶在客户加工过程中的加工难度和加工损失。

技术实现要素：

基于此，本发明的目的在于提供一种用于单线切割机中大直径单晶对正的装置，以实现大直径单晶的截断面与其中心轴的垂直度，从而减少加工损失、提高收率。

为达上述目的，本发明采用以下技术方案：

一种用于单线切割机中大直径单晶对正的装置，它包括一呈门形的固定框架，该固定框架由两根直杆和一根横杆构成，该固定框架上设有三个调节杆，该三个调节杆分别对称的设置在直杆和横杆上；在三个调节杆的端部分别设有百分表；两根直杆的固定脚分别通过固定螺栓固定在单线切割机上。

所述固定框架与单线切割机的切割面垂直；设置在横杆上的百分表接触大直径单晶的上切面，设置在直杆上的百分表分别接触大直径单晶的两侧切面。

本发明的有益效果在于：

本发明结构简单、便于操作、适应性及可靠性很强，不需要繁杂的配套设施，便于装卸，并不破坏原有切割设备，可以适用与不同直径单晶的切割，并且不受单晶直径变化的影响。

附图说明

图1为本发明的结构图。

图2、3、4为显示本发明单晶对正过程的示意图。

具体实施方式

下面将结合附图对本发明作进一步的详细说明，但本发明的实施方式不限于此。

如图1所示，本发明用于单线切割机中大直径单晶对正的装置包括一呈门形的固定框架1，该固定框架1由两根直杆和一根横杆构成，该固定框架1上设有三个调节杆2，该三个调节杆2分别对称的设置在直杆和横杆上；在三个调节杆2的端部分别设有百分表3；两根直杆的固定脚4分别通过固定螺栓5固定在单线切割机上。固定框架1与单线切割机的切割面9垂直。

如图2所示，大直径单晶7放置在可分别调整两侧支撑的“v”型支撑架6上，该支撑架6设置在移动导轨平台8上，支撑架6可随移动导轨平台8移动，从而使得大直径单晶7可以在固定框架1中穿行；通过三个调节杆2将三个百分表3分别固定在固定框架上，并可以自由调节百分表的位置，使百分表分别接触大直径单晶7的上切面及两侧切面。

如图3所示，首先移动导轨平台8，使装置处于大直径单晶7的位置a，分别记录三个百分表的数值。

如图4所示，再次移动导轨平台8，使装置处于大直径单晶7的位置b，分别记录三个百分表的数值。

通过调整单线切割机的可分别调整两侧支撑的“v”型支撑架6，使得两个位置a、b处相同百分表的变化值一致，即可使大直径单晶的轴线与切割设备的切割面垂直。

技术特征：

技术总结
本发明公开了一种用于单线切割机中大直径单晶对正的装置。它包括呈门形的固定框架，该固定框架由两根直杆和一根横杆构成，该固定框架上设有三个调节杆，该三个调节杆分别对称的设置在直杆和横杆上；在三个调节杆的端部分别设有百分表；两根直杆的固定脚分别通过固定螺栓固定在单线切割机上。设置在横杆上的百分表接触单晶的上切面，设置在直杆上的百分表分别接触单晶的两侧切面，移动单晶，通过调整单线切割机的可分别调整两侧支撑的“V”型支撑架，使得两个位置处相同百分表的变化值一致，即可使单晶的轴线与切割设备的切割面垂直。本发明结构简单、便于操作、适应性及可靠性强，适用于不同直径单晶的切割，能够大大减少加工损失、提高收率。

技术研发人员：崔彬;刘冰;王雅楠;姜舰
受保护的技术使用者：有研半导体材料有限公司
技术研发日：2015.12.24
技术公布日：2017.07.04