一种硅晶棒防崩边切割装置的制作方法

文档序号:17167194发布日期:2019-03-22 19:12阅读:来源:国知局

技术特征:

1.一种硅晶棒防崩边切割装置,其特征在于,所述切割装置包括线锯切割机构、提升机构、夹爪机构和第一滑动机构;

所述线锯切割机构包括切割面板、导轮组件和金刚石线锯,所述导轮组件安装于切割面板上,所述金刚石线锯布设于导轮组件的线槽中,金刚石线锯可在导轮组件的带动下运动,所述切割面板上设置有让位凹槽,所述让位凹槽位于待切割硅晶棒的正上方;

所述提升机构设置于线锯切割机构的上方,提升机构带动线锯切割机构切割硅晶棒;

所述夹爪机构包括对称设置于让位凹槽的两侧的夹爪单元,所述夹爪单元包括第一直线往复装置、定位夹爪、平衡夹爪和位移夹爪,所述平衡夹爪与位移夹爪均安装于定位夹爪上,平衡夹爪与位移夹爪具有朝向待切割硅晶棒的抵靠面,平衡夹爪与位移夹爪分别位于让位凹槽下方金刚石线锯的两侧,所述直线往复装置的伸缩杆一端与定位夹爪固定;

所述第一滑动机构包括对称设置于让位凹槽的两侧的滑动单元,所述滑动单元包括竖向滑轨和移动滑块,所述竖向滑轨固定在让位凹槽两侧的切割面板上,所述移动滑块可沿竖向滑轨上下滑动,所述直线往复装置固定在移动滑块上。

2.根据权利要求1所述的硅晶棒防崩边切割装置,其特征在于,所述夹爪单元还包括第二直线往复装置,所述第二直线往复装置与平衡夹爪的侧壁固定,所述定位夹爪上设置有平衡夹爪限位槽,用于带动平衡夹爪在平衡夹爪限位槽内左右移动。

3.根据权利要求2所述的硅晶棒防崩边切割装置,其特征在于,所述定位夹爪上还设置有位移夹爪限位槽,所述夹爪单元还包括第三直线往复装置,所述第三直线往复装置设置于定位夹爪的侧壁上,第三直线往复装置的伸缩杆与位移夹爪固定,用于带动位移夹爪在位移夹爪限位槽中前后移动。

4.根据权利要求3所述的硅晶棒防崩边切割装置,其特征在于,所述位移夹爪限位槽内设置有导向轴,所述导向轴外部套接有滑动轴套,所述滑动轴套与位移夹爪固定。

5.根据权利要求1所述的硅晶棒防崩边切割装置,其特征在于,所述切割装置还包括第二滑动机构,所述第二滑动机构包括导轨安装板和滑动单元,所述滑动单元包括横向滑轨和移动滑块,所述导轨安装板连接于提升机构底部,所述横向滑轨布设于导轨安装板底面上,所述移动滑块安装于横向滑轨上,所述线锯切割机构的切割面板于移动滑块固定,线锯切割机构与移动滑块联动。

6.根据权利要求5所述的硅晶棒防崩边切割装置,其特征在于,所述第二滑动机构包括两个滑动单元,所述两个滑动单元分别设置在导轨安装板的两侧。

7.根据权利要求1所述的硅晶棒防崩边切割装置,其特征在于,所述提升机构包括伺服电机、减速机、提升螺杆和提升螺母,所述伺服电机经由减速机与提升螺杆连接,伺服电机用于驱动提升螺杆转动,所述提升螺母套接于提升螺杆上,所述线锯切割机构与提升螺母固定,提升螺母与切割运行机构联动。

8.根据权利要求1至7任意一项所述的硅晶棒防崩边切割装置,其特征在于,所述直线往复装置为气缸、液压缸或者直线电机。

9.根据权利要求1所述的硅晶棒防崩边切割装置,其特征在于,所述线锯切割机构为环形线锯切割机构或者绕线式线锯切割机构。

10.根据权利要求1所述的硅晶棒防崩边切割装置,其特征在于,所述平衡夹爪和位移夹爪的抵靠面上设置有橡胶垫片。

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