技术总结
本实用新型涉及了一种硅晶棒防崩边切割装置，包括线锯切割机构、提升机构、夹爪机构和第一滑动机构；提升机构用于带动线锯切割机构切割硅晶棒；夹爪机构包括对称设置于让位凹槽的两侧的夹爪单元，夹爪单元包括第一直线往复装置、定位夹爪、平衡夹爪和位移夹爪，平衡夹爪与位移夹爪均安装于定位夹爪上，平衡夹爪与位移夹爪具有朝向待切割硅晶棒的抵靠面，直线往复装置的伸缩杆一端与定位夹爪固定；夹爪机构可沿第一滑动机构上下滑动。本装置将线锯切割机构和夹爪机构结合设计，充分利用线锯切割机构的位移，夹爪机构夹持住硅晶棒切缝两侧的棒体能够防止硅晶棒将要切断时发生断裂，避免切割端面出现“崩边”的情况。
技术研发人员：陈金平;朱文志;林孝狮;林冬;黄田玉;王小钊;程保传
受保护的技术使用者：福州天瑞线锯科技有限公司
技术研发日：2018.06.28
技术公布日：2019.03.22