技术特征：
技术总结
本发明提出了金刚石多线切割装置和切割方法，其中切割装置包括：固定板、升降机构、摇摆机构、压力侦测机构，其中，升降机构包括升降气缸和升降平台，升降气缸设置在升降平台上并与固定板的底壁相连；摇摆机构包括固定部、轴销和旋转部，固定部与旋转部通过轴销相对可旋转地连接，固定部与升降平台的底壁相连，旋转部的底端适于安装待切割晶棒；压力侦测机构包括压力传感装置，所述压力传感装置设置在所述摇摆机构和所述升降机构之间，所述摇摆机构在运行过程中会感知线弓的压力，所述压力传感装置会得到所述线弓压力值。该装置通过增设摇摆机构和压力自动补偿而获得稳定的线弓值，进而提高良率、改善翘曲、TTV和纳米形貌。
技术研发人员：郑加镇;卢健平
受保护的技术使用者：徐州鑫晶半导体科技有限公司
技术研发日：2019.07.24
技术公布日：2019.10.25