一种石英槽棒开槽设备的制作方法

本发明涉及一种石英槽棒加工设备，特别是一种石英槽棒开槽设备。

背景技术：

目前在半导体产品制造行业，石英舟作为晶片承载器被广泛应用于半导体氧化扩散工序中，槽棒的槽内可插入多片晶片进行扩散加工，其形状结构、开槽精度、槽间距离等对半导体硅质量有较大影响。因此，石英舟在加工时，对石英槽棒的开槽无疑是最关键的一步。对石英长舟而言，石英槽棒的长度较长，开槽加工时如何将石英槽棒定位固定是个难点，这也将直接影响到石英槽棒开槽后的质量与精度。

目前，石英槽棒的开槽加工通常为将石英槽棒置于具有v形槽的数控机床工作台面上，防止石英槽棒在开槽过程中发生移动而导致开槽精度降低。实际加工过程中，石英槽棒固定在v形槽内，处于静止状态，主要通过开槽装置移动对整个石英槽棒进行开槽处理，工作效率较低，且这种固定开槽方式使得石英槽棒在开槽过程中会产生细微的上下颤动，轻则使得开槽位置不均匀，重则会使石英槽棒整体断裂；由于开槽过程中为了降低切割开槽处的温度，需要不断地向开槽位置喷射冷却液，冷却液容易进入到v形槽内，从而使得石英槽棒与v形槽之间连接紧密，难以将石英槽棒直接取出。

因此，现有的石英槽棒的开槽设备存在工作效率较低、固定不稳定、石英槽棒难以取出的问题。

技术实现要素：

本发明的目的在于，提供一种石英槽棒开槽设备。本发明具有工作效率高、固定稳定、石英槽棒容易取出的特点。

本发明的技术方案：一种石英槽棒开槽设备，包括底座，底座上设有输送装置，底座上沿着输送方向还依次滑动连接有浇蜡装置、开槽装置和化蜡装置，输送装置的下方设有工作平台，工作平台上与开槽装置对应处设有若干真空吸盘。

前述的一种石英槽棒开槽设备中，所述浇蜡装置包括浇蜡安装架，浇蜡安装架上设有第一二维移动装置，第一二维移动装置上设有浇蜡壶，浇蜡壶的外周壁上围绕有电热丝，浇蜡壶的外部设有保护罩。

前述的一种石英槽棒开槽设备中，所述开槽装置包括开槽安装架，开槽安装架上设有第二二维移动装置，第二二维移动装置上设有开槽机。

前述的一种石英槽棒开槽设备中，所述开槽装置采用至少两个，所述开槽机的刀片采用五槽刀片。

前述的一种石英槽棒开槽设备中，所述化蜡装置包括化蜡安装架，化蜡安装架上设有第三二维移动装置，第三二维移动装置上设有化蜡火炬。

前述的一种石英槽棒开槽设备中，所述输送装置包括输送履带，输送履带的表面设有通孔。

前述的一种石英槽棒开槽设备中，所述第一二维移动装置包括第一电机，第一电机上连接有第一丝杠，第一丝杠上设有第一滑块，第一滑块上设有第一气缸，第一气缸的活塞杆与浇蜡壶连接。

前述的一种石英槽棒开槽设备中，所述第二二维移动装置包括第二电机，第二电机上连接有第二丝杠，第二丝杠上设有第二滑块，第二滑块上设有第二气缸，第二气缸的活塞杆与开槽机连接。

前述的一种石英槽棒开槽设备中，所述第三二维移动装置包括第三电机，第三电机上连接有第三丝杠，第三丝杠上设有第三滑块，第三滑块上设有第三气缸，第三气缸的活塞杆与化蜡火炬连接。

前述的一种石英槽棒开槽设备中，所述工作平台上设有与浇蜡装置和化蜡装置位置对应的接蜡槽。

与现有技术相比，本发明通过输送装置将多根石英槽棒输送到不同的加工位置处进行加工处理，而无需开槽装置整个移动，开槽时采用多个开槽装置和五槽刀片进行切割，一次性可以切割多个开槽，大大提高工作效率；本发明先通过浇蜡装置进行浇蜡处理进行初步固定，然后在开槽区域通过真空吸盘进一步吸附，大大提高石英槽棒的固定性能，不易发生偏移、晃动等问题，切割精确度高，稳定性好，开槽过程中不易损坏；开槽完成后，通过后续的化蜡装置将蜡融化，然后随着输送装置直接输出，取料方便快捷。本发明的整个开槽工作一次性可以加工多根石英棒，大大提高工作效率，比现有的设备的工作效率提高10倍。此外，本发明还可以将整个已经安装好的石英舟放到输送装置上进行输送、浇蜡、切割和化蜡操作，不仅适合石英槽棒等小物件的开槽，还适合整个石英舟的开槽，适用范围更广，操作更加方便，实用性更强。因此，本发明具有工作效率高、固定稳定、石英槽棒容易取出的特点。

附图说明

图1是本发明的结构示意图；

图2是开槽装置的结构示意图；

图3是图1中a处的局部结构放大图。

附图中的标记为：1、底座；2、输送装置；21、输送履带；22、通孔；3、浇蜡装置；31、浇蜡安装架；32、第一二维移动装置；33、浇蜡壶；34、电热丝；35、保护罩；36、第一电机；37、第一丝杠；38、第一滑块；39、第一气缸；4、开槽装置；41、开槽安装架；42、第二二维移动装置；43、开槽机；5、化蜡装置；51、化蜡安装架；52、第三二维移动装置；53、化蜡火炬；6、工作平台；61、真空吸盘。

具体实施方式

下面结合实施例对本发明作进一步的说明，但并不作为对本发明限制的依据。

实施例。

如图1-3所示，一种石英槽棒开槽设备，包括底座1，底座1上设有输送装置2，底座1上沿着输送方向还依次滑动连接有浇蜡装置3、开槽装置4和化蜡装置5，输送装置2的下方设有工作平台6，工作平台6上与开槽装置4对应处设有若干真空吸盘61。

所述浇蜡装置3包括浇蜡安装架31，浇蜡安装架31上设有第一二维移动装置32，第一二维移动装置32上设有浇蜡壶33，浇蜡壶33的外周壁上围绕有电热丝34，浇蜡壶33的外部设有保护罩35。浇蜡壶33在第一二维移动装置32上可上下左右移动，电热丝34将浇蜡壶33中的蜡融化，提高蜡的流动性，浇蜡壶33由于电热丝34工作，温度较高，设置的保护罩35进行保护，提高安全性。浇蜡装置3也可以采用常规的浇蜡设备。

所述开槽装置4包括开槽安装架41，开槽安装架41上设有第二二维移动装置42，第二二维移动装置42上设有开槽机43。

所述开槽装置4采用至少两个，所述开槽机43的刀片采用五槽刀片。

所述化蜡装置5包括化蜡安装架51，化蜡安装架51上设有第三二维移动装置52，第三二维移动装置52上设有化蜡火炬53。

所述输送装置2包括输送履带21，输送履带21的表面设有通孔22。通孔22与真空吸盘61配合，真空吸盘61对准通孔22，可以顺利对槽棒进行吸附。

所述第一二维移动装置32包括第一电机36，第一电机36上连接有第一丝杠37，第一丝杠37上设有第一滑块38，第一滑块38上设有第一气缸39，第一气缸39的活塞杆与浇蜡壶33连接。所述第二二维移动装置42包括第二电机，第二电机上连接有第二丝杠，第二丝杠上设有第二滑块，第二滑块上设有第二气缸，第二气缸的活塞杆与开槽机43连接。所述第三二维移动装置52包括第三电机，第三电机上连接有第三丝杠，第三丝杠上设有第三滑块，第三滑块上设有第三气缸，第三气缸的活塞杆与化蜡火炬53连接。

所述第一二维移动装置32、第二二维移动装置42和第三二维移动装置52可以采用现有常规的直线往复运动机构自由组合，除了上述组合外，还可以是横向直线模组和纵向直线模组的组合形式，采用电机丝杠结构，纵向直线模组在横线直线模组上左右来回移动，浇蜡壶33、开槽机43和化蜡火炬53分别设置在纵向直线模组上，可以沿着纵向直线模组上下移动，浇蜡安装架31、开槽安装架41和化蜡安装架51分别通过设置在底座1上的直线模组沿着输送方向前后移动，从而实现浇蜡壶33、开槽机43和化蜡火炬53的上下、左右、前后移动。

所述工作平台(6)上设有与浇蜡装置(3)和化蜡装置(5)位置对应的接蜡槽。保证工作车间的清洁性，同时还可以回收再利用。

本发明实际工作时，将多个石英槽棒平行置于输送履带21上进行输送，待输送到浇蜡装置3处，浇蜡壶33调整位置，准确对准石英槽棒进行浇蜡，将石英槽棒固定在传输履带上，并使多个石英槽棒紧密固定，还对石英槽棒起到密封作用，便于后续的吸附和开槽；然后通过输送履带21输送到开槽装置4处，经真空吸盘61进行吸附，进一步将石英槽棒固定，提高固定的稳定性和开槽精确度，接着经多个平行分布的开槽装置4上的五槽刀片同时进行切割开槽，一次性可切割多个槽口，大大提高开槽效率；开槽完成后再经输送履带21将石英槽棒输送到化蜡火炬53处进行化蜡，将石英槽棒上的蜡融化，最后经输送履带21输出，便于快速取件。