一种单晶硅切片精度高的新型切片装置的制作方法

文档序号:20862566发布日期:2020-05-22 21:41阅读:481来源:国知局
一种单晶硅切片精度高的新型切片装置的制作方法

本实用新型涉及新材料技术领域,具体为一种单晶硅切片精度高的新型切片装置。



背景技术:

单晶硅是一种良好的半导体材料,单晶硅因具有耐高温和抗辐射性能较好,所以其表现出来的热稳定性与电学性能也是非常优异的,因此,适用于制作大功率电器与集成电路的制作,其中,单晶硅在切片的过程中,是将柱状的单晶硅棒切割成薄片状的单晶硅片,因此,切片技术的好坏直接关系到硅片质量的好坏,硅片的厚度与质量直接关系到成本的高低。

但是,在目前的单晶硅切片技术过程中,切刀的发热量非常的大,切刀受热后,容易发生形变,造成后来的切的单晶硅的薄片,厚度不一,单晶硅的切面宽窄也是不同的,严重影响了单晶硅片的热稳定性与电化学性,严重影响了单晶硅片的质量。



技术实现要素:

(一)技术方案

为实现上述均匀切片的目的,本实用新型提供如下技术方案:一种单晶硅切片精度高的新型切片装置,包括固定架,所述固定架的内部活动安装有两个相对称的转轴,两个相对称的转轴通过传送带传动连接,所述转轴的后侧固定安装有转轮,所述固定架上表面的左端的固定安装有支柱,支柱的上端活动安装有转盘,转盘的外表面固定安装有固定板,所述转盘的外表面固定安装有齿牙,所述转盘正面的边缘处活动安装有连接杆,所述固定板的上表面搭接有转块,转块的后侧活动安装有活动杆。

活动杆的中部活动安装有支杆,支杆的下端与固定架的上表面固定安装,所述活动杆的右端活动安装有活动柱,活动柱的上端活动安装有活动块,活动块的下端连接杆的右端滑动连接,所述活动柱的下端滑动安装有固定轴,固定轴的前端活动安装有切盘,所述固定轴的后端固定安装有固定柱,固定柱的下端与固定架固定安装。

进一步的,左侧的所述转轴后端贯穿并延伸至固定架的外部与转轮固定安装,主要是为了通过转轮的转动带动转轴的转动。

进一步的,所述固定板与齿牙的宽度相等,且固定板与齿牙之间相邻。

进一步的,所述连接杆的右端开设有与活动块相适配的滑槽,且连接杆右端的下表面开设有与切盘相适配的齿条,主要是为了带动固定轴转动的。

进一步的,所述切盘上的切刀位于切盘外表面呈均匀设置,主要是为了均匀将单晶硅切片。

(二)有益效果

与现有技术相比,本实用新型提供了一种单晶硅切片精度高的新型切片装置,具备以下有益效果:

1、该单晶硅切片精度高的新型切片装置,通过活动柱、活动块、切盘与固定轴的配合使用,可以有效的保证了所且切的单晶硅的硅片是均匀的,且切盘上切刀相距的距离比较大,方便了散热,使切盘上的切片不会随便发生形变,保证了硅片的质量,方便了使用。

2、该单晶硅切片精度高的新型切片装置,通过转轮、支柱、转盘、固定板与齿牙的配合使用,可以有效的带动了传送带的同时,还可以带动切盘的转动,方便了使用,节约了电力,充分体现了节能环保的理念。

3、该单晶硅切片精度高的新型切片装置,通过:固定架、转轴、传送带与转轮的配合使用,可以不需要人动的将硅棒进行推动,切片,节约了人力的使用。

附图说明

图1为本实用新型结构正面示意图;

图2为本实用新型结构活动柱、切盘、固定轴与固定柱侧视示意图;

图3为本实用新型结构正面运动示意图。

图中:1固定架、2转轴、3传送带、4转轮、5支柱、6转盘、7固定板、8齿牙、9连接杆、10转块、11活动杆、12支杆、13活动柱、14活动块、15切盘、16固定轴、17固定柱。

具体实施方式

下面将结合本实用新型实施例中的附图,对本实用新型实施例中的技术方案进行清楚、完整地描述,显然,所描述的实施例仅仅是本实用新型一部分实施例,而不是全部的实施例。基于本实用新型中的实施例,本领域普通技术人员在没有做出创造性劳动前提下所获得的所有其他实施例,都属于本实用新型保护的范围。

请参阅图1-3,一种单晶硅切片精度高的新型切片装置,包括固定架1,固定架1的内部活动安装有两个相对称的转轴2,左侧的转轴2后端贯穿并延伸至固定架1的外部与转轮4固定安装,主要是为了通过转轮4的转动带动转轴2的转动,两个相对称的转轴2通过传送带3传动连接,转轴2的后侧固定安装有转轮4。

固定架1、转轴2、传送带3与转轮4的配合使用,可以不需要人动的将硅棒进行推动,切片,节约了人力的使用。

固定架1上表面的左端的固定安装有支柱5,支柱5的上端活动安装有转盘6,转盘6的外表面固定安装有固定板7,固定板7与齿牙8的宽度相等,且固定板7与齿牙8之间相邻,转盘6的外表面固定安装有齿牙8,转盘6正面的边缘处活动安装有连接杆9,连接杆9的右端开设有与活动块14相适配的滑槽,且连接杆9右端的下表面开设有与切盘15相适配的齿条,主要是为了带动固定轴16转动的,固定板7的上表面搭接有转块10,转块10的后侧活动安装有活动杆11。

通过转轮4、支柱5、转盘6、固定板7与齿牙8的配合使用,可以有效的带动了传送带3的同时,还可以带动切盘15的转动,方便了使用,节约了电力,充分体现了节能环保的理念。

活动杆11的中部活动安装有支杆12,支杆12的下端与固定架1的上表面固定安装,活动杆11的右端活动安装有活动柱13,活动柱13的上端活动安装有活动块14,活动块14的下端连接杆9的右端滑动连接,活动柱13的下端滑动安装有固定轴16,固定轴16的前端活动安装有切盘15,切盘15上的切刀位于切盘15外表面呈均匀设置,主要是为了均匀2将单晶硅切片,固定轴16的后端固定安装有固定柱17,固定柱17的下端与固定架1固定安装。

通过活动柱13、活动块14、切盘15与固定轴16的配合使用,可以有效的保证了所且切的单晶硅的硅片是均匀的,且切盘15上切刀相距的距离比较大,方便了散热,使切盘15上的切片不会随便发生形变,保证了硅片的质量,方便了使用。

在使用时,用电机带动转盘6顺时针转动,转盘6顺时针转动后,到带动连接杆9由左向右运动,从而与连接杆9啮合的切盘15会在连接杆9由左向右运动的过程中,切盘15会逆时针转动,切盘15逆时针转动后,会切割放在传送带3上的硅棒,将硅棒进行切片,

在转块10不与固定板7接触没有转盘6的外表面接触时活动杆11会向左倾斜,如图3所示,连接杆9会不与切盘15接触,切盘15也就不会转动,此时,待齿牙8与转轮4接触时,带动转轮4的转动,转轮4就会逆时针转动,从而带动传送带3相左运动,因此,就可以继续切割硅棒。

需要说明的是,在本文中,诸如第一和第二等之类的关系术语仅仅用来将一个实体或者操作与另一个实体或操作区分开来,而不一定要求或者暗示这些实体或操作之间存在任何这种实际的关系或者顺序。而且,术语“包括”、“包含”或者其任何其他变体意在涵盖非排他性的包含,从而使得包括一系列要素的过程、方法、物品或者设备不仅包括那些要素,而且还包括没有明确列出的其他要素,或者是还包括为这种过程、方法、物品或者设备所固有的要素。在没有更多限制的情况下,由语句“包括一个……”限定的要素,并不排除在包括所述要素的过程、方法、物品或者设备中还存在另外的相同要素。

尽管已经示出和描述了本实用新型的实施例,对于本领域的普通技术人员而言,可以理解在不脱离本实用新型的原理和精神的情况下可以对这些实施例进行多种变化、修改、替换和变型,本实用新型的范围由所附权利要求及其等同物限定。

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