一种单晶棒截断机的制作方法

文档序号:21437380发布日期:2020-07-10 16:10阅读:939来源:国知局
一种单晶棒截断机的制作方法

本实用新型涉及单晶加工设备技术领域,更具体地说,涉及一种单晶棒截断机。



背景技术:

生产单晶硅的方法通常是用直拉法或悬浮区熔法从熔体中生长出棒状单晶硅,单晶硅的截面为圆形。为了方便满足生产过程中硅片的外形、尺寸,需要截断单晶棒,单晶截断机是截断单晶棒的重要设备,现有截断设备一般是设置一个v型夹具,然后将单晶棒放置在v型槽中对其进行切割,这种方式不能很好地对单晶棒进行固定,可能造成单晶棒切割的端面出现不平整的情况;此外,在切割过程中会出现粉末,如果不能及时处理会污染车间环境,并影响工作人员的身体健康。本实用新型针对以上问题提出了一种新的解决方案。



技术实现要素:

针对现有技术中存在的问题,本实用新型的目的在于提供一种单晶棒截断机,以解决背景技术中所提到的技术问题。

为解决上述问题,本实用新型采用如下的技术方案。

一种单晶棒截断机,包括工作平台,所述工作平台上设置有门字型框架,该门字型框架上设置有切割组件,所述工作平台的上端面设置有第一夹紧块和第二夹紧块,第一夹紧块与工作平台固定连接,第二夹紧块的下端面设置有滑块,工作平台的上端面设置有向下延伸的滑槽,滑块可滑动的安装在滑槽中,所述第二夹紧块的侧壁上连接有驱动气缸,该驱动气缸通过支架与工作平台连接,所述工作平台的内部设置有容纳槽,该容纳槽中设置有集尘箱、吸尘罩和输尘管,该吸尘罩的顶端为开口设置且与工作平台连接,所述工作平台的上端面设置有向下延伸的吸尘孔,该吸尘孔与吸尘罩对应设置且设置在所述切割组件下方,所述吸尘罩通过输尘管与集尘箱连接,所述吸尘罩和输尘管的连接处设置有吸风机。

优选的是,所述切割组件包括电动伸缩杆、固定板、驱动电机和切割刀,电动伸缩杆一端与门字型框架连接,另一端与固定板连接,驱动电机通过承接架与固定板连接,切割刀与驱动电机连接。

在上述任一方案中优选的是,所述第一夹紧块和第二夹紧块的内表面分别向内侧延伸设置为梯形凹槽或半圆形凹槽,该形状与单晶棒对应设置。

在上述任一方案中优选的是,所述第一夹紧块和第二夹紧块与单晶棒的接触面上粘结有橡胶或聚乙烯片。

在上述任一方案中优选的是,所述容纳槽对应的工作平台的侧壁上设置有对开门。

在上述任一方案中优选的是,所述电动伸缩杆设置有两个,且分别与固定板以及门字型框架连接。

相比于现有技术,本实用新型的优点在于:

本实用新型中第一夹紧块和第二夹紧块的设计可以很好地对单晶棒进行固定;第二夹紧块与工作平台活动连接,方便了移动第二夹紧块,从而使得第一夹紧块和第二夹紧块可以对不同大小的单晶棒进行夹紧;通过驱动气缸对第二夹紧块进行挤压,提高了第二夹紧块的紧固程度;此外,集尘箱、吸尘罩、输尘管以及吸尘孔的配合设计可以很好地对切割过程中所产生的粉尘进行吸附,使其不会污染车间环境,避免影响工作人员的身体健康;电动伸缩杆的设计可以很好地移动切割刀的使用位置,可以对不同大小的单晶棒进行切割。

附图说明

图1为本实用新型的整体结构示意图;

图2为本实用新型中工作平台的剖面图;

图3为本实用新型中第一夹紧块和第二夹紧块的配合结构示意图。

图中标号说明:

1、工作平台,2、门字型框架,3、第一夹紧块,4、第二夹紧块,5、滑块,6、滑槽,7、驱动气缸,8、支架,9、容纳槽,10、集尘箱,11、吸尘罩,12、输尘管,13、吸尘孔,14、吸风机,15、电动伸缩杆,16、固定板,17、驱动电机,18、切割刀,19、对开门,20、承接架。

具体实施方式

下面将结合本实用新型实施例中的附图,对本实用新型实施例中的技术方案进行清楚、完整地描述;显然,所描述的实施例仅仅是本实用新型一部分实施例,而不是全部的实施例,基于本实用新型中的实施例,本领域普通技术人员在没有做出创造性劳动前提下所获得的所有其他实施例,都属于本实用新型保护的范围。

实施例:

请参阅图1-3,一种单晶棒截断机,包括工作平台1,所述工作平台1上设置有门字型框架2,该门字型框架2上设置有切割组件,所述工作平台1的上端面设置有第一夹紧块3和第二夹紧块4,第一夹紧块3与工作平台1固定连接,第二夹紧块4的下端面设置有滑块5,工作平台1的上端面设置有向下延伸的滑槽6,滑块5可滑动的安装在滑槽6中,所述第二夹紧块4的侧壁上连接有驱动气缸7,该驱动气缸7通过支架8与工作平台1连接,所述工作平台1的内部设置有容纳槽9,该容纳槽9中设置有集尘箱10、吸尘罩11和输尘管12,该吸尘罩11的顶端为开口设置且与工作平台1连接,所述工作平台1的上端面设置有向下延伸的吸尘孔13,该吸尘孔13与吸尘罩11对应设置且设置在所述切割组件下方,所述吸尘罩11通过输尘管12与集尘箱10连接,所述吸尘罩11和输尘管12的连接处设置有吸风机14。

在进一步具体实施方式中,所述切割组件包括电动伸缩杆15、固定板16、驱动电机17和切割刀18,电动伸缩杆15一端与门字型框架2连接,另一端与固定板16连接,驱动电机17通过承接架20与固定板16连接,切割刀18与驱动电机17连接。通过电动伸缩杆15可以很好地调节切割刀18的使用位置,从而可以对不同粗细或者不同的大小的单晶棒进行切割,另外,本实用新型在对单晶棒固定后,也可以不使用本技术方案所设计的切割组件,人工通过切割机构对单晶棒切割,或者采用其它现有技术中常用的切割方式,在此不做限制。

在进一步具体实施方式中,所述第一夹紧块3和第二夹紧块4的内表面分别向内侧延伸设置为梯形凹槽或半圆形凹槽,该形状与单晶棒对应设置。第一夹紧块3和第二夹紧块4的相对面均加工成具有一定弧度,以便与单晶棒的外表面密切接触,从而可以更好的对单晶棒进行夹持。

在进一步具体实施方式中,所述第一夹紧块3和第二夹紧块4与单晶棒的接触面上粘结有橡胶或聚乙烯片。橡胶或者聚乙烯片的设计可以避免第一夹紧块和第二夹紧块对单晶棒表面造成损伤,可以很好地对单晶棒进行防护。

在进一步具体实施方式中,所述容纳槽9对应的工作平台的侧壁上设置有对开门19。对开门19的设计可以很好地取出集尘箱10以及对吸尘罩11、吸风机14以及输尘管12进行检修。

在进一步具体实施方式中,所述电动伸缩杆15设置有两个,且分别与固定板16以及门字型框架2连接。两个电动伸缩杆15的设计可以更加平稳的对固定板16进行驱动,从而使切割刀18在使用时更加稳定,不会出现偏差。

工作原理:在使用时,工作人员将单晶棒放置在第一夹紧块3和第二夹紧块4的半圆形凹槽或者梯形凹槽中,然后启动驱动气缸7,驱动气缸7对第二夹紧块4产生推动,从而使第二夹紧块4对单晶棒进行挤压,然后电动伸缩杆15对固定板16驱动,从而移动切割刀18的纵向位置,驱动电机17带动切割刀18对单晶棒切割,切割刀18优选为金刚石材质,同时启动吸风机14,吸风机14将切割所产生的粉尘通过吸尘罩以及输尘管12输送至集尘箱10中,避免粉碎对车间环境造成污染。

以上所述,仅为本实用新型较佳的具体实施方式;但本实用新型的保护范围并不局限于此。任何熟悉本技术领域的技术人员在本实用新型揭露的技术范围内,根据本实用新型的技术方案及其改进构思加以等同替换或改变,都应涵盖在本实用新型的保护范围内。

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