晶圆切割冷却水循环设备的制作方法

本实用新型涉及机械设备领域，具体涉及一种晶圆切割冷却水循环设备。

背景技术：

在半导体封装行业中，晶圆切割是一道重要的工序，目前国内大部分晶圆切割都采用机械切割方式，由于晶圆中的单个电子线路特别微小，所以要求设备的切割精度很高，切割设备在切割时会产生大量的热量，对切割质量影响较大，对切割设备冷却并保持切割温度恒定尤为重要。

晶圆切割冷却水循环设备是一种通过蒸汽压缩或吸收循环达到制冷效果的机器，被广泛应用于工业设备的制冷。

市面上能见到的一些冷却设备，主要针对的是非半导体行业的用户，不能满足切割设备的要求。

现有较高级的冷却设备，价格较高，体积较大，设备输出功率过大，设计联动端口与半导体切割设备不配套。

而目前的一种晶圆切割冷却水循环设备存在冷却水冷却晶圆切割机主轴温度变化控制精度不高的情况。

技术实现要素：

有鉴于此，为解决上述技术问题，本实用新型的目的在于提供一种晶圆切割冷却水循环设备，其能够控制晶圆切割机主轴的温度变化在极小范围内，保证了精度要求。

所采用的技术方案为：

一种晶圆切割冷却水循环设备,包括:

蒸发器水箱，所述蒸发器水箱分别连通有第一管道、第二管道和第三管道；水由所述第一管道输入，并经过蒸发器水箱后进入第二管道；

晶圆切割机主轴，所述第二管道经过所述晶圆切割机主轴后与所述第三管道循环导通，形成对晶圆切割机主轴的循环冷却水；

在所述第二管道装有电动调节阀和供水温度传感器，在所述第三管道上装有回水温度传感器，所述电动调节阀、供水温度传感器和回水温度传感器均电连接在一主控制器上。

进一步地，在所述蒸发器水箱上装有液位开关，在所述第一管道上装有进水电磁阀，所述液位开关和装有进水电磁阀均电连接在所述主控制器上。

进一步地，在所述第二管道上装有供水流量计；在所述第三管道上装有回水流量计，所述供水流量计和回水流量计均电连接在所述主控制器上。

进一步地，在第二管道上装有保安过滤器。

进一步地，将所述蒸发器水箱固定在一可移动的小车上。

进一步地，在所述第二管道上装有离心水泵，所述离心水泵与所述主控制器电连接。

本实用新型的有益效果在于：

由于在第二管道装有电动调节阀和供水温度传感器，在第三管道上装有回水温度传感器，电动调节阀、供水温度传感器和回水温度传感器均电连接在一主控制器上。从而主控制器可以通过供水温度传感器和回水温度传感器对水温的监测，判断电动调节阀调节开启的大小，使得可以精确控制晶圆切割机主轴的温度变化在±1℃左右，保证了切割精度。

附图说明

为了更清楚地说明本实用新型实施例或现有技术中的技术方案，下面将对实施例或现有技术描述中所需要使用的附图作简单地介绍，显而易见地，下面描述中的附图仅仅是本实用新型的实施例，对于本领域普通技术人员来讲，在不付出创造性劳动性的前提下，还可以根据这些附图获得其他的附图。

图1为一种晶圆切割冷却水循环设备的结构示意图。

图2为一种主控制器的结构示意图。

图中，1-制冷压缩机；2-冷凝器；3-散热风机；4-干燥过滤器；5-热力膨胀阀；6-蒸发器水箱；7-液位开关；8-进水电磁阀；9-供水球阀；10-供水流量计；11-离心水泵；12-电动调节阀；13-保安过滤器；14-供水温度传感器；15-晶圆切割电机主轴；16-回水温度传感器；17-回水球阀；18-回水流量计；19-主控制器；20-第一管道；21-第二管道；22-第三管道；23-循环管道。

具体实施方式

下面将结合本实用新型实施例中的附图，对本实用新型实施例中的技术方案进行清楚、完整地描述，显然，所描述的实施例仅仅是本实用新型优选的实施例，而不是全部的实施例。基于本实用新型中的实施例，本领域普通技术人员在没有作出创造性劳动前提下所获得的所有其他实施例，都属于本实用新型保护的范围。

参见图1所示，一种晶圆切割冷却水循环设备,包括冷却机组、蒸发器水箱6和晶圆切割机主轴。

冷却机组,其用于对蒸发器水箱6里的水进行循环冷却，冷却机组包括循环冷却管道，在循环冷却管道上依次串联安装有制冷压缩机1、冷凝器2、干燥过滤器4和热力膨胀阀5，其中在冷凝器2附近设置有散热风机3。位于蒸发器水箱6内部的循环冷却管为制冷机蒸发器。

蒸发器水箱6，蒸发器水箱6分别连通有第一管道20、第二管道21和第三管道22；纯水由第一管道20输入，并经过蒸发器水箱6被冷却机组冷却后进入第二管道21。

晶圆切割机主轴，第二管道21经过晶圆切割机主轴后与第三管道22循环导通，形成对晶圆切割机主轴的循环冷却水。

目前市面上的一种晶圆切割冷却水循环设备，其包括的冷却机组、蒸发器水箱6和晶圆切割机主轴均有上述的技术手段，为此在本具体实施方式中不再进行详细阐述，本具体实施方式是在上述基础上进行改进，以期改善并实现其使用性能。

改进的第一种具体实施方式：

参见图1和图2所示，在第二管道21装有电动调节阀12和供水温度传感器14，在第三管道22上装有回水温度传感器16，电动调节阀12、供水温度传感器14和回水温度传感器16均电连接在一主控制器19上。

这样，主控制器19可以通过供水温度传感器14和回水温度传感器16对水温的监测，判断电动调节阀12调节开启的大小，使得可以精确控制晶圆切割机主轴的温度变化在±1℃左右，保证了切割精度。

主控制器19一般采用plc控制器，并采用统一的供电单元进行供电。

改进的第二种具体实施方式：

在蒸发器水箱6上装有液位开关7，在第一管道20上装有进水电磁阀8，液位开关7和进水电磁阀8均电连接在主控制器19上。

这样，主控制器19通过液位开关7控制进水电磁阀8进水，防止因为水箱漏水或第二管道21漏水造成蒸发器水箱6水位不够，造成供水不足。

具体的，主控制器19通过液位开关7判断蒸发器水箱6里的水的液位是否达到设定值，低于设定液位值时，液位开关7导通，开启进水电磁阀8；高于设定液位值时，液位开关7断开，进水电磁阀8关闭。

改进的第三种具体实施方式：

在第二管道21上装有供水流量计10；在第三管道22上装有回水流量计18，供水流量计10和回水流量计18均电连接在主控制器19上。

这样，通过供水流量计10和回水流量计18共同检测第二管道21、第三管道22中的水流量，进行判断是否出现漏水、缺水等现象，防止水温度变化大，从而保护晶圆切割机主轴。

改进的第四种具体实施方式：

在第二管道21上装有保安过滤器13。

这样，通过保安过滤器13过滤后的水再经过晶圆切割机主轴，可以防止管道内有细微颗粒堵塞晶圆切割机主轴内微小的空隙，造成阻力增大，影响切割精度；也防止微小杂质堵塞第二管道21。

改进的第五种具体实施方式：

将蒸发器水箱6固定在一可移动的小车上。

这样，方便蒸发器水箱6的移动，使其能在场地上移动，提高其应用场地范围。

改进的第六种具体实施方式：

在第二管道21上装有离心水泵11，离心水泵11与主控制器19电连接。

这样，在主控制器19的控制上，离心水泵11可以配合第二管道21上的电动调节阀12，并通过供水温度传感器14和回水温度传感器16的温度判断，对流入晶圆切割机主轴的水温进行更精准的调节。

为了便于控制，一般在第二管道21上装有供水球阀9，在第三管道22上装有回水球阀17。

第二至第六种改进的具体实施方式，都可以在第一种改进的具体实施方式的基础上进行组合。也可以对各种改进的具体实施方式进行其他方式的适当组合，从而形成更多的具体实施方式，包括但不限于进行全部的组合。

需要特别说明的是，附图2标示的1、3、7、8、10、11、12、14、15、16、18，表示的是“1、3、7、8、10、11、12、14、15、16、18”这些标号所对应的部件或元件，例如，1-制冷压缩机；3-散热风机；7-液位开关；8-进水电磁阀；10-供水流量计；11-离心水泵；12-电动调节阀；14-供水温度传感器；15-晶圆切割电机主轴；16-回水温度传感器；18-回水流量计，均可以与主控制器进行电连接，从而主控制器可以综合或集成控制。并不表示是对主控制器进行多种标号。

上文所列出的一系列的详细说明仅仅是针对本实用新型的可行性实施例的具体说明，它们并非用以限制本实用新型的保护范围，凡未脱离本实用新型技艺精神所作的等效实施例或变更均应包含在本实用新型的保护范围之内。