一种超低温环境用陶瓷导轨加工设备的制作方法

本技术涉及陶瓷导轨制备，尤其是涉及一种超低温环境用陶瓷导轨加工设备。

背景技术：

1、我国半导体行业最近几年发展速度非常快，目前全国已经有上百家半导体的设计和生产厂家，但半导体设备陶瓷部件的生产在国内仍占比重较小。冷等静压成型技术是陶瓷成型工艺中的常用技术，具有操作简单，质量稳定，成型体密度均匀等优点，而在进行冷等静压成型之前，需要通过补料设备对冷等静压成型模具进行振动补料，以降低冷等静压成型模具内的气密性。

2、相关技术中，补料设备包括冷等静压成型模具以及底座，底座上转动设置有下转盘，且底座上设置有驱动下转盘转动的转动装置以及驱动下转盘振动的振动装置；底座的上方固定设置有多个固定柱，固定柱上沿竖直方向滑移有升降座，升降座的下方转动设置有上转盘，冷等静压成型模具的底端通过螺栓固定安装于下转盘上；下转盘上开设有通孔，通孔的底端连通有柔性套，柔性套的底端套设于冷等静压成型模具的顶端进料口处，升降座上设置有放料仓，放料仓内存放有陶瓷粉料，放料仓的出料口处可与通孔相对应。

3、发明人认为，放料仓内的陶瓷粉料的颗粒直径大小存在差异，因此可能会存在一些大直径的陶瓷粉料颗粒，而当这些大直径的陶瓷粉料颗粒进入到模具内后，可能会降低使得模具的陶瓷粉料之间存在较多的间隙，从而可能会影响降低模具内的气密性，进而降低了成型后的陶瓷轨道的强度和硬度。

技术实现思路

1、为了能够降低模具内陶瓷粉料之间的间隙，从而能够提高模具内的气密性，进而提高成型后陶瓷轨道的强度和硬度，本技术提供一种超低温环境用陶瓷导轨加工设备。

2、本技术提供的一种超低温环境用陶瓷导轨加工设备采用如下的技术方案：

3、一种超低温环境用陶瓷导轨加工设备，包括柔性套以及模具，所述柔性套上固定设置有输料管，所述模具的进料端能够插接于输料管内，所述输料管的内壁滑移设置有滑板，所述滑板上安装有筛网，所述输料管内设有用于对所述筛网进行振动的振动组件。

4、通过采用上述技术方案，工作人员将模具安装在下转盘上后，驱动升降座向靠近模具的方向移动，直至模具插接至输料管内，随后当模具完全插接至输料管后，可驱动该加工设备进行工作，期间可同时通过振动组件振动筛网，陶瓷粉料首先落入到筛网上，筛网振动能够陶瓷粉末进行筛滤，直径较大的陶瓷粉料则会滞留在筛网上，直径较小的陶瓷粉料则会流入至模具内，从而能够提高模具内陶瓷粉末之间的气密性，增加了模具内陶瓷粉末的数量，因而能够提高陶瓷导轨的硬度。

5、优选的，所述振动组件包括驱动电机以及凸轮，所述驱动电机安装于所述输料管上，且所述驱动电机的转轴固定安装有第一转杆，所述第一转杆转动设置于所述输料管的侧壁，所述凸轮固定安装于所述第一转杆上，所述凸轮的侧壁滑动连接于所述滑板。

6、通过采用上述技术方案，工作人员可开启驱动电机，驱动电机驱动第一转杆转动，第一转杆转动带动凸轮转动，凸轮转动能够推动滑板以及筛网沿竖直方向进行往复移动，从而能够对筛网进行振动。

7、优选的，所述输料管的内壁安装有缓流板，所述缓流板上开设有多个出料孔，所述缓流板上转动设置有转板，所述转板上固定设置有多个挡板，多个所述挡板能够与多个所述出料孔一一对应；所述输料管上设有用于驱动所述转板转动的转动组件。

8、通过采用上述技术方案，滑板在振动的过程中，能够通过转动组件驱动转板进行往复转动，转板能够同时带动挡板往复转动，当转板转动至出料孔上方位置时，出料孔被堵塞，当转板转动至远离出料孔的位置时，出料孔打开，从而能够降低陶瓷粉料下落时的速度，降低了输料管内因陶瓷粉末堆积过多发生堵塞的可能性，提高了筛网对陶瓷粉末筛滤的效率。

9、优选的，所述转动组件包括齿条、连接杆以及第一齿轮，所述齿条的一端固定设置于所述滑板，所述连接杆转动设置于所述输料管的内壁，所述第一齿轮固定设置于所述连接杆的一端，所述第一齿轮与所述齿条相啮合；所述连接杆靠近所述转板的一端固定设置有第一锥齿轮，所述转板上固定设置有连杆，所述连杆上固定设置有第二锥齿轮，所述第二锥齿轮与所述第一锥齿轮相啮合。

10、通过采用上述技术方案，滑板在移动的过程中，能够带动齿条移动，齿条移动带动第一齿轮转动，第一齿轮转动带动连接杆转动，连接杆转动带动第一锥齿轮转动，第一锥齿轮转动带动第二锥齿轮转动，第二锥齿轮转动带动连杆转动，连杆转动带动转板转动，从而能够降低转板以及挡板发生转动的难度。

11、优选的，所述输料管内设有推板以及用于驱动所述推板移动的驱动组件，所述推板滑移于所述输料管的内腔；所述推板靠近所述筛网的一侧安装有刷毛，所述刷毛能够滑动连接于所述筛网；所述输料管的侧壁开设有排料口，所述输料管外安装有收集箱，所述收集箱的开口朝向所述排料口设置。

12、通过采用上述技术方案，当该加工设备对模具加工完成后，工作人员驱动升降座带动输料管向远离模具的方向移动，输料管与模具分离的过程中，可触发驱动组件驱动推板带动刷毛向排料口的方向移动，刷毛可将筛网上残留的大直径陶瓷粉末推动至收集箱内，从而可对筛网进行清洁；之后输料管与模具相对移动的过程中能够继续通过驱动组件驱动推板以及刷毛移动至初始位置，以便于对筛网反复清洁。

13、优选的，所述驱动组件包括双向丝杠、第一推杆，所述双向丝杠转动设置于所述输料管的内壁，所述推板螺纹配合于所述双向丝杠；所述双向丝杠的一端固定设置有第二齿轮；

14、所述第一推杆滑移设置于所述输料管的侧壁，所述第一推杆上开设有多个储存槽，所述储存槽内设有第一推块以及第一推动弹簧，所述第一推块滑移于所述储存槽，所述第一推块能够插接于所述第二齿轮上的齿槽，所述第一推块靠近所述第二齿轮的一侧设有斜面，所述第一推动弹簧的两端分别固定连接于所述第一推块以及所述储存槽的内壁；

15、所述第一推杆上固定设置有垃块，所述垃块滑移设置于所述输料管的内壁，所述垃块靠近模具的一端开设有第一滑槽，所述第一滑槽内滑移设置有插接块，所述第一滑槽内设有第一弹簧，所述第一弹簧的两端分别固定设置于所述插接块以及所述第一滑槽的内壁，模具上开设有供所述插接块插接的插接槽，所述插接块上设有斜面；所述插接块上固定设置有抵接块，所述输料管的内壁固定设置有抵接柱，所述抵接柱上设有斜面，所述抵接柱能够抵接配合于所述抵接块，所述输料管内设有使得第一推杆复位的复位件。

16、通过采用上述技术方案，模具与输料管相插接的过程中，模具的侧壁可通过插接块上的斜面推动插接块压缩第一弹簧移动，当模具移动至插接块与插接槽相对应的位置时，第一弹簧的弹力可推动插接块插接至插接槽内；之后当工作人员将模具与输料管分离时，模具能够带动插接块一起移动，插接块带动第一推杆移动，第一推杆带动第一推块移动，第一推块能够推动第二齿轮转动，第二齿轮转动带动双向丝杠转动，第二双向丝杠转动驱动推板以及刷毛移动，从而降低了刷毛移动的难度，当模具与输料管即将分离时，此时推板以及刷毛移动至远离排料口的位置；

17、并且此时抵接块能够逐渐与抵接柱相接触，随后抵接柱能够通过斜面推动抵接块带动插接块向远离模具的方向移动，当插接块与模具相分离后，从而能够便于模具与输料管相分离；同时，第一推杆可在复位件的复位作用下移动至初始位置，期间，当第一推块与第二齿轮相接触时，第一推块可通过斜面与第二齿轮上的齿相抵接，并压缩第一推动弹簧进行移动，降低了第一推杆复位的难度。

18、优选的，所述排料口处设置有密封板，所述密封板的一端固定设置有转动轴，所述转动轴转动设置于所述输料管的侧壁，所述转动轴上套设有扭簧，所述扭簧的两端分别固定设置于所述转动轴以及所述输料管的侧壁；所述密封板上开设有第一滑移槽，所述第一滑移槽内设有限位块以及第二弹簧，所述限位块滑移于所述第一滑移槽内，所述限位块上设有斜面，所述第二弹簧的两端分别固定设置于所述限位块以及所述第一滑移槽的内壁，所述输料管的侧壁开设有供所述限位块插接的限位槽，所述输料管上设有用于驱动所述限位块移动的移动机构。

19、通过采用上述技术方案，当该加工设备工作时，限位块插接于输料管上的限位槽内，密封板被限位，且密封板将排料口堵塞，降低了该加工设备在正常工作下，陶瓷粉料从排料口排出的可能性，并且扭簧处于扭转状态；随后当推板向靠近排料口的方向移动的过程中，能够触发移动机构驱动限位块向远离限位槽的方向移动，之后密封板可在扭簧的扭力作用下转动打开，从而能够便于刷毛将筛网上的大直径陶瓷粉末推动至收集箱内。

20、优选的，所述移动机构包括抵接杆以及推动块，所述抵接杆滑移于所述输料管的侧壁，所述抵接杆能够抵接配合于所述限位块，所述输料管内设有使得所述抵接杆复位的复位组件；所述推动块的一端固定设置于所述抵接杆，所述推动块能够抵接配合于所述推板。

21、通过采用上述技术方案，推板在向靠近排料口的方向移动的过程中，能够推动推动块移动，推动块带动抵接杆移动，随后抵接杆可通过限位块上的斜面推动限位块移动，当限位块移动至远离限位槽的位置后，从而能够解除密封板的限位，降低了密封板打开的难度。

22、优选的，所述输料管的内壁转动设置有第二转杆，所述第二转杆的一端固定设置有第三齿轮，所述第二转杆与所述转动轴之间通过皮带进行联动，所述推板上固定设置有第二推杆，所述第二推杆上开设有多个第二滑槽，所述第二滑槽内设有第二推块以及第二推动弹簧，所述第二推块滑移于所述第二滑槽，所述第二推块上设有斜面，所述第二推块能够插接于所述第三齿轮上的齿槽内；所述第二推动弹簧的两端分别固定连接于所述第二推块以及所述第二滑槽的内壁。

23、通过采用上述技术方案，当刷毛将筛网上的大直径陶瓷粉料推动至收集箱后，可向远离排料口的方向移动，推板可带动第二推杆移动，第二推杆带动第二推块移动，随后第二推块能够推动第三齿轮转动，第三齿轮转动带动第二转杆转动，第二转杆转动能够通过皮带带动转动轴转动，转动轴转动带动密封板转动，从而能够降低密封板将排料口重新堵塞的难度；当推板向靠近排料口的方向移动时，第二推块与第三齿轮上的齿相接触时，第二推块能够通过斜面压缩第二推动弹簧进行移动，此时第三齿轮无法转动，同时也降低了第二推杆移动的难度。

24、优选的，所述推板靠近所述筛网的一侧开设有第三滑槽，所述第三滑槽内设有连接板以及第三推动弹簧，所述连接板滑移于所述第三滑槽，所述刷毛固定设置于所述连接板靠近所述筛网的一侧，所述第三推动弹簧的两端分别固定设置于所述连接板以及所述第三滑槽的内壁；所述连接板上固定设置有导向杆，所述输料管的内壁开设有导向槽，所述导向槽呈环状，所述导向杆滑动连接于所述导向槽的内壁。

25、通过采用上述技术方案，推板在移动时，导向杆始终滑移于导向槽内，推板向靠近排料口的方向移动的过程中，此时刷毛滑动连接于筛网，之后当推刷毛将筛网上的大直径陶瓷粉末推离后，导向杆逐渐向远离筛网的方向移动，直至刷毛远离筛网，随后当推板向远离排料口的方向移动时，降低了刷毛将筛网上残留的陶瓷粉料向远离排料口的方向移动的可能性。

26、综上所述，本技术包括以下至少一种有益技术效果：

27、工作人员将模具安装在下转盘上后，驱动升降座向靠近模具的方向移动，直至模具插接至输料管内，随后当模具完全插接至输料管后，可驱动该加工设备进行工作，期间可同时通过振动组件振动筛网，陶瓷粉料首先落入到筛网上，筛网振动能够陶瓷粉末进行筛滤，直径较大的陶瓷粉料则会滞留在筛网上，直径较小的陶瓷粉料则会流入至模具内，从而能够提高模具内陶瓷粉末之间的气密性，增加了模具内陶瓷粉末的数量，因而能够提高陶瓷导轨的硬度；

28、工作人员可开启驱动电机，驱动电机驱动第一转杆转动，第一转杆转动带动凸轮转动，凸轮转动能够推动滑板以及筛网沿竖直方向进行往复移动，从而能够对筛网进行振动；

29、滑板在振动的过程中，能够通过转动组件驱动转板进行往复转动，转板能够同时带动挡板往复转动，当转板转动至出料孔上方位置时，出料孔被堵塞，当转板转动至远离出料孔的位置时，出料孔打开，从而能够降低陶瓷粉料下落时的速度，降低了输料管内因陶瓷粉末堆积过多发生堵塞的可能性，提高了筛网对陶瓷粉末筛滤的效率。