一种轴向可移动芯轴的空气主轴、划片机的制作方法

本申请涉及划片机，特别涉及一种轴向可移动芯轴的空气主轴。还涉及一种包括轴向可移动芯轴的空气主轴的划片机。

背景技术：

1、划片机作为半导体后封装的关键设备，是通过安装在空气静压高速主轴刀盘上的划片刀对晶圆进行划切，空气主轴作为最重要的核心零部件，其性能对晶圆的加工质量及刀具寿命具有重要影响。

2、空气主轴具有回转精度高、摩擦小、寿命长等优点，但是在划片机工作时，空气主轴是由龙门架上的驱动电机带动切割，这样会造成刀片颤动，造成晶圆的崩边问题。所以在对加工质量要求越来越严格的情况下，需要对空气主轴本身的稳定性进行改进。

技术实现思路

1、本申请的目的是提供一种轴向可移动芯轴的空气主轴，在驱动组件驱动芯轴高速旋转时，芯轴在轴向方向可以移动，提高了主轴切割时的稳定性。本申请的另一目的是提供一种包括轴向可移动芯轴的空气主轴的划片机。

2、为实现上述目的，本申请提供一种轴向可移动芯轴的空气主轴，包括：

3、芯轴，具有第一端和第二端；

4、刀片组件，安装于所述芯轴的第一端，所述刀片组件用于在所述芯轴的转动作用下实现对物料的切割；

5、第一套组，套装所述芯轴的第一端和第二端之间，所述第一套组中设置有用于驱动所述芯轴转动的驱动组件，并且所述芯轴可沿所述第一套组移动；

6、第二套组，套装所述芯轴的第二端，所述第二套组用于带动所述芯轴及所述刀片组件沿所述第一套组移动。

7、在一些实施例中，所述第一套组还包括：

8、第一壳体，内部安装有径向轴承和所述驱动组件，并且所述驱动组件套装所述芯轴；

9、所述径向轴承，套装所述芯轴。

10、在一些实施例中，所述径向轴承为两个，所述驱动组件位于两个所述径向轴承之间。

11、在一些实施例中，所述第一套组还包括：

12、第一端盖，安装于所述第一壳体，所述第一端盖套装所述芯轴第一端的周部，所述第一端盖位于所述第一壳体和所述刀片组件之间。

13、在一些实施例中，所述驱动组件包括：

14、电机定子，套装所述芯轴，所述电机定子用于驱动所述芯轴转动；

15、水冷槽，套装所述电机定子，所述水冷槽用于对所述电机定子水冷降温。

16、在一些实施例中，所述芯轴的第二端设置有止推盘；所述第二套组包括：

17、第二壳体，内部安装有第一止推轴承和第二止推轴承；

18、所述第一止推轴承，套装所述芯轴，所述第一止推轴承位于所述止推盘的第一侧；

19、所述第二止推轴承，位于所述止推盘的第二侧。

20、在一些实施例中，所述第二套组还包括：

21、第二端盖，安装于所述第二壳体，所述第二端盖与所述止推盘之间有所述第二止推轴承。

22、在一些实施例中，所述刀片组件包括：

23、安装法兰，安装于所述芯轴的第一端；

24、刀片，套装所述安装法兰。

25、本申请还提供了一种划片机，包括上述轴向可移动芯轴的空气主轴。

26、在一些实施例中，所述划片机还包括第一运动组件和第二运动组件，所述第一运动组件与所述第一套组连接，所述第一运动组件用于带动所述轴向可移动芯轴的空气主轴移动；所述第二运动组件安装于所述第一运动组件，所述第二运动组件与所述第二套组连接，所述第二运动组件用于带动所述芯轴移动。

27、相对于上述背景技术，本申请所提供的轴向可移动芯轴的空气主轴包括芯轴、刀片组件、第一套组和第二套组。其中，芯轴具有第一端和第二端；刀片组件安装于芯轴的第一端，刀片组件用于在芯轴的转动作用下实现对物料的切割；第一套组套装芯轴的第一端和第二端之间，第一套组中设置有用于驱动芯轴转动的驱动组件，并且芯轴可沿第一套组移动；第二套组套装芯轴的第二端，第二套组用于带动芯轴及刀片组件沿第一套组移动。

28、在该轴向可移动芯轴的空气主轴的使用过程中，一方面，驱动组件在第一套组中驱动芯轴转动，芯轴进而带动刀片组件动作，由刀片组件实现对物料的切割；另一方面，芯轴在第一套组中可沿第一套组移动，通过第二套组带动芯轴及刀片组件沿第一套组移动，将刀片组件转移至切割位置。上述轴向可移动芯轴的空气主轴，在驱动组件驱动芯轴高速旋转时，芯轴在轴向方向可以移动，提高了主轴切割时的稳定性。

技术特征：

1.一种轴向可移动芯轴的空气主轴，其特征在于，包括：

2.根据权利要求1所述的轴向可移动芯轴的空气主轴，其特征在于，所述第一套组还包括：

3.根据权利要求2所述的轴向可移动芯轴的空气主轴，其特征在于，所述径向轴承为两个，所述驱动组件位于两个所述径向轴承之间。

4.根据权利要求2所述的轴向可移动芯轴的空气主轴，其特征在于，所述第一套组还包括：

5.根据权利要求2所述的轴向可移动芯轴的空气主轴，其特征在于，所述驱动组件包括：

6.根据权利要求1所述的轴向可移动芯轴的空气主轴，其特征在于，所述芯轴的第二端设置有止推盘；所述第二套组包括：

7.根据权利要求6所述的轴向可移动芯轴的空气主轴，其特征在于，所述第二套组还包括：

8.根据权利要求1所述的轴向可移动芯轴的空气主轴，其特征在于，所述刀片组件包括：

9.一种划片机，其特征在于，包括如权利要求1至8任一项所述的轴向可移动芯轴的空气主轴。

10.根据权利要求9所述的划片机，其特征在于，还包括第一运动组件和第二运动组件，所述第一运动组件与所述第一套组连接，所述第一运动组件用于带动所述轴向可移动芯轴的空气主轴移动；所述第二运动组件安装于所述第一运动组件，所述第二运动组件与所述第二套组连接，所述第二运动组件用于带动所述芯轴移动。

技术总结
本申请公开了一种轴向可移动芯轴的空气主轴、划片机，涉及划片机技术领域；所述轴向可移动芯轴的空气主轴包括芯轴、刀片组件、第一套组和第二套组，芯轴具有第一端和第二端；刀片组件安装于所述芯轴的第一端，所述刀片组件用于在所述芯轴的转动作用下实现对物料的切割；第一套组套装所述芯轴的第一端和第二端之间，所述第一套组中设置有用于驱动所述芯轴转动的驱动组件，并且所述芯轴可沿所述第一套组移动；第二套组套装所述芯轴的第二端，所述第二套组用于带动所述芯轴及所述刀片组件沿所述第一套组移动。上述轴向可移动芯轴的空气主轴，在驱动组件驱动芯轴高速旋转时，芯轴在轴向方向可以移动，提高了主轴切割时的稳定性。

技术研发人员：赵彤宇,王超,李伟超,王建伟,兰钊,张健欣
受保护的技术使用者：光力瑞弘电子科技有限公司
技术研发日：
技术公布日：2024/1/16