专利名称：复制光栅的分离夹具的制作方法
技术领域：
本实用新型涉及复制平面光栅的分离技术，具体涉及一种复制光栅的分离夹具。
背景技术：
分离工艺是复制平面光栅的最后一道工序，对复制光栅的质量和性能有极大的影响。如果分离时用力不均匀或者方向掌握的不好，会造成光栅表面损伤以及分辨率和衍射效率等重要参数下降。若垂直于光栅刻槽分离，还会造成槽型角度的变化，使定向波长发生改变，严重的可改变10(Tl50nm.当母光栅和复制基坯之间的环氧树脂胶固化好之后，由于两者之间镀有油层，所以两者较好分离。但是母光栅和复制基坯之间的多余胶液会充满光栅的边缘和倒角处，使两者牢固地结合在一起，所以分离起来较为困难。因此，良好的分离工艺是需要克服上述现象，使复制基坯和母光栅无损伤地分离开来。 目前，平面复制光栅的分离方法主要有人工分离法和热梯度分离法两种。人工分离法是将小刀或刀片插入垂直于光栅刻槽方向的分界处，对光栅倒角和边缘处所积存的固化环氧树脂胶进行刮削，反复多次之后，在一定力的作用下，复制基坯和母光栅会自行分开。人工分离法的优点是余胶的清除较为彻底，有助于分离。但由于刀片的锋利性和人为控制的不定因素，会在刮削和分离的瞬间对光栅造成不同程度的损伤，轻者会在光栅表面留下灰印，重者会损坏复制基坯甚至是母光栅的表面，这对于分离来说是必须要避免的。热梯度分离法是利用由热梯度产生的弯曲力来进行分离，即加热或冷却一个复制基坯。如果不够，可以相反地处理另一复制基坯。如果其中一个复制基坯是金属的，这个方法就更有效，因为热导率越大，热梯度就形成得越快。在相关专利文献方面，如文献(衍射光栅的复制技术，中国仪器仪表1984年03期)提出如果两个复制基坯都是低膨胀材料，就不能使用此方法。
实用新型内容实用新型内容本实用新型的目的在于，提供一种复制光栅的分离夹具，并借助人
工分离和机械方法将母光栅和复制基坯进行分离，并为分离光栅提供了一种快捷，方便的操作结构。本实用新型所需要解决的技术问题，可以通过以下技术方案来实现一种复制光栅的分离夹具，其特征在于，包括工作台1，用于放置母光栅11 ;真空泵装置17，与工作台I连接，用于将母光栅11固定于工作台I上；复制基坯12，设置于母光栅11上，以及一对夹板5、6，设置于工作台上，一对夹板与复制基坯12的两侧相平行，用于夹住复制基坯12。进一步，本实用新型的复制光栅的分离夹具还可以具有这样的特征工作台1，包括储存凹槽14，用于放置母光栅11，储存凹槽14的深度小于母光栅的高度；真空凹槽15，设置于储存凹槽14的下方，并且其横截面的面积小于储存凹槽14的面积；以及圆柱形通孔16，上端与真空凹槽15连接，下端与真空泵装置17连接。进一步，本实用新型的复制光栅的分离夹具还可以具有这样的特征其中，一对夹板(5、6)之间采用两个定位螺杆(8、10)连接。进一步，本实用新型的复制光栅的分离夹具还可以具有这样的特征其中，至少有一个夹板与复制基坯12的一侧相连接。进一步，本实用新型的复制光栅的分离夹具还可以具有这样的特征其中，复制基坯12的一侧相与一个夹板连接，复制基坯12的另一侧通过球形压块7与另一个夹板连接。进一步，本实用新型的复制光栅的分离夹具还可以具有这样的特征其中，球形压块7的顶点与夹板6相切，球形压块7采用固定螺钉9与复制基坯12固定连接，使得复制基坯12上下移动。进一步，本实用新型的复制光栅的分离夹具还可以具有这样的特征其中，复制基坯12的一侧相与一个夹板采用固定螺钉(2、3)连接。防止夹板5在调节螺钉4受到工作台I对其的反作用力时脱离复制基坯。进一步，本实用新型的复制光栅的分离夹具还可以具有这样的特征至少有一个夹板上设置有调节螺钉4。其中，旋转调节螺钉4使得工作台I有向下的作用力，工作台I对调节螺钉4产生一个向上的反作用力，使得夹板和复制基坯12 —起向上移动，从而使得复制基坯12与母光栅11分离开。本实用新型的有益效果I、本实用新型采用分别固定母光栅和复制基坯的方式，将带有真空泵装置的工作台来固定母光栅，在工作台上使用双夹板和球形压块相结合的模式来固定复制基坯。2、球形压块的顶点和夹板面相切，使得复制基坯的一侧可在一定程度上上下移动，保证了分离的可靠性。3、在复制基坯两侧的夹板上采用固定螺钉加固，使夹板和复制基坯成为一体，有利于夹板带动复制基坯向上分离。
4、本实用新型巧妙地把人工刮削和机械方法相结合，为分离光栅提供了一种快捷，方便的操作结构，避免了人工分离法所造成的灰印滞留和光栅表面损坏，并保证光栅的表面质量和使用性能。5、本实用新型扩大了热梯度法的应用范围，对于各种基坯材料的复制光栅都可以进行分离。图I为复制光栅分离夹具的前视结构图。图2为复制光栅分离夹具的三维立体结构图。图3为复制光栅分离夹具的右视结构图。附图标记1.工作台；2.固定螺钉；3.固定螺钉；4.调节螺钉；5.夹板；6.夹板；
7.球形压块；8.定位螺杆；9.固定螺钉；10.定位螺杆；11.母光栅；12.复制基坯；13.环氧树脂胶；14储存凹槽；15真空凹槽；16圆柱形通孔；17真空泵装置。
具体实施方式
以下结合具体实施例，对本实用新型作进一步说明。应理解，以下实施例仅用于说明本实用新型而非用于限定本实用新型的范围。实施例I图I为复制光栅分离夹具的前视结构图。图2为复制光栅分离夹具的三维立体结构图。图3为复制光栅分离夹具的右视结构图。如图广2所示，复制光栅的分离夹具，包括工作台I、真空泵装置17、复制基坯12、夹板5、夹板6、定位螺杆8、定位螺杆10、固定螺钉2、固定螺钉3、固定螺钉9和调节螺钉4。如图I和图3所示，工作台I用于放置母光栅11，并连接一用于固定母光栅11的
真空泵装置17。工作台I包括储存凹槽14、真空凹槽15和圆柱形通孔16。储存凹槽14设置与工作台I的中央，储存凹槽14的面积和母光栅的面积相同，用于放置母光栅11，储存凹槽14的深度小于母光栅的高度广2毫米。在另一种是实施例中，储存凹槽14深度为母光栅11的高度的一半。真空凹槽15，设置于储存凹槽14的下方，并且其横截面的面积小于储存凹槽14的面积；以及圆柱形通孔16，上端与真空凹槽15连接，下端与真空泵装置17连接。在储存凹槽14下方，有一个尺寸稍小的正方形真空凹槽15和圆柱形通孔16，其目的在于利用真空泵装置17抽取母光栅11下表面的空气，使其达到所需要的真空度。首先利用人工刮削的方法，将已经固化好的母光栅11和复制基坯12的倒角和边缘处的环氧树脂胶尽可能地清除，然后将其整体放入工作台I中的正方形的储存凹槽14中，并开启真空泵使其通过小正方形的真空凹槽15和圆柱形通孔16抽取真空。当真空达到一定压强时，母光栅11将牢牢地吸附在工作台I内的正方形的储存凹槽14中。如图2，母光栅11固定好之后，需要固定复制基坯12。复制基坯12，设置于母光栅11上。夹板5、夹板6，设置于工作台I上,夹板5和夹板6分别设置与复制基坯12的两侦牝并且与复制基坯12的两侧相平行，用于夹住复制基坯12。夹板5、夹板6之间采用定位螺杆8，定位螺杆10连接。这时将夹板5和夹板6同时平行地靠近复制基坯12，并旋紧定位螺杆8和定位螺杆10，使两块夹板5、夹板6先初步固定复制基坯12。球形压块7的顶点与夹板6相切，然后微调球形压块7使其和复制基坯12的侧面重合，并使用固定螺钉9顶住球形压块，加大球形压块7对复制基坯12的固定作用，使得复制基坯12上下移动。同时旋紧固定螺钉2和固定螺钉3使其将夹板5和复制基坯12完全固定。夹板5上设置有调节螺钉4，待母光栅11和复制基坯12完全固定好之后，向下旋拧夹板5中的调节螺钉4，使其对工作台I有竖直向下的作用力，根据力的作用关系，工作台I会对调节螺丝4产生竖直向上的反作用力，使夹板5和复制基坯12—起向上移动，从而使复制基坯12和母光栅11分离开来。以上对本发明的具体实施方式
进行了说明，但本发明并不以此为限，只要不脱离本发明的宗旨，本发明 还可以有各种变化。
权利要求1.一种复制光栅的分离夹具，其特征在于，包括工作台(I)，用于放置母光栅(11);真空泵装置(17)，与所述工作台(I)连接，用于将所述母光栅(11) 固定于所述工作台(I)上；复制基坯(12)，设置于所述母光栅(11)上，以及一对夹板(5,6),设置于所述工作台上，一对所述夹板与所述复制基坯(12)的两侧相平行，用于夹住所述复制基坯(12)。
2.根据权利要求I所述的复制光栅的分离夹具，其特征在于，所述工作台(1)，包括 储存凹槽(14)，用于放置所述母光栅(11)，所述储存凹槽(14)的深度小于所述母光栅的高度； 真空凹槽(15)，设置于所述储存凹槽(14)的下方，并且其横截面的面积小于所述储存凹槽(14)的面积；以及 圆柱形通孔(16)，上端与所述真空凹槽(15)连接，下端与所述真空泵装置(17)连接。
3.根据权利要求I所述的复制光栅的分离夹具，其特征在于其中，一对所述夹板(5、6)之间采用两个定位螺杆(8、10)连接。
4.根据权利要求3所述的复制光栅的分离夹具，其特征在于其中，至少有一个所述夹板与所述复制基坯(12)的一侧相连接。
5.根据权利要求I或4所述的复制光栅的分离夹具，其特征在于 其中，所述复制基坯(12)的一侧相与一个所述夹板连接，所述复制基坯(12)的另一侧通过球形压块(7)与另一个所述夹板连接。
6.根据权利要求5所述的复制光栅的分离夹具，其特征在于其中，所述球形压块(7)的顶点与所述夹板(6)相切，所述球形压块(7)采用固定螺钉(9)与所述复制基坯(12)固定连接，使得所述复制基坯(12)上下移动。
7.根据权利要求5所述的复制光栅的分离夹具，其特征在于 其中，所述复制基坯(12)的一侧相与一个所述夹板采用固定螺钉(2、3)连接。
8.根据权利要求5所述的复制光栅的分离夹具，其特征在于 至少有一个所述夹板上设置有调节螺钉(4)。
专利摘要本实用新型公开了一种复制光栅的分离夹具，包括工作台(1)用于放置母光栅(11)；真空泵装置(17)与所述工作台(1)连接，用于将所述母光栅(11)固定于所述工作台(1)上；复制基坯(12)设置于所述母光栅(11)上，以及一对夹板(5、6)设置于所述工作台上，一对所述夹板与所述复制基坯(12)的两侧相平行，用于夹住所述复制基坯(12)。本实用新型将人工分离和机械方法巧妙地结合在一起，对母光栅(11)和复制基坯(12)采用分离固定的方式，避免了刮削时留下的灰印和损伤光栅表面，对于各种基底材料的平面光栅都适于分离。
文档编号B25B11/00GK202684779SQ20122020969
公开日2013年1月23日 申请日期2012年5月10日 优先权日2012年5月10日
发明者李亭, 黄元申, 李柏承, 吴叶华, 张大伟, 周晟, 凌进中, 杨惠芳, 王 琦 申请人:上海理工大学