专利名称：一种用于光罩定位的机械臂的制作方法
技术领域：
一种用于光罩定位的机械臂技术领域[0001]本实用新型涉及一种半导体器件生产技术领域，特别是涉及一种用于光罩定位的机械臂。
背景技术：
[0002]随着社会经济的发展，人类生活已经进入了数字化时代，众多的数字化产品给人们带来方便的同时，也让人得以享受高科技的文明进步成果，比如，电脑、手机、汽车、影音设备等与我们生活息息相关的产品。而这一切都源于集成电路技术的飞速发展。[0003]现有集成电路的生产包括一系列工艺，其中，光刻是制造半导体器件和大规模集成电路的关键工艺之一。它是利用光学-化学反应原理和化学、物理刻蚀的方法，将光罩上的电路图形传递到涂有光刻胶的单晶表面或介质上，以便形成有效图形窗口或功能图形。 在集成电路制备过程中，将光罩由存储柜(例如，DMS reticle stocker)中取出或存入通常都是依靠机械臂。[0004]图I示出了一种现有机械臂。该机械臂前端两分支上分别设置有一个定位部件 (即pin)b，用于卡固光罩。由于该定位部件固定在机械臂上，一旦光罩受到撞击或者挤压， 就容易被挤破或者从机械臂上掉落下来。而一旦光罩受损，重新生产和验证光罩需要相当长的时间，这样将会给生产带来很大损失。而且，在一些集成电路生产厂商中，都曾发生过光罩由机械臂上掉落以致被损坏的事件。[0005]因此，如何保护光罩的安全，防止处于机械臂上的光罩因受到挤压碰撞而受损，是本领域技术人员需要解决的课题。实用新型内容[0006]鉴于以上所述现有技术的缺点，本实用新型的目的在于提供一种用于光罩定位的机械臂，用于解决现有技术中刚性结构不能吸收撞击或挤压能量而导致光罩受损的问题。[0007]为实现上述目的及其他相关目的，本实用新型提供一种用于光罩定位的机械臂， 所述用于定位光罩的机械臂至少包括[0008]机械臂本体；[0009]设置在所述机械臂本体上的定位件，用于固定光罩；[0010]设置在所述机械臂本体上的连接件，其与所述定位件相连接，并能使所述定位件在活动空间移动。[0011]优选地，所述活动空间包括在所述机械臂上相对于所述定位件及连接件开设的通孔。[0012]优选地，所述通孔为长方形。[0013]依据本实用新型所提供的用于光罩定位的机械臂，在所述机械臂上开设有用于容置所述连接件的槽体。[0014]优选地，所述槽体为半圆形。[0015]依据本实用新型所提供的用于光罩定位的机械臂，所述连接件包括与所述定位件 相连接的伸缩件。优选地，所述伸缩件包括容置在所述槽体中的压缩弹簧、和一端连接于压缩弹簧、 另一端连接所述定位件的活塞。优选地，活塞的材料为铝。优选地，在所述机械臂本体上开设有用于容置所述活塞的孔体。优选地，连接孔为方形。优选地，所述伸缩件还包括固定于所述槽体上的盖体。如上所述，本实用新型的用于光罩定位的机械臂，具有以下有益效果减小光罩被 挤破或者从机械臂上坠落的几率，降低光罩受损害程度。
图1显示为现有技术中光罩定位的机械臂俯视图。图2显示为本实用新型光罩定位的机械臂俯视图。图3显示为通孔的俯视图。图4显示为槽体的侧视图。图5显示为孔体的侧视图。图6显示为活塞的侧视图。图7显示为盖体的侧视图。图8显示为本实用新型光罩定位的机械臂侧视图。元件标号说明
1机械臂本体
2，b定位件
3连接件 31压缩弹簧 ^2活塞
jj盖体
4通孔
5槽体
6孔体
7光罩
具体实施方式
以下通过特定的具体实例说明本实用新型的实施方式，本领域技术人员可由本说明书所揭露的内容轻易地了解本实用新型的其他优点与功效。本实用新型还可以通过另外不同的具体实施方式
加以实施或应用，本说明书中的各项细节也可以基于不同观点与应用，在没有背离本实用新型的精神下进行各种修饰或改变。[0033]请参阅图2至图7。需要说明的是，本实施例中所提供的图示仅以示意方式说明本实用新型的基本构想，遂图式中仅显示与本实用新型中有关的组件而非按照实际实施时的组件数目、形状及尺寸绘制，其实际实施时各组件的型态、数量及比例可为一种随意的改变，且其组件布局型态也可能更为复杂。[0034]本实用新型提供了一种用于光罩定位的机械臂，所述用于光罩定位的机械臂至少包括机械臂本体I、定位件2及连接件3。[0035]所述机械臂本体I的前端呈U字形状，在其U字形状的两个侧支上都设置有定位件2和连接件3。机械臂本体I的材质不限，优选地，包括铝合金、碳纤维复合材料等等。[0036]所述定位件2设置在所述机械臂本体I上，用于固定光罩7。[0037]所述连接件3设置在所述机械臂本体I上，与所述定位件2相连接，能使所述定位件2在活动空间移动。[0038]优选地，可在所述机械臂本体I上开设槽体5，用于容置所述连接件3。[0039]例如,如图4所示,所述槽体5包括半圆形沉槽,该沉槽的半径为3_。[0040]优选地,所述连接件3包括与所述定位件2相连接的伸缩件。在本实施例中,所述伸缩件包括容置在半圆形沉槽中的压缩弹簧31和活塞32。其中，所述活塞32 —端连接所述压缩弹簧32、另一端连接所述定位件2。优选地，所述活塞32的材料包括但不限于铝、铝钛合金或者锡钛合金材料等等。[0041]作为一种优选的结构，所述槽体5还包括孔体6。所述孔体6开设在所述机械臂本体I上，用于容置所述活塞32，孔体6的形状不限，优选地，包括但不限于方形、圆形等等。[0042]例如,如图5所示,孔体6呈方形,其尺寸为3mm*3mm。[0043]此外，所述伸缩件还包括固定于所述半圆形沉槽上的盖体33，所述盖体33形状不限，优选地，包括但不限于带有凹槽的半圆形，且盖体33上开有螺孔，通过螺钉或螺栓可将盖体33固定在半圆形沉槽，防止压缩弹簧31弹出。[0044]当所述连接件包括前述容置在槽体5中的压缩弹簧31及容置在孔体6中的活塞 32时，优选地，在所述机械臂本体I上相对于所述定位件2及连接件3的位置开设通孔4，该通孔4作为定位件2的活动空间。所述通孔4的形状不限，优选地，包括但不限于长方形、 弧形等等。[0045]例如,如图3所示,通孔4呈长方形,其尺寸为12mm*20mm。[0046]需要说明的是，本领域技术人员应该理解，上述所述仅仅只是列示，而非对本实用新型的限制，事实上，任何具有伸缩性的伸缩件，例如伸缩杆等，均包含在本实用新型的范围内；此外，连接件不仅仅限于伸缩件，例如，还可包括导轨等。再请参阅图8，当置于机械臂的光罩7因受外力作用而产生箭头方向的位移时，由于卡固光罩的定位件2通过活塞32 连接压缩弹簧31，故定位件2因光罩7的移动而拉伸压缩弹簧31，进而自身也产生与光罩 7同方向的位移，由此可避免挤压光罩7。[0047]综上所述，本实用新型的用于光罩定位的机械臂所包含的定位件具有可移动性， 可把光罩受到的力传递给伸缩件，伸缩件能够吸收撞击或者挤压的能量掉，从而减小光罩被挤破或者从机械臂上坠落的几率，降低光罩受损害程度。所以，本实用新型有效克服了现有技术中的种种缺点而具高度产业利用价值。[0048] 上述实施例仅例示性说明本实用新型的原理及其功效，而非用于限制本实用新型。任何熟悉此技术的人士皆可在不违背本实用新型的精神及范畴下，对上述实施例进行修饰或改变。因此，举凡所属技术领域中具有通常知识者在未脱离本实用新型所揭示的精神与技术思想下所完成的一切等效修饰或改变，仍应由本实用新型的权利要求所涵盖。
权利要求1.一种用于光罩定位的机械臂，其特征在于，所述用于定位光罩的机械臂至少包括 机械臂本体； 设置在所述机械臂本体上且用于固定光罩的定位件； 设置在所述机械臂本体上的连接件，其与所述定位件相连接，并能使所述定位件在活动空间移动。
2.根据权利要求I所述的用于光罩定位的机械臂，其特征在于所述活动空间包括在所述机械臂本体上相对于所述定位件及连接件开设的通孔。
3.根据权利要求2所述的用于光罩定位的机械臂，其特征在于所述通孔为长方形。
4.根据权利要求I所述的用于光罩定位的机械臂，其特征在于在所述机械臂本体上开设有用于容置所述连接件的槽体。
5.根据权利要求I或4所述的用于光罩定位的机械臂，其特征在于所述连接件包括与所述定位件相连接的伸缩件。
6.根据权利要求5所述的用于光罩定位的机械臂，其特征在于所述伸缩件包括容置在所述槽体中的压缩弹簧、和一端连接所述压缩弹簧、另一端连接所述定位件的活塞。
7.根据权利要求6所述的用于光罩定位的机械臂，其特征在于在所述机械臂本体上开设有用于容置所述活塞的孔体。
8.根据权利要求5所述的用于光罩定位的机械臂，其特征在于所述伸缩件还包括固定于所述槽体上的盖体。
9.根据权利要求6所述的用于光罩定位的机械臂，其特征在于活塞的材料为铝。
10.根据权利要求4所述的用于光罩定位的机械臂，其特征在于所述槽体为半圆形。
专利摘要本实用新型提供一种用于光罩定位的机械臂。所述用于光罩定位的机械臂至少包括机械臂本体；设置在所述机械臂本体且用于固定光罩的定位件；固定在所述机械臂本体上的连接件，其与所述定位件相连接，并能使所述定位件在活动空间移动。本实用新型的定位件能在连接件的带动下在活动空间移动，由此可有效吸收光罩受到撞击或者挤压时的能量，避免光罩被挤破甚至从机械手臂上掉下来，从而更好的保护产品，降低企业的损失。
文档编号B25J15/00GK202805190SQ20122049516
公开日2013年3月20日 申请日期2012年9月25日 优先权日2012年9月25日
发明者胡文祥 申请人:中芯国际集成电路制造(北京)有限公司