一种半导体设备中喷淋装置的拆装辅助工装及使用方法与流程

本发明涉及一种半导体设备中喷淋装置的拆装辅助工装及使用方法，主要应用于半导体镀膜设备装机调试及停机维护时，安装或拆卸工艺气体喷淋装置的操作过程中。操作时，本发明能够辅助喷淋装置的拆装工作，简化操作过程，降低操作难度，保障设备维护人员安全及设备安全。本发明属于半导体薄膜沉积应用及制备技术领域。

背景技术：

现有的半导体镀膜设备，在新设备装机调试、或者设备在使用一段时间后，都需要安装或拆卸位于上盖板位置的工艺气体喷淋装置。此项操作通常由设备维护人员手动完成。但是，所述位于上盖板位置的工艺气体喷淋装置，往往为圆盘形金属而且表面带有密集喷淋小孔，且整个零件的表面光洁度等级很高，零件的结构方面，通常在其边缘设置有一系列安装孔，定位销孔，边沿、凸台等结构特征。所以，在进行拆卸或安装操作时，既要平稳地，避免磕碰地移动喷淋装置到指定位置，又由于上盖板开启角度原因常常需要将喷淋装置扣合到小于九十度的立面上，必须扶持喷淋装置防止其脱落，来进行插拔定位销，拆卸或使用扭矩扳手紧固螺钉的操作，这就需要两个或两个以上的设备维护人员集中在设备喷淋装置所在的极为有限的操作区域相互配合完成。稍有不慎，就会磕碰或划伤喷淋装置，若产生肉眼无法观察到的划伤、凹坑或尖角，没有及时进行修复而被安装到如等离子增强型化学气相沉积设备等需要加载高频电压的半导体薄膜沉积设备中进行薄膜的生产，这 些划伤、凹坑或尖角就会引发打火。而且自重较大的喷淋装置一旦从操作人员手中脱落，撞击到下方腔体或撞击到存在于腔体中的陶瓷件，损失将更为严重。

技术实现要素：

本发明以解决上述问题为目的，采用简单机械结构，在喷淋装置拆卸或安装之前，先行与喷淋装置紧固为一体，利用设置在工装上的把手，代替操作人员双手持握光滑的圆盘形喷淋装置的方式。实现操作人员单手即可移动，旋转对应安装孔，定位销孔并随上盖板开启角度平稳安全扣合到指定位置进行安装，或是在需要停机维护拆卸喷淋装置时，先将工装与喷淋装置紧固，再拆卸上盖板与喷淋装置的紧固件，利用工装把手将喷淋装置平稳安全的从设备上移出。

为实现上述目的，本发明采用下述技术方案：

一种半导体设备中喷淋装置的拆装辅助工装，结构特征由两部分组成，一是位于工装中心处的把手，二是占其主体体积大部分的边缘带有呈放射性伸出的若干连接臂的零件组成。每个连接臂末端均带有一个紧固螺钉。

使用方法：在进行安装工艺气体喷淋装置的操作时，先将工装边缘若干连接臂末端的紧固螺钉与喷淋装置边缘的螺纹孔特征对应并旋入紧固稳定，一手持握工装把手，抬起喷淋装置，另一手扶持喷淋装置边缘，将喷淋装置移动到对应安装位置定位，再通过紧固螺钉将喷淋装置安装在设备上。同理，在进行拆卸工艺气体喷淋装置的操作时，先将工装边缘若干连接臂末端的紧固螺钉与喷淋装置边缘的螺纹孔特征对应并旋入紧固稳定，一手持握工装把手，保持喷淋装置稳定，另一手逐个松开紧固螺钉使喷淋装置脱离设备并移 动到安全位置。以上操作过程一到二人即可完成。

本发明的有益效果及特点在于：

使用简单机械加工及常见机械配件装配组合，形成可以与喷淋装置稳固连接的结构，在进行喷淋装置的拆卸和安装操作时，可以辅助不方便持握的喷淋装置便于持握、移动和扣合。实现了一到二人即可安全、快速的操作，保证了半导体设备装机调试或停机维护需要安装或拆卸喷淋装置时，起到了对操作过程简化，降低操作工作难度，保障设备维护人员及设备安全的作用。

附图说明

图1是本发明的结构示意图。

图2是本发明的使用方法示意图。

具体实施方式

实施例

参照图1，一种半导体设备中喷淋装置的拆装辅助工装，其结构特征由两部分组成，一是位于工装中心处的把手4，二是占其主体体积大部分的边缘带有呈放射性伸出的3个连接臂2的零件1组成。每个连接臂2末端均带有一个紧固螺钉3。

参照图2，在进行安装工艺气体喷淋装置5的操作时，开启上盖板7，将工装边缘3个连接臂2末端的紧固螺钉3与喷淋装置边缘的螺纹孔特征对应并旋入紧固稳定，一手持握工装把手4，抬起喷淋装置5，另一手扶持喷淋装置5边缘，将喷淋装置5移动到上盖板7上的安装位置定位，此时开启状态的上盖板7与腔体8成小于90度的夹角，喷淋装置5受自身重力有向下运动的趋势，通过持握把手4保持喷淋装置5的扣合在上盖板7的状态， 再通过若干紧固螺钉6将喷淋装置5安装在设备上。同理，在进行拆卸工艺气体喷淋装置5的操作时，先将工装边缘3个连接臂2末端的紧固螺钉3与喷淋装置5边缘的螺纹孔特征对应并旋入紧固稳定，一手持握工装把手4，保持喷淋装置5稳定，另一手逐个松开紧固螺钉6使喷淋装置5脱离设备并移动到安全位置。以上操作过程一到二人即可完成。