一种抬升工具的制作方法

本发明属于溅射镀膜设备技术领域，具体涉及一种抬升工具，尤其涉及一种应用于柱形靶安装的抬升工具。

背景技术：

现有技术中在进行溅射柱形靶的常规安装时，一般需要至少两人协作，当完成将溅射柱形靶安装在设备上之后，还需要两个人分别在上螺纹处以及下螺纹处配合进行溅射柱形靶的拧紧。但是受重力作用的影响，下螺纹相比于上螺纹要容易拧紧的多，且在进行溅射柱形靶的松开时，也是下螺纹比上螺纹容易松开，这样导致溅射柱形靶的安装与拆卸都较为不便。

技术实现要素：

针对上述问题，本发明提出一种抬升工具，用于克服重力的影响，采用抬举后再拧螺纹的方法，实现了单人就可以方便地完成靶的安装和拆卸，相比于传统的双人安装方式，不但节省了人力，同时还提高了安装的可靠性及拆卸的方便性。

为了实现上述技术目的，达到上述技术效果，本发明通过以下技术方案实现：

一种抬升工具，包括：

套筒组件，所述套筒组件包括套筒、升降杆和支撑件；所述套筒的壁上设有缺口；所述升降杆设于所述套筒内，其外表面上设有若干个凸起；所述支撑件与所述套筒的外表面相连，用于支撑柱形靶；

驱动组件，所述驱动组件设于所述套筒的外侧，包括轴和齿轮；所述轴与套筒转动相连，所述齿轮固定套设在所述轴上，且位于套筒上的缺口处，与升降杆外壁上的凸起相啮合；

夹持件，所述夹持件与所述套筒的外壁相连。

作为本发明的进一步改进，所述夹持件包括第一端板以及设于第一端板下方的第二端板，二者的其中一端与所述套筒的外表面相连，另一端均处于自由状态，形成夹持口；

所述第二端板上还设有贯通孔，所述贯通孔设有夹子。

作为本发明的进一步改进，所述夹子为肘夹。

作为本发明的进一步改进，所述升降杆为齿条杆。

作为本发明的进一步改进，所述驱动组件还包括自锁片，所述自锁片铰接于套筒外表面，用于与齿轮啮合。

作为本发明的进一步改进，所述支撑件为托盘。

作为本发明的进一步改进，所述托盘为双环形台阶托盘。

作为本发明的进一步改进，所述支撑件的延伸方向垂直于所述套筒的延伸方向。

作为本发明的进一步改进，所述轴的横截面呈六边形。

与现有技术相比，本发明的有益效果：

本发明提出一种应用于柱形靶的垂直安装拆卸工具，主要用于柱形靶的抬升安装和拆卸，采用此工具不但可以提高柱形靶安装的可靠性和拆卸的方便性，同时可以节省至少一半人力。

附图说明

图1为本发明一种实施例的整体结构的剖视图；

图中：

1为套筒，1-1为第一端板，1-2为第二端板，1-3为夹子，2-1为升降杆，2-2为支撑件，3-1为轴，3-2为自锁片，3-2为齿轮。

具体实施方式

为了使本发明的目的、技术方案及优点更加清楚明白，以下结合实施例，对本发明进行进一步详细说明。应当理解，此处所描述的具体实施例仅仅用以解释本发明，并不用于限定本发明的保护范围。

下面结合附图对本发明的应用原理作详细的描述。

实施例1

如图1所示，本发明的一种抬升工具，包括：套筒组件、驱动组件和夹持件；

所述套筒组件包括套筒1、升降杆2-1和支撑件2-2；所述套筒1的外壁上设有缺口；所述升降杆2-1设于所述套筒1内，二者的延伸方向相同，其外表面上设有若干个凸起，在本发明实施例的一种具体实施方式中，所述升降杆2-1为齿条杆；所述支撑件2-2与所述套筒1的外表面相连，用于支撑柱形靶；在本发明实施例的一种具体实施方式中，所述支撑件2-2的延伸方向垂直于所述套筒1的延伸方向，在本发明实施例的其他实施方式中，所述支撑件2-2的延伸方向还可以是与所述套筒1的延伸方向呈夹角关系；所述支撑件2-2为托盘，优选地，所述托盘为双环形台阶托盘；

所述驱动组件设于所述套筒1的外侧，包括轴3-1和齿轮3-3；所述轴3-1与套筒1转动相连，即可相对舒适套筒1自转；所述齿轮3-3固定套设在所述轴3-1上，且位于套筒1上的缺口处，与升降杆2-1外壁上的凸起相啮合；优选地，所述轴3-1的横截面呈六边形。

所述夹持件与所述套筒1的外壁相连。

在本发明实施例的一种具体实施方式中，所述夹持件包括第一端板1-1以及设于第一端板1-1下方的第二端板1-2，二者的其中一端与所述套筒1的外表面相连，另一端均处于自由状态，形成夹持口；所述第二端板1-2上还设有贯通孔，所述贯通孔设有夹子1-3，优选地，所述夹子1-3为肘夹，用于实现快速锁定，由于所述夹子1-3的作用是实现夹持，因此还可以选用除肘夹的任何能够实现夹持作用的夹子1-3，本发明中不做具体的限定。

综上所述：本发明实施例中的抬升工具的工作过程具体为：

安装时：

（1）将所述夹持件固定在柱形靶安装位置的下方的固定物（图中未示出）上，即利用所述第一端板1-1和第二端1-2板形成的夹持口夹持住固定物，然后利用夹子1-3实现将夹持件固定在所述固定物上；

（2）利用棘轮扳手（图中未示出）套在所述轴3-1上；

（3）将装好下螺纹的柱形靶竖直放在支撑件2-2；

（4）用手扶着柱形靶的同时脚踩棘轮扳手，从而带动所述轴3-1转动，进一步带动所述齿轮3-3转动，使升降杆2-1向上运动的同时带动柱形靶向上抬升顶住上安装位；

（5）用扳手将柱形靶的上螺纹拧紧即可。

拆卸时：

（1）将所述夹持件固定在柱形靶安装位置的下方，即利用所述第一端板和第二端板形成的夹持口夹持住固定物（图中未示出），然后利用夹子实现将夹持件固定在所述固定物上；

（2）将棘轮扳手套在所述轴3-1上；

（3）按压棘轮扳手从而带动所述轴3-1转动，进一步带动所述齿轮3-3转动，使升降杆2-1向上运动使所述支撑件2-2与柱形靶顶紧；

（4）用扳手将柱形靶的上螺纹拧松，实现柱形靶的卸载。

实施例2

基于与实施例1相同的发明构思，本发明实施例与实施例1的区别在于：

所述驱动组件还包括自锁片3-2，所述自锁片3-2的一端与所述套筒1的外表面转动相连，另一端处于自由状态，用于与齿轮3-3啮合。

综上所述：本发明实施例中的抬升工具的工作过程具体为：

安装时：

（1）将所述夹持件固定在柱形靶安装位置的下方，即利用所述第一端板和第二端板形成的夹持口夹持住固定物（图中未示出），然后利用夹子实现将夹持件固定在所述固定物上；

（2）利用棘轮扳手（图中未示出）套在所述轴3-1上；

（3）将装好下螺纹的柱形靶竖直放在支撑件2-2；

（4）用手扶着柱形靶的同时脚踩棘轮扳手，从而带动所述轴3-1转动，进一步带动所述齿轮3-3转动，使升降杆2-1向上运动的同时带动柱形靶向上抬升顶住上安装位，将自锁片3-2与齿轮3-3啮合，实现齿轮3-3的限位；

（5）用扳手将柱形靶的上螺纹拧紧即可。

拆卸时：

（1）将所述夹持件固定在柱形靶安装位置的下方，即利用所述第一端板1-1和第二端板1-2形成的夹持口夹持住固定物（图中未示出），然后利用夹子1-3实现将夹持件固定在所述固定物上；

（2）将棘轮扳手套在所述轴3-1上；

（3）按压棘轮扳手从而带动所述轴3-1转动，进一步带动所述齿轮3-3转动，使升降杆2-1向上运动使所述支撑件2-2与柱形靶顶紧；

（4）用扳手将柱形靶的上螺纹拧松，一手扶着柱形靶的同时松开自锁片3-2，实现柱形靶的卸载。

以上显示和描述了本发明的基本原理和主要特征和本发明的优点。本行业的技术人员应该了解，本发明不受上述实施例的限制，上述实施例和说明书中描述的只是说明本发明的原理，在不脱离本发明精神和范围的前提下，本发明还会有各种变化和改进，这些变化和改进都落入要求保护的本发明范围内。本发明要求保护范围由所附的权利要求书及其等效物界定。