一种中空平面台的制作方法

本实用新型涉及半导体工作平台，具体是一种中空平面台。

背景技术：

在半导体加工行业中，平面台是不可或缺的设备，目前使用的平面台一般是整个平面，而在一些特殊的场合下，需要将某一些部件设备与平面台组装在一起，如果直接将平面台和额外部件固定在一起，不仅增大了占用面积，还增加了平面台额外的负载，长久下来会磨损平面台，缩短平面台的使用寿命。

技术实现要素：

为解决上述现有技术的缺陷，本实用新型提供一种中空平面台，本实用新型将内部设置为中空结构，不仅降低了整体的重量，还能将额外部件安装在中空结构内，减小了占用面积，减小平面台受到的负载，本实用新型结构紧凑，体积小，使用方便。

为实现上述技术目的，本实用新型采用如下技术方案：一种中空平面台，包括底板，所述底板上方滑动连接有x向板块，所述x向板块上方滑动连接有y向板块，所述x向板块相对于所述底板做x方向直线运动，所述y向板块相对于所述x向板块做y方向直线运动；

所述底板包括底层平面板和凸板，所述凸板沿着所述x方向延伸；所述x向板块包括中层板，所述中层板的下端设有向下延伸的第一板，所述第一板沿着所述x方向延伸，所述第一板中心处开有凹槽，所述凸板嵌入在所述凹槽内，所述凸板外侧壁与所述第一板内侧壁之间安装有x向导轨；所述凸板内开设有第一槽道，所述第一槽道内固定有x向光栅尺，所述第一板下侧面固定有x向读数头，所述x向读数头与所述x向光栅尺相互配合，所述x向读数头位于所述槽道内；所述底层平面板与所述中层板之间安装有x向电机；

所述x向板块的上侧面设有第二板，所述第二板沿着所述y方向延伸；所述y向板块的下侧面延伸设有第三板，所述第三板中心处开有凹槽，所述第二板嵌入在所述凹槽内，所述第二板外侧壁与所述第三板内侧壁之间安装有y向导轨；所述第二板内开有第二槽道，所述第二槽道内固定有y向光栅尺，所述y向板块的下侧面固定有y向读数头，所述y向读数头与所述y向光栅尺相互配合，所述y向读数头位于所述第二槽道内；所述x向板块与所述y向板块之间安装有y向电机；

所述底板、所述x向板块、所述y向板块中心处开有上下贯通的通孔。

进一步地，所述中层板内部开有槽孔，所述槽孔上设有第一盖板；所述x向电机通过螺栓固定在所述中层板上，所述螺栓位于所述槽孔内。

进一步地，所述x向导轨、所述y向导轨均采用交叉滚柱导轨。

进一步地，所述x向电机设置2个，所述x向电机采用直线电机。

进一步地，所述y向电机设置2个，所述x向电机采用直线电机。

进一步地，所述底板一侧固定有第一固定板，所述y向板块一侧固定有第二固定板，所述x向板块一侧固定有第三固定板；所述第一固定板、所述第二固定板、所述第三固定板之间设有线缆。

综上所述，本实用新型取得了以下技术效果：

1、本实用新型将整体装置设置成三层，相邻两层之间分别实现x方向和y方向的运动，既缩短了整体的高度，也降低了整体的重量；

2、本实用新型设置直线电机以及相互配合的交叉滚柱导轨，保证x方向、y方向的直线运动，设置两组光栅尺实现信号反馈，保证本实用新型的运动精度；

3、本实用新型将整体装置设置成中空结构，使得中空内部能够安装额外的检测部件，同时又能够减小占用空间，降低负载重量，延长使用寿命；

4、本实用新型结构紧凑，适用于各种场合。

附图说明

图1是本实用新型实施例提供的平面台示意图；

图2是图1的俯视图；

图3是图2中aa剖面图；

图4是图2中bb剖面图；

图中，1、底板，101、底层平面板，102、凸板，2、x向板块，201、中层板，202、第一板，203、槽孔，204、第二槽道，3、y向板块，301、第三板，4、x向光栅尺，5、x向读数头，6、x向导轨，7、x向电机，8、螺栓，9、第一盖板，10、线缆，11、第一固定板，12、y向读数头，13、y向光栅尺，14、y向导轨，15、y向电机，16、第二固定板，17、第三固定板，18、通孔。

具体实施方式

以下结合附图对本实用新型作进一步详细说明。

本具体实施例仅仅是对本实用新型的解释，其并不是对本实用新型的限制，本领域技术人员在阅读完本说明书后可以根据需要对本实施例做出没有创造性贡献的修改，但只要在本实用新型的权利要求范围内都受到专利法的保护。

实施例：

如图1、图2所示，一种中空平面台，包括底板1，底板1上方滑动连接有x向板块2，x向板块2上方滑动连接有y向板块3，x向板块2相对于底板1做x方向直线运动，y向板块3相对于x向板块2做y方向直线运动。

如图3所示，底板1包括底层平面板101和凸板102，凸板102沿着x方向延伸。x向板块2包括中层板201，中层板201的下端设有向下延伸的第一板202，第一板202沿着x方向延伸，第一板202中心处开有凹槽，凸板102嵌入在凹槽内，凸板102外侧壁与第一板202内侧壁之间安装有x向导轨6，x向板块2沿着x向导轨6运动，进一步地，本实施例中，x向导轨6设置有2个，且均采用交叉滚柱导轨。凸板102内开设有第一槽道103，第一槽道103沿着x方向延伸，第一槽道103内固定有x向光栅尺4，第一板202下侧面固定有x向读数头5，x向读数头5与x向光栅尺4相互配合，x向读数头5位于槽道103内，用于反馈x方向的信号。底层平面板101与中层板201之间安装有x向电机7，进一步地，本实施例中，x向电机7设置2个，x向电机7采用直线电机，具体的，中层板201内部开有槽孔203，槽孔203上设有第一盖板9；x向电机7通过螺栓8固定在中层板201上，螺栓8位于槽孔203内。

如图3所示，x向板块2的上侧面设有第二板205，第二板205沿着y方向延伸。y向板块3的下侧面延伸设有第三板301，第三板301中心处开有凹槽，第二板205嵌入在凹槽内，第二板205外侧壁与第三板301内侧壁之间安装有y向导轨14，y向板块3沿着y向导轨14做直线运动，进一步地，本实施例中，y向导轨14设置有2个，且均采用交叉滚柱导轨。第二板205内开有第二槽道204，第二槽道204沿着y方向设置，第二槽道204内固定有y向光栅尺13，y向板块3的下侧面固定有y向读数头12，y向读数头12与y向光栅尺13相互配合，用于y方向的信号反馈，y向读数头12位于第二槽道204内；x向板块2与y向板块3之间安装有y向电机15，进一步地，本实施例中，y向电机15设置2个，y向电机15采用直线电机。

底板1一侧固定有第一固定板11，y向板块3一侧固定有第二固定板16，x向板块2一侧固定有第三固定板17；第一固定板11、第二固定板16、第三固定板17之间设有线缆10。

本实施例中，底板1、x向板块2、y向板块3中心处开有上下贯通的通孔18，通孔18贯穿整个装置，能够安装额外的部件，减小了整体的组装的体积，本实用新型平面台内部中空设置，减小整体的重量，从而减小整个装置的负载重量。

本实用新型将整体装置设置成三层，相邻两层之间分别实现x方向和y方向的运动，既缩短了整体的高度，也降低了整体的重量；本实用新型设置直线电机以及相互配合的交叉滚柱导轨，保证x方向、y方向的直线运动，设置两组光栅尺实现信号反馈，保证本实用新型的运动精度；本实用新型将整体装置设置成中空结构，使得中空内部能够安装额外的检测部件，同时又能够减小占用空间，降低负载重量，延长使用寿命；本实用新型结构紧凑，适用于各种场合。

以上所述仅是对本实用新型的较佳实施方式而已，并非对本实用新型作任何形式上的限制，凡是依据本实用新型的技术实质对以上实施例所做的任何简单修改，等同变化与修饰，均属于本实用新型技术方案的范围内。