水平多关节机器人的制作方法

本发明涉及臂在水平方向上动作的水平多关节机器人。

背景技术：

1、以往，已知有用于搬运玻璃基板或半导体晶片等搬运对象物的水平多关节机器人(例如，参照专利文献1)。专利文献1所记载的水平多关节机器人具备：装载搬运对象物的手；将手可转动地连接于前端侧的臂；以及将臂的基端侧可转动地连接的主体部。臂由相互可转动地连接的第一臂部和第二臂部构成。

2、在专利文献1所记载的水平多关节机器人中，第一臂部的基端侧以能够转动的方式与主体部连接。第二臂部的基端侧以能够转动的方式与第一臂部的前端侧连接。手以能够转动的方式与第二臂部的前端侧连接。第一臂部配置在比主体部靠上侧的位置，第二臂部配置在比第一臂部靠上侧的位置，手配置在比第二臂部靠上侧的位置。主体部与第一臂部的连接部分、第一臂部与第二臂部的连接部分以及第二臂部与手的连接部分成为关节部。

3、现有技术文献

4、专利文献

5、专利文献1：日本特开2019-118962号公报

技术实现思路

1、专利文献1中记载的水平多关节机器人例如在搬运使用液体进行了规定处理之后的半导体晶片的情况下，残留在半导体晶片上的液体有可能从半导体晶片落下，从关节部进入水平多关节机器人的内部。另外，若液体从关节部进入水平多关节机器人的内部，则有可能在水平多关节机器人的内部发生腐蚀。

2、因此，本发明的课题在于提供一种水平多关节机器人，其臂在水平方向上动作，能够抑制液体从关节部向水平多关节机器人的内部渗入。

3、为了解决上述课题，本发明的水平多关节机器人是臂在水平方向上动作的水平多关节机器人，其特征在于，具备支撑部和配置在支撑部的上侧并且能够转动地与支撑部连接的被支撑部，支撑部具备环状的支撑侧部件，该支撑侧部件在成为支撑部与被支撑部的连接部分的关节部中构成支撑部的外周侧部分的至少一部分，被支撑部具备被支撑侧部件，该被支撑侧部件在关节部中构成被支撑部的外周侧部分的至少一部分，被支撑侧部件具备筒状的筒状覆盖部，该筒状覆盖部从关节部的径向外侧遍及整周地覆盖支撑侧部件的至少上侧部分，筒状覆盖部的下端配置在比支撑侧部件的上端靠下侧的位置。

4、在本发明的水平多关节机器人中，支撑部具备环状的支撑侧部件，该支撑侧部件在成为支撑部与被支撑部的连接部分的关节部中构成支撑部的外周侧部分的至少一部分，配置于支撑部的上侧的被支撑部具备被支撑侧部件，该被支撑侧部件在关节部中构成被支撑部的外周侧部分的至少一部分。另外，在本发明中，被支撑侧部件具备筒状的筒状覆盖部，该筒状覆盖部从关节部的径向外侧遍及整周地覆盖支撑侧部件的至少上侧部分，筒状覆盖部的下端配置在比支撑侧部件的上端靠下侧的位置。因此，在本发明中，在关节部中，若通过了筒状覆盖部的下侧的液体不通过支撑侧部件的上侧，则液体不会从关节部渗入水平多关节机器人的内部。因此，在本发明中，例如能够抑制从搬运对象物落下的液体从关节部渗入水平多关节机器人的内部。

5、在本发明中，例如水平多关节机器人具备作为装载搬运对象物的被支撑部的手，臂具备作为支撑部的前端侧臂部，该前端侧臂部在前端侧能够转动地连接手。

6、在本发明中，例如水平多关节机器人具备装载搬运对象物的手，臂具备：作为被支撑部的前端侧臂部，该前端侧臂部在前端侧能够转动地连接手；以及作为支撑部的基端侧臂部，该基端侧臂部在前端侧能够转动地连接前端侧臂部的基端侧。

7、在本发明中，例如水平多关节机器人具备作为支撑部的主体部，该主体部能够转地连接臂的基端侧，臂具被作为被支撑部的基端侧臂部，该基端侧臂部的基端侧能够转动地与主体部连接。

8、在本发明中，优选水平多关节机器人具备手，该手装载搬运对象物，并且能够转动地与臂的前端侧连接，手具备：端面抵接部件，该端面抵接部件配置在手的前端侧，并且具有与搬运对象物的端面抵接的抵接面；按压部件，该按压部件朝向抵接面按压搬运对象物；移动机构，该移动机构配置在手的基端侧的内部，并且使按压部件移动；以及罩，该罩从上侧覆盖移动机构，按压部件的基端与移动机构连接，罩从上侧覆盖按压部件的基端侧部分。若这样构成，则例如能够利用罩抑制从搬运对象物落下的液体附着于按压部件的基端侧部分。因此，例如能够利用罩抑制从搬运对象物落下的液体向手的基端侧的内部渗入。

9、在本发明中，优选水平多关节机器人具备手，该手装载搬运对象物，并且能够转动地与臂的前端侧连接，手具有：端面抵接部件，该端面抵接部件配置在手的前端侧，并且具有与搬运对象物的端面抵接的抵接面；按压部件，该按压部件朝向抵接面按压搬运对象物；移动机构，该移动机构配置在手的基端侧的内部，并且使按压部件移动；以及罩，该罩从上侧覆盖移动机构，移动机构具备：滑动轴，该滑动轴在前端固定有按压部件的基端；以及轴保持部件，该轴保持部件将滑动轴保持成能够滑动，在轴保持部件上形成有供滑动轴插通的贯穿孔，滑动轴能够相对于轴保持部件直线滑动，在滑动轴的前端侧形成有向滑动轴的径向外侧扩展的凸缘部。若这样构成，则例如能够利用凸缘部抑制从搬运对象物落下的液体通过轴保持部件的贯穿孔而渗入手的基端侧的内部。

10、发明效果

11、如上所述，在本发明的水平多关节机器人中，能够抑制液体从关节部向水平多关节机器人的内部渗入。

技术特征：

1.一种水平多关节机器人，臂在水平方向上动作，其特征在于，

2.根据权利要求1所述的水平多关节机器人，其特征在于，

3.根据权利要求1所述的水平多关节机器人，其特征在于，

4.根据权利要求1所述的水平多关节机器人，其特征在于，

5.根据权利要求1至4中任一项所述的水平多关节机器人，其特征在于，

6.根据权利要求1至4中任一项所述的水平多关节机器人，其特征在于，

技术总结
一种水平多关节机器人，其臂在水平方向上动作，能抑制液体从关节部向水平多关节机器人的内部渗入。该水平多关节机器人具备第一臂部(7)和配置在第一臂部(7)的上侧并可转动地与第一臂部连接的第二臂部(8)。第一臂部具备环状的轴承按压部件(26)，其在成为第一臂部与第二臂部的连接部分的关节部(11)中构成第一臂部的外周侧部分的一部分，第二臂部具备臂部主体(29)，其在关节部(11)中构成第二臂部的外周侧部分。臂部主体具备筒状的筒状覆盖部(29a)，其从关节部(11)的径向外侧遍及整周地覆盖轴承按压部件(26)的上侧部分，筒状覆盖部(29a)的下端配置在比轴承按压部件(26)的上端靠下侧的位置。

技术研发人员：杉山浩彦,栗林保
受保护的技术使用者：日本电产三协株式会社
技术研发日：
技术公布日：2024/1/13