一种用于夹取晶圆花篮的夹爪机构的制作方法

1.本实用新型涉及晶圆加工设备领域，尤其涉及一种用于夹取晶圆花篮的夹爪机构。


背景技术：

2.在晶圆的生产过程中，需要对晶圆进行清洗；在使用槽式清洗机时，需要对晶圆花篮进行传输，常见的传输方式通常是借助机械手夹持，机械手的动力机构通常为气缸，或是其他较为复杂的传动机构，如专利cn2011101985717公开了一种用于卸料机械手，通过两个气缸带动两个夹持头移动并对物品进行夹持，气缸的动力控制较为困难，动力不稳，使机械手夹持不稳、且易造成花篮的损坏。


技术实现要素：

3.本实用新型的一种用于夹取晶圆花篮的夹爪机构，用于解决背景技术中机械手动力控制稳定的技术问题。
4.本实用新型提供的技术方案如下：一种用于夹取晶圆花篮的夹爪机构，连接于伸缩机构上、用于夹取花篮，包括：对称设置、且可实现张闭的两个夹持机构，以及连接在伸缩机构上、用于带动夹持机构张闭的动力机构；
5.动力机构包括：用于连接夹持机构的两个传动杆，连接在传动杆上的转动块，与转动块连接、用于带动转动块转动的位移机构；其中，转动块两侧对称开设有倾斜的滑槽，位移机构两侧分别连接有滚轮，滚轮放置在滑槽内。
6.进一步的，动力机构还包括：连接在伸缩机构上的基座，基座上连接有两两对称的四个轴接座，传动杆的端部轴接在一侧的两个轴接座内。
7.进一步的，位移机构连接在两个传动杆之间，位移机构包括：连接在基座上的电机，电机的输出轴端连接有丝杆，丝杆上连接有丝杆螺母，丝杆螺母连接有导轨机构上，导轨机构连接在基座上；丝杆螺母的两侧分别连接有滚轮。
8.进一步的，基座上设有罩体。
9.进一步的，夹持机构两两对称的连接在传动杆上，夹持机构包括：连接在传动杆上的两个固定架，两个固定架底部可拆卸的连接有与花篮配合的u型夹爪。
10.进一步的，u型夹爪通过卡套与固定架螺纹连接。
11.进一步的，u型夹爪外部包覆有护套。
12.进一步的，花篮上设有夹持部。
13.进一步的，固定架中部连接有、用于监测花篮位置的传感器。
14.与现有技术相比，本实用新型的有益效果是：
15.(1)本实用新型的夹爪机构，通过位移机构位移，带动滚轮在滑槽内位移，从而带动转动块转动；动力机构运行稳定，从而使夹取花篮更为稳定、且不会对花篮造成损坏。
16.(2)本实用新型的夹爪机构，u型夹爪为可拆卸连接，从而当u型夹爪损坏时，便于
更换。
17.(3)本实用新型的夹爪机构，u型夹爪外部包覆有护套，使u型夹爪更耐腐蚀，从而延长u型夹爪的使用寿命。
附图说明
18.图1是本实用新型的夹爪机构的整体结构示意图；
19.图2是本实用新型中动力机构的局部放大图；
20.图3是本实用新型中u型夹爪连接处的局部放大图。
21.附图标记如下：1、伸缩机构，2、动力机构，21、基座，22、轴接座，23、传动杆，24、转动块，241、滑槽，25、电机，26、丝杆，27、丝杆螺母，28、导轨机构，29、滚轮，3、夹持机构，31、固定架，32、u型夹爪，4、传感器，5、花篮，51、夹持部。
具体实施方式
22.以下结合附图和实施例，对本实用新型进行进一步详细说明。应当理解，此处所描述的具体实施例仅用以解释本实用新型，并不用于限定本实用新型。
23.如图1-3所示，本实用新型是一种用于夹取晶圆花篮的夹爪机构，连接于伸缩机构1上、用于夹取花篮5，包括：对称设置、且可实现张闭的两个夹持机构3，以及连接在伸缩机构1上、用于带动夹持机构3张闭的动力机构2；
24.动力机构2包括：用于连接夹持机构3的两个传动杆23，连接在传动杆23上的转动块24，与转动块24连接、用于带动转动块24转动的位移机构；其中，转动块24两侧对称开设有倾斜的滑槽241，位移机构两侧分别连接有滚轮29，滚轮29放置在滑槽241内。
25.本实施例的伸缩机构1用于带动夹爪机构上下位移，伸缩机构1可以是：伸缩缸、丝杆传动机构、齿轮传动机构等。
26.本实施例的滑槽241为前高后低的倾斜设置，滚轮29随位移机构水平向前位移时，两个转动块24相对转动，使两个夹持机构3随传动杆23转动打开，反之，则闭合。
27.进一步的，动力机构2还包括：连接在伸缩机构1上的基座21，基座21上连接有两两对称的四个轴接座22，传动杆23的端部轴接在一侧的两个轴接座22内。
28.本实施例的轴接座22不仅用于传动杆23的轴接，同时，对传动杆23进行支撑。
29.进一步的，位移机构连接在两个传动杆23之间，位移机构包括：连接在基座21上的电机25，电机25的输出轴端连接有丝杆26，丝杆26上连接有丝杆螺母27，丝杆螺母27连接有导轨机构28上，导轨机构28连接在基座21上；丝杆螺母27的两侧分别连接有滚轮29。
30.本实施例的导轨机构28包括：滑轨，以及在滑轨上活动的滑块。
31.本实施例的丝杆螺母27活动连接在丝杆26上、且底部与滑块连接。
32.具体的，当电机25启动后，电机25带动丝杆26转动，丝杆螺母27随之在丝杆26上位移。
33.进一步的，基座21上设有罩体。
34.进一步的，夹持机构3两两对称的连接在传动杆23上，夹持机构3包括：连接在传动杆23上的两个固定架31，两个固定架31底部可拆卸的连接有与花篮5配合的u型夹爪32。
35.本实施例的u型夹爪32用于夹取花篮5。
36.进一步的，u型夹爪32通过卡套与固定架31螺纹连接。
37.本实施例的u型夹爪32限位连接在卡套内，卡筒与固定架31螺纹连接。
38.进一步的，u型夹爪32外部包覆有护套。
39.本实施例的u型夹爪32需要从清洗池内夹取花篮5，而清洗池内的化学品具有较强的腐蚀性；本实施例的护套为pfa材质制成，具有较高的耐老化性、耐腐蚀性，从而增加u型夹爪32的使用寿命。
40.进一步的，花篮5上设有夹持部51。
41.本实施例的夹持部51可以使u型夹爪32夹持更为稳定。
42.进一步的，固定架31中部连接有、用于监测花篮5位置的传感器4。
43.本实施例的传感器4为位置传感器，用于监测是否夹持住感应花篮5。
44.工作原理：伸缩机构1带动上下位移，电机25启动后，电机25带动丝杆26转动，丝杆螺母27随之在丝杆26上位移，丝杆螺母27两侧的滚轮29随之向前位移时，两个转动块24相对转动，使两个夹持机构3随传动杆23转动打开；伸缩机构1带动上下位移，将u型夹爪32位移至花篮5夹持部51下侧，闭合u型夹爪32后，向上提起花篮5。


技术特征：
1.一种用于夹取晶圆花篮的夹爪机构，连接于伸缩机构（1）上、用于夹取花篮（5），其特征在于，包括：对称设置、且可实现张闭的两个夹持机构（3），以及连接在伸缩机构（1）上、用于带动所述夹持机构（3）张闭的动力机构（2）；所述动力机构（2）包括：用于连接所述夹持机构（3）的两个传动杆（23），连接在所述传动杆（23）上的转动块（24），与所述转动块（24）连接、用于带动所述转动块（24）转动的位移机构；其中，所述转动块（24）两侧对称开设有倾斜的滑槽（241），所述位移机构两侧分别连接有滚轮（29），所述滚轮（29）放置在所述滑槽（241）内。2.如权利要求1所述的一种用于夹取晶圆花篮的夹爪机构，其特征在于，所述动力机构（2）还包括：连接在伸缩机构（1）上的基座（21），所述基座（21）上连接有两两对称的四个轴接座（22），所述传动杆（23）的端部轴接在一侧的两个所述轴接座（22）内。3.如权利要求2所述的一种用于夹取晶圆花篮的夹爪机构，其特征在于，所述位移机构连接在两个所述传动杆（23）之间，所述位移机构包括：连接在所述基座（21）上的电机（25），所述电机（25）的输出轴端连接有丝杆（26），所述丝杆（26）上连接有丝杆螺母（27），所述丝杆螺母（27）连接在导轨机构（28）上，所述导轨机构（28）连接在所述基座（21）上；所述丝杆螺母（27）的两侧分别连接有所述滚轮（29）。4.如权利要求2所述的一种用于夹取晶圆花篮的夹爪机构，其特征在于，所述基座（21）上设有罩体。5.如权利要求1所述的一种用于夹取晶圆花篮的夹爪机构，其特征在于，所述夹持机构（3）两两对称的连接在所述传动杆（23）上，所述夹持机构（3）包括：连接在所述传动杆（23）上的两个固定架（31），两个所述固定架（31）底部可拆卸的连接有与所述花篮（5）配合的u型夹爪（32）。6.如权利要求5所述的一种用于夹取晶圆花篮的夹爪机构，其特征在于，所述u型夹爪（32）通过卡套与所述固定架（31）螺纹连接。7.如权利要求5所述的一种用于夹取晶圆花篮的夹爪机构，其特征在于，所述u型夹爪（32）外部包覆有护套。8.如权利要求1所述的一种用于夹取晶圆花篮的夹爪机构，其特征在于，所述花篮（5）上设有夹持部（51）。9.如权利要求5所述的一种用于夹取晶圆花篮的夹爪机构，其特征在于，所述固定架（31）中部连接有、用于监测花篮（5）位置的传感器（4）。

技术总结
本实用新型属于领域，提供了一种用于夹取晶圆花篮的夹爪机构，连接于伸缩机构上、用于夹取花篮，包括：对称设置、且可实现张闭的两个夹持机构，以及连接在伸缩机构上、用于带动夹持机构张闭的动力机构；动力机构包括：用于连接夹持机构的两个传动杆，连接在传动杆上的转动块，与转动块连接、用于带动转动块转动的位移机构；其中，转动块两侧对称开设有倾斜的滑槽，位移机构两侧分别连接有滚轮，滚轮放置在滑槽内。本实用新型的用于夹取晶圆花篮的夹爪机构，用于解决机械手动力控制稳定的技术问题。题。题。


技术研发人员：陈铁龙 程龙祥
受保护的技术使用者：谷微半导体科技（江苏）有限公司
技术研发日：2022.08.19
技术公布日：2022/12/6