夹持装置的制作方法

1.本技术涉及蓝宝石晶圆片生产技术领域，尤其涉及一种夹持装置。


背景技术：

2.在蓝宝石晶圆片的生产过程中，为消除蓝宝石晶圆片的应力，需要对蓝宝石晶圆片进行退火处理。
3.在蓝宝石晶圆片的退火处理工艺中，为了一次处理尽可能多的蓝宝石晶圆片，提高生产效率，需要将蓝宝石晶圆片堆叠放置，现有技术中，先用寻边器找到晶圆片的平边位置，然后整齐叠放在一起，最后放入退火匣钵中。
4.但是匣钵大都为方形结构，内部容量较大且无定位装置，在生产操作过程中，堆放晶圆片时很容易偏位，晶圆片取放时容易发生滑动、移位、旋转的情况，常常需要返工叠放或者降低叠放高度来保证叠放的整齐性，缺少固定的晶圆片甚至会遇到划伤、掉落和磕碰等问题，大幅降低了晶圆片的退火处理效率，增加了生产成本。


技术实现要素：

5.本技术实施例的目的是提供一种夹持装置，解决现有技术中采用容量较大的匣钵堆放晶圆片，使晶圆片容易发生滑动、移位或旋转，导致晶圆片需要返工叠放，或者降低堆叠高度，甚至造成晶圆片划伤、掉落和磕碰的技术问题。
6.为解决上述技术问题，本技术实施例提供如下技术方案：
7.本技术提供一种夹持装置，用于容置并固定多个片体，片体的水平截面至少具有一个直边，包括：承载部，承载部设置有开口位于承载部的顶部，且沿纵向向承载部的底部延伸的容置槽；和
8.压板，滑动安装于容置槽的底部，压板能够沿第一方向在容置槽中滑动，压板沿纵向延伸且压板的顶部不低于容置槽的开口，容置槽的沿第一方向与压板相对的第一侧壁与压板构成一容置空间，容置空间用于容纳多个水平放置并沿纵向堆叠的片体，压板用于对应放置于容置空间的片体的直边；
9.其中，第一方向垂直于纵向，且与第一侧壁指向容置槽的中心的方向同向。
10.在本技术的一些变更实施方式中，还包括：第一螺纹杆，第一螺纹杆沿第一方向穿过承载部的侧壁伸入容置槽，第一螺纹杆与承载部的侧壁螺纹连接；和
11.连接件，连接件转动装配于压板，且连接件与第一螺纹杆伸入容置槽的一端连接；
12.其中，转动第一螺纹杆能够驱动连接件并带着压板往复沿第一方向移动。
13.在本技术的一些变更实施方式中，压板背离容置空间的一侧设置有弹性组件，弹性组件远离压板的一侧设置有活动板，连接件转动安装于活动板远离弹性组件的一侧。
14.在本技术的一些变更实施方式中，连接件为球体，活动板的内部具有与连接件适配的球形容置腔，连接件转动安装于球形容置腔中；
15.或，连接件为圆盘体，活动板的内部具有与连接件适配的圆盘容置腔，连接件转动
装配于圆盘容置腔中。
16.在本技术的一些变更实施方式中，还包括：缓冲垫，设置于压板靠近容置空间的一侧。
17.在本技术的一些变更实施方式中，还包括：至少一个提手槽，开设于承载部，提手槽的开口位于承载部的顶部，且沿纵向向承载部的底部延伸，提手槽的底部不高于容置槽的底部，提手槽的侧部连通于容置槽。
18.在本技术的一些变更实施方式中，承载部的侧部设置有支撑结构，用于支撑承载部并使承载部悬空。
19.在本技术的一些变更实施方式中，还包括：托盘，沿纵向滑动装配于容置槽，托盘与容置槽的水平截面适配，且托盘对应压板设置有缺失部；和
20.第二螺纹杆，沿纵向螺接于承载部的底部，第二螺纹杆的顶端抵持于托盘的中心。
21.在本技术的一些变更实施方式中，还包括：多个缓冲凸起，间隔且均匀设置于托盘的顶部，多个缓冲凸起的顶部构成水平的承载面，用于承载片体。
22.在本技术的一些变更实施方式中，承载部的顶部设置有至少一个转动件，转动件的转动轴线沿纵向延伸；
23.其中，转动件转动至第一位置时，转动件至少部分位于容置槽的开口，转动件转动至第二位置时，转动件完全避开容置槽。
24.相较于现有技术，本技术提供的夹持装置，通过在承载部中设置容置槽容纳叠加放置的片体，再通过压板抵压在片体的直边，对片体进行固定，可以避免片体因堆叠过高又缺少固定而倾倒或者歪斜，而且压板与片体的直边对应，可以避免片体旋转，可以避免片体之间摩擦划伤，能够解决现有技术中片体堆叠在匣钵中，缺少固定，容易产生滑动、移位或旋转，导致片体需要返工叠放，或者降低堆叠高度，甚至造成晶圆片划伤、掉落和磕碰，影响生产效率，增加生产成本的技术问题，而且压板可以在容置槽中移动，可以使压板与容置槽形成容置空间适应不同尺寸的片体，具有更好的适用性，分别设置在压板两侧的缓冲层和弹性部件，可以使压板与片体之间的抵压关系为弹性抵压，可以为片体受热膨胀提供预留空间，避免片体在受热膨胀时受损。
附图说明
25.通过参考附图阅读下文的详细描述，本技术示例性实施方式的上述以及其他目的、特征和优点将变得易于理解。在附图中，以示例性而非限制性的方式示出了本技术的若干实施方式，相同或对应的标号表示相同或对应的部分，其中：
26.图1是本技术实施例公开的俯视结构示意图；
27.图2是本技术实施例公开的侧视截面结构示意图；
28.图3是本技术实施例公开的托盘的俯视结构示意图；
29.图4是本技术实施例公开的连接件与活动件的一种连接结构的示意图。
30.附图标号说明：1、片体；101、直边；2、承载部；3、容置槽；4、压板；5、第一螺纹杆；6、连接件；7、弹性组件；8、活动板；9、缓冲垫；10、提手槽；11、支撑结构；12、托盘；121、缺失部；13、第二螺纹杆；14、缓冲凸起；15、转动件；a、第一方向。
具体实施方式
31.下面将参照附图更详细地描述本公开的示例性实施方式。虽然附图中显示了本公开的示例性实施方式，然而应当理解，可以以各种形式实现本公开而不应被这里阐述的实施方式所限制。相反，提供这些实施方式是为了能够更透彻地理解本公开，并且能够将本公开的范围完整的传达给本领域的技术人员。
32.需要注意的是，除非另有说明，本技术使用的技术术语或者科学术语应当为本技术所属领域技术人员所理解的通常意义。
33.实施例
34.参考附图1至附图4，本实用新型的实施例提出一种夹持装置，用于容置并固定多个片体1，片体1的水平截面至少具有一个直边101，该包括：承载部2和压板4，承载部2设置有开口位于承载部2的顶部，且沿纵向向承载部2的底部延伸的容置槽3；压板4滑动安装于容置槽3的底部，压板4能够沿第一方向a在容置槽3中滑动，压板4沿纵向延伸且压板4的顶部不低于容置槽3的开口，容置槽3的沿第一方向a与压板4相对的第一侧壁与压板4构成一容置空间，容置空间用于容纳多个水平放置并沿纵向堆叠的片体1，压板4用于对应放置于容置空间的片体1的直边101；其中，第一方向a垂直于纵向，且与第一侧壁指向容置槽3的中心的方向同向。
35.具体的，片体1可以为一种蓝宝石晶圆片，而且片体1在切割生产过程中会切割出一个直边101，便于后续工艺生产中进行定位操作，本技术中的部件均采用耐高温材料制成，避免装载并夹持片体1进行退火工艺时受热损坏，承载部2可以但不限为一种金属材料制成的圆柱体，耐高温的同时不会隔绝温度，不影响退火设备对片体1的加热，容置槽3也可以是一种圆柱体凹槽，容置槽3的开口开设在承载部2的顶部，且沿纵向向承载部2的底部延伸，容置槽3的水平截面可以与承载部2的水平截面同心，可以使重量分布较为均匀，避免放入片体1后承载部2的中心向一侧偏移，容易发生倾倒，而且容置槽3的底部与承载部2的底部间隔一定距离，具体距离可以根据承载部2的硬度确定，保证承载部2的底部可以承受装载在容置槽3内的片体1的重量，不被堆叠的片体1压损即可；压板4可以但不限为一种矩形板，压板4沿纵向延伸并且从容置槽3的底部一直延伸至容置槽3的开口，压板4滑动安装在承载部2的容置槽3中，可以在容置槽3中沿第一方向a滑动，压板4与第一侧壁构成一个容置空间，片体1可以水平放置在容置空间中，并沿纵向堆叠，而压板4抵压在片体1的直边101处，第一侧壁抵压在片体1与直边101对应的侧边，对片体1进行固定，避免片体1产生滑动或者移位，而且由于压板4与片体1的直边101对应，还可以避免片体1发生旋转，避免片体1在容置槽3中因滑动，移位或旋转，导致片体1受到划伤、掉落和磕碰，减少片体1的返工或者损耗，节省生产成本。
36.在对片体1进行退火操作前，先用寻边器找到片体1的平边位置，然后整齐叠放在一起，再将叠放的片体1放入承载部2的容置空间，并且将直边101与压板4对齐，再向第一侧壁所在的方向移动压板4，使压板4和第一侧壁分别抵压在片体1的直边101和片体1与直边101对应的侧边，将片体1固定，然后再移动承载部2，将片体1放置在退火设备中进行退火，完成退火后取出承载部2，移动压板4，将片体1松开，此时再从承载部2中取出片体1，通过承载部2放置多个叠放的片体1，可以达到一次叠放大量片体1，有效利用退火设备的空间，增加工作效率的技术效果。
37.根据上述所列，本实用新型实施例提出一种夹持装置，通过在承载部2中设置容置槽3容纳堆叠放置的片体1，将片体1堆叠放置可以有效利用空间，增加一次退火工艺中处理的片体1的数量，再通过压板4抵压在片体1的直边101，对片体1进行固定，可以避免片体1因堆叠过高又缺少固定而倾倒或者歪斜，而且压板4与片体1的直边101对应，可以避免片体1旋转，可以避免片体1之间摩擦划伤，能够解决现有技术中片体1堆叠在匣钵中，缺少固定，容易产生滑动、移位或旋转，导致片体1需要返工叠放，或者降低堆叠高度，甚至造成晶圆片划伤、掉落和磕碰，影响生产效率，增加生产成本的技术问题，而且压板4可以在容置槽3中移动，可以使压板4与容置槽3形成容置空间适应不同尺寸的片体1，具有更好的适用性，分别设置在压板4两侧的缓冲层和弹性部件，可以使压板4与片体1之间的抵压关系为弹性抵压，可以为片体1受热膨胀提供预留空间，避免片体1在受热膨胀时缺少缓冲空间而受损。
38.在一些实施例中，参考附图1、附图2和附图4，在具体实施中，还包括：第一螺纹杆5和连接件6，第一螺纹杆5沿第一方向a穿过承载部2的侧壁伸入容置槽3，第一螺纹杆5与承载部2的侧壁螺纹连接；连接件6转动装配于压板4，且连接件6与第一螺纹杆5伸入容置槽3的一端连接；其中，转动第一螺纹杆5能够驱动连接件6并带着压板4往复沿第一方向a移动。
39.具体的，第一螺纹杆5可以为一种侧部具有螺纹的杆件，承载部2的侧壁具有与第一螺纹杆5的螺纹适配的且沿第一方向a延伸的螺纹孔，第一螺纹杆5螺接在螺纹孔中，并穿过承载部2的侧壁，伸入到容置槽3中；第一螺纹杆5伸入容置槽3的一端通过连接件6与压板4连接，连接件6与压板4转动装配，即第一螺纹杆5转动时，可以带动连接件6转动，但不会带动压板4转动，而第一螺纹杆5转动时会通过螺纹配合使连接件6进行第一方向a上的位移，进而带动压板4沿第一方向a移动，第一螺纹杆5远离压板4的一端可以安装一个转盘，以便于转动第一螺纹杆5；通过第一螺纹杆5带动压板4进行移动，可以使压板4与第一侧壁形成的容置空间的大小可调，可以容置空间适应不同大小的片体1，使本技术具有更好的适用性。
40.在一些实施例中，参考附图1、附图2和附图4，在具体实施中，压板4背离容置空间的一侧设置有弹性组件7，弹性组件7远离压板4的一侧设置有活动板8，连接件6转动安装于活动板8远离弹性组件7的一侧。
41.具体的，弹性组件7可以但不限为一种弹簧组，弹簧组采用耐高温弹簧，可以是镍基高温合金弹簧也可以是钴基高温合金，避免弹簧组被退火工艺中的高温损坏；弹性组件7设置在活动板8和压板4之间，在压板4压持片体1，将片体1固定后，通过弹性组件7仍然可以为片体1提供一定缓冲空间，在对片体1进行退火时，片体1受热膨胀时，会压动压板4，而弹性组件7收缩，可以为片体1提供膨胀空间，片体1冷却收缩时，弹性组件7伸张，推动压板4，使压板4一直抵压在片体1的直边101上；弹性组件7可以使压板4一直抵压片体1，起到良好的固定片体1的作用，同时还可以为片体1热胀冷缩提供缓冲，避免片体1受热膨胀时受压损坏。
42.在一些实施例中，参考附图1、附图2和附图4，在具体实施中，连接件6为球体，活动板8的内部具有与连接件6适配的球形容置腔，连接件6转动安装于球形容置腔中；或，连接件6为圆盘体，活动板8的内部具有与连接件6适配的圆盘容置腔，连接件6转动装配于圆盘容置腔中。
43.具体的，第一螺纹杆5伸入容置槽3的一端与连接件6连接，连接件6与活动板8连
接，活动板8与弹性组件7连接，弹性组件7再与压板4连接，连接件6可以但不限为两种结构，连接件6的第一种结构可以为一个球体，活动板8的内部设置有与连接件6对应且适配的球形容置腔，连接件6转动装配在球形容置腔中，使连接件6在转动时，不会带动活动板8旋转，但是连接件6沿第一方向a移动，可以带动活动板8一起移动；连接件6的第二种结构可以为一个圆盘体，活动板8的内部设置有与连接件6对应且适配的圆盘容置腔，连接件6转动装配在圆盘容置腔中，使连接件6在转动时，不会带动活动板8旋转，但是连接件6沿第一方向a移动，可以带动活动板8一起移动。
44.在一些实施例中，参考附图1，在具体实施中，还包括：缓冲垫9，设置于压板4靠近容置空间的一侧。
45.具体的，缓冲垫9采用软质的耐高温材料，如纳米级二氧化硅为主要成分的纳米微孔隔热材料，可以在压板4压持片体1，将片体1固定后，仍然可以为片体1提供一定缓冲空间，避免片体1受热膨胀时没有空间膨胀，使片体1在退火处理时受压损坏。
46.在一些实施例中，参考附图1，在具体实施中，还包括：至少一个提手槽10，开设于承载部2，提手槽10的开口位于承载部2的顶部，且沿纵向向承载部2的底部延伸，提手槽10的底部不高于容置槽3的底部，提手槽10的侧部连通于容置槽3。
47.具体的，提手槽10的数量可以为三个，可以围绕容置槽3设置，均匀设置在容置槽3的开口的边缘，提手槽10的开口同样位于承载部2的顶部，并且提手槽10的槽体沿纵向向承载部2的底部延伸，并且至少与容置槽3的深度相同，提手槽10的侧部与容置槽3连通，在容置槽3中填充满片体1时，可以将手指或者相应的工具伸入提手槽10，从提手槽10中拽动片体1，可以方便片体1的存取操作，提高作业效率。
48.在一些实施例中，参考附图1和附图2，在具体实施中，承载部2的侧部设置有支撑结构11，用于支撑承载部2并使承载部2悬空。
49.具体的，支撑结构11可以但不限为一种具有三个支脚的支撑架，三个支脚均匀的设置在承载部2的侧部，并且使承载部2悬空，可以使承载部2的底部与空气接触，使承载部2在退火设备中更好的进行温度交换。
50.在一些实施例中，参考附图1至附图3，在具体实施中，还包括：托盘12和第二螺纹杆，沿纵向滑动装配于容置槽3，托盘12与容置槽3的水平截面适配，且托盘12对应压板4设置有缺失部121；第二螺纹杆13沿纵向螺接于承载部2的底部，第二螺纹杆13的顶端抵持于托盘12的中心。
51.具体的，托盘12可以但不限为一种圆盘，托盘12的缺失部121与压板4对应，可以为压板4的移动留出空间，避免压板4与托盘12干涉，托盘12沿纵向滑动装配在容置槽3中，第二螺纹杆13螺接在承载部2的底部，并且第二螺纹杆13的顶部抵持与托盘12的中心，即托盘12的圆心；通过支撑结构11将承载部2悬空设置后，承载部2的底部具有一定的空间，可以为第二螺纹杆13提供沿纵向移动的空间，托盘12可以在第二螺纹杆13的推动下向上移动，或者在重力的作用下向下移动，当容置槽3装置片体1时，托盘12位于容置槽3的最下端，使容置槽3可以尽可能多的装载片体1，当需要取出片体1时，可以旋转第二螺纹杆13，将托盘12向上顶，将片体1从容置槽3中顶出，可以快捷的将片体1从容置槽3中取出，提高工作效率。
52.在一些实施例中，参考附图1至附图3，在具体实施中，还包括：多个缓冲凸起14，间隔且均匀设置于托盘12的顶部，多个缓冲凸起14的顶部构成水平的承载面，用于承载片体
1。
53.具体的，缓冲凸起14可以但不限为具有圆头的圆柱体，缓冲凸起14采用软质的耐高温材料，如纳米级二氧化硅为主要成分的纳米微孔隔热材料，每个缓冲凸起14的高度相同，且均匀的设置在托盘12的顶部，可以在托盘12的顶部构成一个水平的承载面，承载面可以为容置腔中最底层的片体1提高缓冲，避免放置片体1时，最底层的片体1与托盘12产生摩擦或磕碰，损坏片体1，增加生产损耗，降低生产效率，增加生产成本。
54.在一些实施例中，参考附图1和附图2，在具体实施中，承载部2的顶部设置有至少一个转动件15，转动件15的转动轴线沿纵向延伸；其中，转动件15转动至第一位置时，转动件15至少部分位于容置槽3的开口，转动件15转动至第二位置时，转动件15完全避开容置槽3。
55.具体的，转动件15可以但不限为一种转杆，转动件15的数量可以是两个，间隔分布在承载部2的顶部，在向容置槽3中装载或者卸除片体1时，可以将转动件15转动至第二位置，此时容置槽3的开口处没有转动件15进行遮挡，可以正常进行装载或者卸除操作，当完成装载或者卸除操作时，可以将转动件15转动至第一位置，此时部分转动件15位于容置槽3的开口处，可以对容置槽3内的片体1进行遮挡，可以为容置槽3内的片体1施加保险，避免承载部2倾倒时片体1从容置槽3中掉落，是片体1受到磕碰或者划伤，增加生产成本。
56.需要说明的是，在本说明书的描述中，术语“上”、“下”等指示的方位或位置关系为基于附图所示的方位或位置关系，仅是为了便于描述本实用新型和简化描述，而不是指示或暗示所指的装置或元件必须具有特定的方位、以特定的方位构造和操作，因此不能理解为对本实用新型的限制；术语“连接”、“安装”、“固定”等均应做广义理解，例如，“连接”可以是固定连接，也可以是可拆卸连接，或一体地连接；可以是直接相连，也可以通过中间媒介间接相连。对于本领域的普通技术人员而言，可以根据具体情况理解上述术语在本实用新型中的具体含义。
57.在本说明书的描述中，术语“一个实施例”、“一些实施例”、“具体实施例”等的描述意指结合该实施例或示例描述的具体特征、结构、材料或特点包含于本实用新型的至少一个实施例或示例中。在本说明书中，对上述术语的示意性表述不一定指的是相同的实施例或实例。而且，描述的具体特征、结构、材料或特点可以在任何的一个或多个实施例或示例中以合适的方式结合。
58.以上所述，仅为本实用新型的具体实施方式，但本实用新型的保护范围并不局限于此，任何熟悉本技术领域的技术人员在本实用新型揭露的技术范围内，可轻易想到变化或替换，都应涵盖在本实用新型的保护范围之内。因此，本实用新型的保护范围应以所述权利要求的保护范围为准。